EVG ® 720自動(dòng)SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

自動(dòng)全視野的UV納米壓印溶液達(dá)150毫米，設(shè)有EVG's專有SmartNIL ®技術(shù)

EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識,，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu),。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結(jié)構(gòu)，具有****的吞吐量,，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件,，例如衍射光學(xué)元件（ DOEs）。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細(xì)的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。也可以訪問官網(wǎng)，獲得更多信息,。 EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度，可用于**小50 nm的特征尺寸,。EVG7200納米壓印微流控應(yīng)用

EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù)，在100毫米范圍內(nèi),。

EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名,，它以**小的占位面積提供了***的掩模對準(zhǔn)技術(shù)。操作員友好型軟件,，**短的掩模和模具更換時(shí)間以及有效的全球服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動(dòng)批量生產(chǎn)）的理想解決方案,。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，以及背面對準(zhǔn)選項(xiàng),。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻,。此外,，半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。

EVG7200LA納米壓印學(xué)校會(huì)用嗎EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動(dòng)化的全場域納米壓印解決方案,，適用于第3代基材,。

      **的衍射波導(dǎo)設(shè)計(jì)商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group（EVG）進(jìn)行合作，EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,，以帶來高性能增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（ AR）波導(dǎo)以當(dāng)今業(yè)界*低的成本進(jìn)入大眾市場,。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件,。

      WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評論：“這一合作伙伴關(guān)系標(biāo)志著增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)行業(yè)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)，是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)解決方案的關(guān)鍵步驟,，這是迄今為止尚無法實(shí)現(xiàn)的能力,。” EVG的專業(yè)知識與我們可擴(kuò)展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底,，AR終端用戶產(chǎn)品的市場價(jià)格將低于600美元,。“這項(xiàng)合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵,；我們共同處于有利位置，可以在AR中引入大眾市場創(chuàng)新,，以比以往更低的成本開辟了可擴(kuò)展性的新途徑,。”

    EV集團(tuán)和肖特?cái)y手合作,，證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在大體積增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,，這是一個(gè)開放式的光刻/納米壓印（NIL）技術(shù)創(chuàng)新孵化器,，同時(shí)也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術(shù)線2019年8月28日,，奧地利，圣弗洛里安――微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）,、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備**供應(yīng)商EV集團(tuán)（EVG）***宣布,，與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的**技術(shù)集團(tuán)肖特?cái)y手合作，證明300-mm（12英寸）光刻/納米壓?。∟IL）技術(shù)在下一代增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)（AR/MR）頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒,。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進(jìn)行,。肖特將于9月4日至7日在深圳會(huì)展中心舉行的中國國際光電博覽會(huì)上展示一款采用EVGSmartNIL技術(shù)進(jìn)行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓,。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板，裝配在應(yīng)用SmartNIL?UV-NIL技術(shù)的EVG?HERCULES?,。EVG ? 610也可以設(shè)計(jì)成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng),。

    NIL300mmEV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個(gè)合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個(gè)開放式的創(chuàng)新孵化器,，從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時(shí)間,。我們很高興與肖特公司合作，證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價(jià)值,，不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),，還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,，彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,，為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)。”SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn),。產(chǎn)品組合提供了高達(dá)，支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,，視野更廣,，高達(dá)65度。在與增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,，肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?,。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽(yù)的2019年SID顯示行業(yè)獎(jiǎng)（SIDDisplayIndustryAward2019）。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃,、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的**國際技術(shù)集團(tuán),。公司積累了超過130年的經(jīng)驗(yàn)，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì),、高 效的方法。EVG7200LA納米壓印學(xué)校會(huì)用嗎

納米壓印設(shè)備可用來進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱,、印章、聚合物,、基板,、附加沖壓成型脫模。EVG7200納米壓印微流控應(yīng)用

UV納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)

■高精度對準(zhǔn)臺

■自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

■電動(dòng)和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術(shù)

■**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動(dòng)化的全場納米壓印解決方案,，適用于第3代基材

■體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

■專有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)

■集成式壓印，UV固化,，脫模和工作印模制作

■盒帶間自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式

■適用于所有市售壓印材料的開放平臺

EVG7200納米壓印微流控應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，各種專業(yè)設(shè)備齊全,。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn),，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力，將磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。自公司成立以來,，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),，為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，從而使公司不斷發(fā)展壯大,。