EVG610特征：

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術

**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

EVG610附加功能：

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EVG610技術數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）

標準光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

自動分離：不支持

工作印章制作：外部

分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版,。EVG7200LA納米壓印現(xiàn)場服務

EVG ® 720自動SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米,，設有EVG's專有SmartNIL ®技術

EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術和材料專業(yè)知識，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結構,。具有SmartNIL技術的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結構,，具有****的吞吐量，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件,，例如衍射光學元件（ DOEs）,。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司,。也可以訪問官網(wǎng),，獲得更多信息。 陜西納米壓印競爭力怎么樣EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng),，使用分步重復納米壓印光刻技術,，可進行有效的母版制作。

      **的衍射波導設計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group（EVG）進行合作,，EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設備的**供應商,，以帶來高性能增強現(xiàn)實（ AR）波導以當今業(yè)界*低的成本進入大眾市場。波導是可穿戴AR的關鍵光學組件,。

      WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評論：“這一合作伙伴關系標志著增強現(xiàn)實行業(yè)的轉折點,，是大規(guī)模生產(chǎn)高質量增強現(xiàn)實解決方案的關鍵步驟,，這是迄今為止尚無法實現(xiàn)的能力?！?EVG的專業(yè)知識與我們可擴展的通用技術的結合將使到明年年底,，AR終端用戶產(chǎn)品的市場價格將低于600美元?！斑@項合作是釋放AR可穿戴設備發(fā)展的關鍵,；我們共同處于有利位置，可以在AR中引入大眾市場創(chuàng)新,，以比以往更低的成本開辟了可擴展性的新途徑,。”

曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,，例如仿生學,、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板,，可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,，但是模板不能彎折，無法在曲面基底上壓印制備納米結構,。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,，實現(xiàn)結構在非平面基底上的壓印復制，但是由于彈性模板的楊氏模量較低,，所以壓印結構的分辨率和精度都受到限制,。基于目前納米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,，結合傳統(tǒng)的納米壓印技術和軟壓印技術,，中國科學院光電技術研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法，該模板包含剛性結構層和彈性基底層,。（來自網(wǎng)絡,，侵權請聯(lián)系我們進行刪除，謝謝?。?EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。

UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線，包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術,。高 效,，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和**少的殘留層,，并具有易于調整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結構的高性能，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術,。

這個系列的型號包括：EVG®610,；EVG®620NT；EVG®6200NT,；EVG®720；EVG®7200,；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL；EVG®770,；IQAligner®,。 EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng)，大面積壓印機,，微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng),。吉林納米壓印要多少錢

SmartNIL技術可提供功能強大的下一代光刻技術，幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能,。EVG7200LA納米壓印現(xiàn)場服務

       EVG公司技術開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術和工藝以應對*復雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化。技術,，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,。“在具有保護客戶IP的強大政策的框架內,，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們***與AR領域的**者WaveOptics合作所要做的，以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案,?！?

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾，即在工業(yè),，企業(yè)和消費者等所有主要市場領域釋放AR在大眾市場的應用,，并遵循公司模塊計劃的推出。 EVG7200LA納米壓印現(xiàn)場服務

岱美儀器技術服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家專業(yè)的磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】公司,。岱美儀器技術服務是岱美儀器技術服務（上海）有限公司的主營品牌,，是專業(yè)的磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易,、轉口貿易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易,、轉口貿易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】公司，擁有自己**的技術體系,。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,，同時還建立了完善的售后服務體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務,。岱美儀器技術服務（上海）有限公司主營業(yè)務涵蓋磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，堅持“質量保證、良好服務,、顧客滿意”的質量方針,，贏得廣大客戶的支持和信賴。