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光刻機隔振臺其他高精密儀器

來源: 發(fā)布時間:2020-12-12

TS-300

TS系列產(chǎn)品中比較大的系列,,比TS-140 / TS-150更大。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上,。


 頻率

 負載范圍TS-300

 負載范圍TS-300LT

 尺寸圖 

 0,7-1000赫茲

 0-300公斤

 0-120公斤

 600

 x 800 x 120毫米

 

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)***性和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計

TS-300的隔離始于0.7 Hz,,超過10Hz時迅速增加至40dB

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉” AVI系列產(chǎn)品在振動加速度上的隔振效果,。光刻機隔振臺其他高精密儀器

TS-150安全守則

?只能將系統(tǒng)插入具有單獨接地的插座。 不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地,。

?在打開本設(shè)備之前,,請確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設(shè)備的任何開口,。

?請勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng),。 這可能會導(dǎo)致電擊或損壞到系統(tǒng)。

?卸下任何主機蓋之前,,請先斷開電源,。 請把維修交給合格的人員。

?請勿在有危險的環(huán)境中使用,。

?請勿在頂板上鉆任何孔。 這會損壞系統(tǒng),。

?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處,,請拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事 故用法。 請與您**近的服務(wù)中心聯(lián)系,。


HERZAN隔振臺有哪些品牌TS-140的高度*為84毫米,。

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器

LFS-3性能

LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品,。

LFS-3性能使用測振儀的V檔并有50公斤的重量下測試的,。

LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。


AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究,、應(yīng)用研究,、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡,、非接觸式表面輪廓儀,、激光干涉計、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果,。

傳感器位置

傳感器可以移動到任何期望的位置,。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上,。 制作后連接時,,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要,。 水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間,。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,,以使其不會明顯傾斜當(dāng)人們在附近移動時,。 傾斜會導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離,。


運作方式

設(shè)置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了,。按下電源上的電源旋鈕打開電源,。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,,這意味著存在一些振動?,F(xiàn)在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng),。 紅色LED不應(yīng)點亮了,。 如果它們點亮,則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴(yán)重,。


請注意,,如果未啟用LFS,則它將無效,。


敏感的傳感器單元,,請勿撞擊,敲打或跌落,!


測振傳感器不斷監(jiān)測振動,,制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力,以保持比較好的隔振狀態(tài),。

AVI 200-XL

AVI 200-XL的基本配置包括兩個單獨的承載模塊和一個控制單元,,比較大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數(shù)量,,可以輕松承受更大的負載,。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以按特殊順序提供不同長度的單個元件,。

AVI 200-XL的隔離始于1,2 Hz,,然后迅速增加至超過10Hz的35dB

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程,。 勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器,。AVI-200XLP隔振臺學(xué)校會用嗎

Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),,具有**的防振單元和控制器。光刻機隔振臺其他高精密儀器

AVI-產(chǎn)品參數(shù):AVI-200系列(負載:**多800kg)

型號:AVI-200SLP,,AVI-200MLP,,AVI-200XLP

系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸:120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重:400kg

單位重量:約9kg

聯(lián)絡(luò)我們

電源電壓:95-240VAC50-60赫茲

耗電量:普通9W

工作溫度范圍:5℃?40℃

工作濕度范圍:10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,,石板,,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢,。 光刻機隔振臺其他高精密儀器

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),,一切以用戶需求為中心,深受廣大客戶的歡迎,。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,,在儀器儀表深耕多年,以技術(shù)為先導(dǎo),,以自主產(chǎn)品為重點,,發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場,,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術(shù)理念,,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。