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浙江哪些是英飛凌IGBT

來源: 發(fā)布時間:2023-09-25

    對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖,。圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種igbt器件的結(jié)構(gòu)圖,;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種電流敏感器件的結(jié)構(gòu)圖,;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種kelvin連接示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測電流與工作電流的曲線圖,;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種igbt芯片的結(jié)構(gòu)示意圖,;圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的結(jié)構(gòu)示意圖;圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖,;圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖,;圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖;圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖,;圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖,;圖12為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖;圖13為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖,;圖14為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種igbt芯片的表面結(jié)構(gòu)示意圖,;圖15為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種半導(dǎo)體功率模塊的結(jié)構(gòu)示意圖;圖16為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種半導(dǎo)體功率模塊的連接示意圖,。圖標(biāo):1-電流傳感器,;10-工作區(qū)域;101-第1發(fā)射極單元,。斬波IGBT模塊:以FD開頭,。其實(shí)這個完全可以使用FF半橋來替代。只要將另一單元的IGBT處于關(guān)閉狀態(tài),。浙江哪些是英飛凌IGBT

    絕緣柵雙極晶體管IGBT是MOSFET和GTR相結(jié)合的產(chǎn)物,。其主體部分與晶體管相同,也有集電極和發(fā)射極,,但驅(qū)動部分卻和場效應(yīng)晶體管相同,,是絕緣柵結(jié)構(gòu)。IGBT的工作特點(diǎn)是,,控制部分與場效應(yīng)晶體管相同,,控制信號為電壓信號UGE,,輸人阻抗很高,柵極電流IG≈0,,故驅(qū)動功率很小,。而其主電路部分則與GTR相同,工作電流為集電極電流,,工作頻率可達(dá)20kHz,。由IGBT作為逆變器件的變頻器載波頻率一般都在10kHz以上,故電動機(jī)的電流波形比較平滑,,基本無電磁噪聲,。雖然硅雙極型及場控型功率器件的研究已趨成熟,但是它們的性能仍待提高和改善,,而1996年出現(xiàn)的集成門極換流晶閘管(IGCT)有迅速取代GTO的趨勢,。集成門極換流晶閘管(IGCT)是將門極驅(qū)動電路與門極換流晶閘管GCT集成于一個整體形成的器件。門極換流晶閘管GCT是基于GTO結(jié)構(gòu)的一個新型電力半導(dǎo)體器件,,它不僅與GTO有相同的高阻斷能力和低通態(tài)壓降,,而且有與IGBT相同的開關(guān)性能,兼有GTO和IGBT之所長,,是一種較理想的兆瓦級,、中壓開關(guān)器件。IGCT芯片在不串不并的情況下,,二電平逆變器容量~3MVA,,三電平逆變器1~6MVA;若反向二極管分離,,不與IGCT集成在一起,,二電平逆變器容量可擴(kuò)至,三電平擴(kuò)至9MVA,。目前IGCT已經(jīng)商品化,。浙江哪些是英飛凌IGBTIGBT命名方式中,能體現(xiàn)IGBT芯片的年代,。

    晶閘管的正向漏電流比一般硅二極管反向漏電流大,,且隨著管子正向陽極電壓升高而增大。當(dāng)陽極電壓升到足夠大時,,會使晶閘管導(dǎo)通,稱為正向轉(zhuǎn)折或“硬開通”,。多次硬開通會損壞管子,。2.晶閘管加上正向陽極電壓后,還必須加上觸發(fā)電壓,,并產(chǎn)生足夠的觸發(fā)電流,,才能使晶閘管從阻斷轉(zhuǎn)為導(dǎo)通。觸發(fā)電流不夠時,,管子不會導(dǎo)通,但此時正向漏電流隨著增大而增大,。晶閘管只能穩(wěn)定工作在關(guān)斷和導(dǎo)通兩個狀態(tài),,沒有中間狀態(tài),具有雙穩(wěn)開關(guān)特性,。是一種理想的無觸點(diǎn)功率開關(guān)元件。3.晶閘管一旦觸發(fā)導(dǎo)通,,門極完全失去控制作用,。要關(guān)斷晶閘管,必須使陽極電流《維持電流,,對于電阻負(fù)載,只要使管子陽極電壓降為零即可,。為了保證晶閘管可靠迅速關(guān)斷,,通常在管子陽極電壓互降為零后,,加上一定時間的反向電壓。晶閘管主要特性參數(shù)1.正反向重復(fù)峰值電壓——額定電壓(VDRM,、VRRM取其小者)2.額定通態(tài)平均電流IT(AV)——額定電流(正弦半波平均值)3.門極觸發(fā)電流IGT,門極觸發(fā)電壓UGT,,(受溫度變化)4.通態(tài)平均電壓UT(AV)即管壓降5.維持電流IH與掣住電流IL6.開通與關(guān)斷時間晶閘管合格證基本參數(shù)IT(AV)=A,。

    分兩種情況:②若柵-射極電壓UGE<Uth,,溝道不能形成,,IGBT呈正向阻斷狀態(tài),。②若柵-射極電壓UGE>Uth,柵極溝道形成,,IGBT呈導(dǎo)通狀態(tài)(正常工作),。此時,,空穴從P+區(qū)注入到N基區(qū)進(jìn)行電導(dǎo)調(diào)制,減少N基區(qū)電阻RN的值,,使IGBT通態(tài)壓降降低。IGBT各世代的技術(shù)差異回顧功率器件過去幾十年的發(fā)展,,1950-60年代雙極型器件SCR,GTR,GTO,該時段的產(chǎn)品通態(tài)電阻很?。浑娏骺刂?,控制電路復(fù)雜且功耗大,;1970年代單極型器件VD-MOSFET。但隨著終端應(yīng)用的需求,,需要一種新功率器件能同時滿足:驅(qū)動電路簡單,以降低成本與開關(guān)功耗、通態(tài)壓降較低,,以減小器件自身的功耗,。1980年代初,試圖把MOS與BJT技術(shù)集成起來的研究,導(dǎo)致了IGBT的發(fā)明,。1985年前后美國GE成功試制工業(yè)樣品(可惜后來放棄)。自此以后,,IGBT主要經(jīng)歷了6代技術(shù)及工藝改進(jìn),。從結(jié)構(gòu)上講,,IGBT主要有三個發(fā)展方向:1)IGBT縱向結(jié)構(gòu):非透明集電區(qū)NPT型、帶緩沖層的PT型,、透明集電區(qū)NPT型和FS電場截止型;2)IGBT柵極結(jié)構(gòu):平面柵機(jī)構(gòu),、Trench溝槽型結(jié)構(gòu);3)硅片加工工藝:外延生長技術(shù)、區(qū)熔硅單晶,;其發(fā)展趨勢是:①降低損耗②降低生產(chǎn)成本總功耗=通態(tài)損耗(與飽和電壓VCEsat有關(guān))+開關(guān)損耗(EoffEon)。一個封裝封裝1個IGBT芯片,。如IKW(集成了反向二極管)和IGW(沒有反向二極管)。

    作為工作區(qū)域10和電流檢測區(qū)域20的公共集電極單元200,。此外,當(dāng)空穴收集區(qū)8內(nèi)設(shè)置有溝槽時,,如圖10所示,,此時空穴收集區(qū)8中的溝槽與空穴收集區(qū)電極金屬3接觸,即接觸多晶硅13,。可選的,,在圖7的基礎(chǔ)上,,圖11為圖7中的空穴收集區(qū)電極金屬3按照b-b’方向的橫截圖,如圖11所示,,此時,,電流檢測區(qū)域20的空穴收集區(qū)8與空穴收集區(qū)電極金屬3接觸,且,,與p阱區(qū)7連通;當(dāng)空穴收集區(qū)8通過設(shè)置有多晶硅5的溝槽與p阱區(qū)7隔離時,,橫截面如圖12所示,此時,,如果工作區(qū)域10設(shè)置有多晶硅5的溝槽終止于空穴收集區(qū)8的邊緣時,,則橫截面如圖13所示,,且,空穴收集區(qū)8內(nèi)是不包含設(shè)置有多晶硅5的溝槽的情況,。此外,,當(dāng)空穴收集區(qū)8內(nèi)包含設(shè)置有多晶硅5的溝槽時,,如圖14所示,此時,,空穴收集區(qū)8的溝槽通過p阱區(qū)7與工作區(qū)域10內(nèi)的設(shè)置有多晶硅5的溝槽隔離,,這里空穴收集區(qū)8的溝槽與公共集電極金屬接觸并重合。因此,,本發(fā)明實(shí)施例提供的一種igbt芯片,,在電流檢測區(qū)域20內(nèi)沒有開關(guān)控制電級,即使有溝槽mos結(jié)構(gòu),,溝槽中的多晶硅5也與公共集電極單元200接觸,且,,與公共柵極單元100絕緣,。又由于電流檢測區(qū)域20中的空穴收集區(qū)8為p型區(qū),,可以與工作區(qū)域10的p阱區(qū)7在芯片橫向上聯(lián)通為一體,也可以隔離開,;此外,。,不同封裝形式的IGBT,,其實(shí)主要就是為了照顧IGBT的散熱。浙江哪些是英飛凌IGBT

開關(guān)頻率比較大的IGBT型號是S4,,可以使用到30KHz的開關(guān)頻率。浙江哪些是英飛凌IGBT

    并在檢測電阻40上得到檢測信號,。因此,這種將檢測電阻40通過引線直接與主工作區(qū)的源區(qū)金屬相接,,可以避免主工作區(qū)的工作電流接地電壓對測試的影響。但是,,這種方式得到的檢測電流曲線與工作電流曲線并不對應(yīng),如圖4所示,,得到的檢測電流與工作電流的比例關(guān)系不固定,,在大電流時,,檢測電流與工作電流的偏差較大,此時,電流傳感器1的靈敏性較低,,從而導(dǎo)致檢測電流的精度和敏感性比較低。針對上述問題,,本發(fā)明實(shí)施例提供了igbt芯片及半導(dǎo)體功率模塊,避免了柵電極因?qū)Φ仉娢蛔兓斐傻钠?,提高了檢測電流的精度。為便于對本實(shí)施例進(jìn)行理解,,下面首先對本發(fā)明實(shí)施例提供的一種igbt芯片進(jìn)行詳細(xì)介紹。實(shí)施例一:本發(fā)明實(shí)施例提供了一種igbt芯片,,圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種igbt芯片的結(jié)構(gòu)示意圖,,如圖5所示,,在igbt芯片上設(shè)置有:工作區(qū)域10、電流檢測區(qū)域20和接地區(qū)域30,;其中,,在igbt芯片上還包括第1表面和第二表面,,且,第1表面和第二表面相對設(shè)置,;第1表面上設(shè)置有工作區(qū)域10和電流檢測區(qū)域20的公共柵極單元100,,以及,工作區(qū)域10的第1發(fā)射極單元101,、電流檢測區(qū)域20的第二發(fā)射極單元201和第三發(fā)射極單元202,其中,,第三發(fā)射極單元202與第1發(fā)射極單元101連接,。浙江哪些是英飛凌IGBT