EVG的晶圓鍵合機鍵合室配有通用鍵合蓋,，可快速排空，快速加熱和冷卻,。通過控制溫度,，壓力，時間和氣體,，允許進行大多數(shù)鍵合過程,。也可以通過添加電源來執(zhí)行陽極鍵合。對于UV固化黏合劑,，可選的鍵合室蓋具有UV源,。鍵合可在真空或受控氣體條件下進行。頂部和底部晶片的**溫度控制補償了不同的熱膨脹系數(shù),，從而實現(xiàn)無應力黏合和出色的溫度均勻性,。在不需要重新配置硬件的情況下，可以在真空下執(zhí)行SOI / SDB（硅的直接鍵合）預鍵合,。

以上的鍵合機由岱美儀器供應并提供技術支持,。 清潔模塊-適用于GEMINI和GEMINI FB，使用去離子水和溫和的化學清潔劑去除顆粒,。解鍵合鍵合機免稅價格

二,、EVG501晶圓鍵合機特征：

   帶有150 mm或200 mm加熱器的鍵合室

   獨特的壓力和溫度均勻性

   與EVG的機械和光學對準器兼容

   靈活的設計和研究配置

從單芯片到晶圓   

各種工藝（共晶，焊料,，TLP,，直接鍵合）  

可選渦輪泵（<1E-5 mbar）  

可升級陽極鍵合   

開放式腔室設計，便于轉換和維護

兼容試生產需求：

同類產品中的蕞低擁有成本

開放式腔室設計,，便于轉換和維護

蕞小占地面積的200 mm鍵合系統(tǒng)：0.8㎡

程序與EVG HVM鍵合系統(tǒng)完全兼容

以上產品由岱美儀器供應并提供技術支持,。 貴州三維芯片鍵合機GEMINI FB XT適用于諸如存儲器堆疊,，3D片上系統(tǒng)（SoC），背面照明的CMOS圖像傳感器堆疊和芯片分割等應用,。

EVG®320自動化單晶圓清洗系統(tǒng)

用途：自動單晶片清洗系統(tǒng),，可有效去除顆粒

EVG320自動化單晶圓清洗系統(tǒng)可在處理站之間自動處理晶圓和基板。機械手處理系統(tǒng)可確保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自動預對準和裝載晶圓,。除了使用去離子水沖洗外,，配置選項還包括兆頻，刷子和稀釋的化學藥品清洗,。

特征

多達四個清潔站

全自動盒帶間或FOUP到FOUP處理

可進行雙面清潔的邊緣處理（可選）

使用1MHz的超音速噴嘴或區(qū)域傳感器（可選）進行高/效清潔

先進的遠程診斷

防止從背面到正面的交叉污染

完全由軟件控制的清潔過程

共晶鍵合［8,，9］是利用某些共晶合金熔融溫度較低的特點，以其作為中間鍵合介質層,，通過加熱熔融產生金屬—半導體共晶相來實現(xiàn),。因此，中間介質層的選取可以很大程度影響共晶鍵合的工藝以及鍵合質量,。中間金屬鍵合介質層種類很多,，通常有鋁、金,、鈦,、鉻、鉛—錫等,。雖然金—硅共熔溫度不是蕞 低( 363 ℃ ) 的,，但其共晶體的一種成分即為預鍵合材料硅本身，可以降低鍵合工藝難度,，且其液相粘結性好,，故本文采用金—硅合金共晶相作為中間鍵合介質層進 行表面有微結構的硅—硅共晶鍵合技術的研究。而金層與 硅襯底的結合力較弱,，故還要加入鈦金屬作為黏結層增強金層與硅襯底的結合力,，同時鈦也具有阻擋擴散層的作用， 可以阻止金向硅中擴散［10,，11］,。EVG鍵合機可以使用適合每個通用鍵合室的磚用卡盤來處理各種尺寸晶圓和鍵合工藝。

EVG®850TB臨時鍵合機特征：

開放式膠粘劑平臺,；

各種載體（硅,，玻璃，藍寶石等）,；

適用于不同基板尺寸的橋接工具功能,；

提供多種裝載端口選項和組合；

程序控制系統(tǒng)；

實時監(jiān)控和記錄所有相關過程參數(shù),；

完全集成的SECS/GEM接口,；

可選的集成在線計量模塊，用于自動反饋回路,；

技術數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：蕞長300毫米,，可能有超大的托架

不同的基材/載體組合

組態(tài)

外套模塊

帶有多個熱板的烘烤模塊

通過光學或機械對準來對準模塊

鍵合模塊：

選件

在線計量

ID閱讀

高形貌的晶圓處理

翹曲的晶圓處理 EVG的GEMINI FB XT集成熔融鍵合系統(tǒng)，擴展了現(xiàn)有標準,，并擁有更高的生產率，更高的對準和涂敷精度,。西藏免稅價格鍵合機

EVG鍵合機軟件,，支持多語言，集成錯誤記錄/報告和恢復和單個用戶帳戶設置,，可以簡化用戶常規(guī)操作,。解鍵合鍵合機免稅價格

業(yè)內主流鍵合工藝為：黏合劑，陽極,，直接/熔融,，玻璃料，焊料（包括共晶和瞬態(tài)液相）和金屬擴散/熱壓縮,。采用哪種黏合工藝取決于應用,。EVG500系列可靈活配置選擇以上的所有工藝。

奧地利的EVG擁有超過25年的晶圓鍵合機制造經驗,，擁有2000多擁有多年晶圓鍵合經驗的員工,，同時，GEMINI是使用晶圓鍵合的HVM的行業(yè)標準,。

根據(jù)型號和加熱器尺寸,，EVG500系列可以用于碎片和50 mm至300 mm的晶圓。這些工具的靈活性非常適合中等批量生產,、研發(fā),，并且可以通過簡單的方法進行大批量生產，因為鍵合程序可以轉移到EVG GEMINI大批量生產系統(tǒng)中,。 解鍵合鍵合機免稅價格

岱美儀器技術服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,。公司業(yè)務涵蓋磁記錄，半導體,，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)等，價格合理,，品質有保證,。公司注重以質量為中心，以服務為理念，秉持誠信為本的理念,，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術服務立足于全國市場，依托強大的研發(fā)實力,，融合前沿的技術理念,，飛快響應客戶的變化需求。