NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級測量準確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓,、臺階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強,， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單,，更方便  

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um,，重復(fù)精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦,，0.1um移動步進

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動識別產(chǎn)品信息

? 主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細的產(chǎn)品信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 集成電路輪廓儀競爭力怎么樣幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）。

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進行長度、高度,、間距,、水平距離、垂直距離,、角度,、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高,、操作簡單,、適用于車間檢測站或計量室使用。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

如果您想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

視場范圍：560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 ,。3D形貌輪廓儀技術(shù)支持

    比較大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要,，更進一步減少總體成本,。手動式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用,。索取技術(shù)資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸,，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件：urionNano30主動式防震臺4微米，2微米,，和100納米多臺階高度標準,。3D形貌輪廓儀技術(shù)支持

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家其他型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新,。是一家有限責任公司企業(yè)，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究,，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進，追求新型,，在強化內(nèi)部管理,，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時，良好的質(zhì)量,、合理的價格,、完善的服務(wù)，在業(yè)界受到寬泛好評,。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團隊,，具有磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等多項業(yè)務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念，打造高指標的服務(wù),，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展,。