技術介紹：
紅外干涉測量技術, 非接觸式測量,。采用Michaelson干涉方法,，紅外波段的激光能更好的穿透被測物體，準確的得到測試結(jié)果,。
產(chǎn)品簡介：FSM 413EC 紅外干涉測量設備
適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石 英,、聚合物…………
應用:
襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)
平整度
溝槽深度
過孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度
粗糙度
薄膜厚度
硅片厚度
環(huán)氧樹脂厚度
襯底翹曲度
晶圓凸點高度(bump height)
MEMS 薄膜測量
TSV 深度、側(cè)壁角度...
Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率,，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能,。Filmetrics F30膜厚儀推薦廠家
F10-AR易于使用而且經(jīng)濟有效地分析減反涂層和鏡頭上的硬涂層F10-AR 是測試眼科減反涂層設計的儀器。 雖然價格**低于當今絕大多數(shù)同類儀器,，應用幾項技術,， F10-AR 使線上操作人員經(jīng)過幾分鐘的培訓，就可以進行厚度測量,。
在用戶定義的任何波長范圍內(nèi)都能進行比較低,、比較高和平均反射測試。
我們有專門的算法對硬涂層的局部反射失真進行校正,。 我們獨有的 AutoBaseline 能極大地增加基線間隔,，提供比其它光纖探頭反射儀高出五倍的精確度。
利用可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能測量 0.25-15um 的硬涂層厚度,。 在減反層存在的情況下也能對硬涂層厚度進行測量,。 芯片膜厚儀研發(fā)可以用嗎當測量斑點只有1微米（μm）時，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng),。
測量眼科設備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色,，以及硬涂層和疏水層的厚度。
測量范例：
F10-AR系統(tǒng)配備HC升級選擇通過反射率信息進行硬涂層厚度測量,。這款儀器儀器采用接觸探頭,，從而降低背面反射影響，并可測凹凸表面,。接觸探頭安置在鏡頭表面,。FILMeasure軟件自動分析采集的光譜信息以確定鏡頭是否滿足指定的反射規(guī)格?？蓽y平均反射率,，指定點**小比較大反射率，以抵消硬涂層的存在。如果這個鏡頭符合要求,，系統(tǒng)操作人員將得到清晰的“很好”指示,。
參考材料
備用 BK7 和二氧化硅參考材料。
BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡
BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡
REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準
REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準
REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準,。
REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英，用于雙界面基準,。
REF-Si-22" 單晶硅晶圓
REF-Si-44" 單晶硅晶圓
REF-Si-66" 單晶硅晶圓
REF-Si-88" 單晶硅晶圓
REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設計之鋁反射率基準片
REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設計之BK7玻璃反射率基準片
REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設計之硅反射率基準片 F20-XT膜厚范圍：0.2μm - 450μm,；波長：1440-1690nm。
光刻膠）polyerlayers（高分子聚合物層）polymide（聚酰亞胺）polysilicon（多晶硅）amorphoussilicon（非晶硅）基底實例：對于厚度測量,，大多數(shù)情況下所要求的只是一塊光滑,、反射的基底。對于光學常數(shù)測量,，需要一塊平整的鏡面反射基底,；如果基底是透明的，基底背面需要進行處理使之不能反射,。包括：silicon（硅）glass（玻璃）aluminum（鋁）gaas（砷化鎵）steel（鋼）polycarbonate（聚碳酸脂）polymerfilms（高分子聚合物膜）應用半導體制造液晶顯示器光學鍍膜photoresist光刻膠oxides氧化物nitrides氮化物cellgaps液晶間隙polyimide聚酰亞胺ito納米銦錫金屬氧化物hardnesscoatings硬鍍膜anti-reflectioncoatings增透鍍膜filters濾光f20使用**仿真活動來分析光譜反射率數(shù)據(jù),。標準配置和規(guī)格F20-UVF20F20-NIRF20-EXR只測試厚度1nm~40μm15nm~100μm100nm~250μm15nm~250μm測試厚度和n&k值50nmandup100nmandup300nmandup100nmandup波長范圍200-1100nm380-1100nm950-1700nm380-1700nm準確度大于％或2nm精度1A2A1A穩(wěn)定性光斑大小20μm至可選樣品大小1mm至300mm及更大探測器類型1250-元素硅陣列512-元素砷化銦鎵1000-元素硅&512-砷化銦鎵陣列光源鎢鹵素燈。所有的 Filmetrics 型號都能通過精確的光譜反射建模來測量厚度 (和折射率),。防反射涂層膜厚儀保修期多久
成功測量光刻膠要面對一些獨特的挑戰(zhàn),， 而 Filmetrics 自動測量系統(tǒng)成功地解決這些問題。Filmetrics F30膜厚儀推薦廠家
FSM 8018 VITE測試系列設備
VITE技術介紹：
VITE是傅里葉頻域技術,，利用近紅外光源的相位剪切技術（Phase shear technology）
設備介紹
適用于所有可讓近紅外線通過的材料：硅,、藍寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石 英,、聚合物…………
應用:
襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)
平整度
厚度變化 (TTV)
溝槽深度
過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度
粗糙度
薄膜厚度
不同半導體材料的厚度
環(huán)氧樹脂厚度
襯底翹曲度
晶圓凸點高度(bump height)
MEMS 薄膜測量
TSV 深度,、側(cè)壁角度...
Filmetrics F30膜厚儀推薦廠家
岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑。公司業(yè)務分為磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術,，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務,。岱美儀器技術服務立足于全國市場,，依托強大的研發(fā)實力，融合前沿的技術理念,，飛快響應客戶的變化需求,。