EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù)，在100毫米范圍內(nèi),。

EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名,，它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù)。操作員友好型軟件,，**短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案,。該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式,，以及背面對準選項,。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻,。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。

納米壓印設(shè)備可用來進行熱壓花,、加壓加熱、印章,、聚合物,、基板、附加沖壓成型脫模,。IQAligner納米壓印高性價比選擇

    納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL)，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報導(dǎo),，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組，未確認NIL設(shè)備實際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設(shè)備廠,。該制程研發(fā)小組透露，若引進相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能,。并已展開具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機,，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程,。在基板上涂布UV感光液后，再以壓印機接觸施加壓力,，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本。偏光膜會吸收部分光線降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio)。IQAligner納米壓印高性價比選擇EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),，可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),。

納米壓印設(shè)備哪個好？預(yù)墨印章用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上,。該技術(shù)用于表面化學(xué)的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置,。

納米壓印設(shè)備可以進行熱壓花、加壓加熱,、印章,、聚合物、基板,、附加沖壓成型脫模,。

將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上,，從而將材料轉(zhuǎn)變?yōu)檎承誀顟B(tài)。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步,。

納米壓印應(yīng)用三：連續(xù)性UV納米壓印

EVG770是用于步進重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺，可用于有效地進行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進行直接圖案化,。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合，分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步,。

**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度，這對于實現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要,。

    ”EV集團的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,，“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作，例如DELO,，我們能夠進一步提高效率,，作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?！巴ㄟ^合作,，我們將提供自己獨特的技術(shù)，將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,，EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù),。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備,。主要的例子是：3D感應(yīng)，飛行時間,，結(jié)構(gòu)光,，生物特征身份認證，面部識別,虹膜掃描,，光學(xué)指紋,，頻譜檢測,，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,，光地毯,，平視顯示器，車內(nèi)感應(yīng),，激光雷達,，內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學(xué)成像，眼科設(shè)備與手術(shù)機器人,。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持,。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。IQAligner納米壓印高性價比選擇

NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟,、高 效的方法。IQAligner納米壓印高性價比選擇

IQ Aligner UV-NIL特征：

用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用

用于全場納米壓印應(yīng)用

三個**控制的Z軸,，可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償

三個**控制的Z軸,，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制

利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝

EVG專有的全自動浮雕功能

抵抗分配站集成

粘合對準和紫外線粘合功能

IQ Aligner UV-NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL，鏡片成型

曝光源：汞光源

對準：≤±0.5微米

自動分離：支持的

前處理：涂層：水坑點膠（可選）

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

IQAligner納米壓印高性價比選擇

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營品牌有岱美儀器技術(shù)服務(wù),，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，該公司其他型的公司。公司是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，以誠信務(wù)實的創(chuàng)業(yè)精神,、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品,。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，價格合理,，品質(zhì)有保證,，深受廣大客戶的歡迎。岱美儀器技術(shù)服務(wù)以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念,，打造高指標的服務(wù),，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展。