EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準工藝，用于光學(xué)對準的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站

EVG ® 510 HE技術(shù)數(shù)據(jù)：

加熱器尺寸：150毫米 ,，200毫米

比較大基板尺寸：150毫米，200毫米

**小基板尺寸：單芯片,，100毫米

比較大接觸力：10、20,、60 kN

比較高溫度：標準：350°C,；可選：550°C

夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)

150毫米加熱器：EVG ® 610,，EVG ® 620，EVG ® 6200

200毫米加熱器：EVG ® 6200,，MBA300,，的Smart View ® NT

真空：

標準：0.1毫巴

可選：0.00001 mbar

SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,。中國澳門納米壓印有誰在用

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中,。

NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)

NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器,。

歡迎各位客戶來樣制作，驗證EVG的納米壓印設(shè)備的性能,。

圖像傳感器納米壓印當?shù)貎r格高 效,，強大的SmartNIL工藝提供高圖案保真度,，擁有高度均勻圖案層和**少殘留層,，易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。

EVG ® 770分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng)

分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),，可進行有效的母版制作

EVG770是用于步進式納米壓印光刻的通用平臺,，可用于有效地進行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進行直接圖案化。這種方法允許從**

大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。

EVG770的主要功能包括精確的對準功能,，完整的過程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性,。

納米壓印應(yīng)用一：鏡片成型

晶圓級光學(xué)（WLO）的制造得到EVG高達300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備的支持。使用從晶片尺寸的主印模復(fù)制來的工作印模,，通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉(zhuǎn)移到光學(xué)聚合物材料中,。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝，可以輕松地適應(yīng)各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料,。EVG系統(tǒng)是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復(fù)制的優(yōu)先。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步,。

EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),，使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),，可進行有效的母版制作。

      **的衍射波導(dǎo)設(shè)計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group（EVG）進行合作,，EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,，以帶來高性能增強現(xiàn)實（ AR）波導(dǎo)以當今業(yè)界*低的成本進入大眾市場。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件,。

      WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評論：“這一合作伙伴關(guān)系標志著增強現(xiàn)實行業(yè)的轉(zhuǎn)折點,，是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強現(xiàn)實解決方案的關(guān)鍵步驟，這是迄今為止尚無法實現(xiàn)的能力,?！?EVG的專業(yè)知識與我們可擴展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底，AR終端用戶產(chǎn)品的市場價格將低于600美元,?！斑@項合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵；我們共同處于有利位置,，可以在AR中引入大眾市場創(chuàng)新,，以比以往更低的成本開辟了可擴展性的新途徑?！?EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案,，適用于第3代基材。圖像傳感器納米壓印當?shù)貎r格

EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸。中國澳門納米壓印有誰在用

    ”EV集團的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,，“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,，例如DELO，我們能夠進一步提高效率,，作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心,。”“EVG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道,。“通過合作,，我們將提供自己獨特的技術(shù),，將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中，EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù),。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備。主要的例子是：3D感應(yīng),，飛行時間,，結(jié)構(gòu)光,，生物特征身份認證，面部識別,虹膜掃描,，光學(xué)指紋,，頻譜檢測，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像,。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,，光地毯，平視顯示器,，車內(nèi)感應(yīng),，激光雷達，內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學(xué)成像,，眼科設(shè)備與手術(shù)機器人,。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到,。中國澳門納米壓印有誰在用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，一切以用戶需求為中心,，深受廣大客戶的歡迎,。公司從事儀器儀表多年,，有著創(chuàng)新的設(shè)計、強大的技術(shù),，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。在社會各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務(wù)體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持,。