微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型,。一,、I型轉(zhuǎn)移閥。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng)，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，保證高耐用性和長(zhǎng)壽命。二,、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的特點(diǎn)是閘門在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng)，確保完美的腔室壓力維護(hù),。它的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，包括一個(gè)LM導(dǎo)向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營(yíng)地結(jié)構(gòu)，保證了高耐用性和長(zhǎng)壽命,，同時(shí)提供穩(wěn)定和精確的運(yùn)動(dòng),。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過(guò)程中極大限度地減少了振動(dòng)，并且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長(zhǎng)的使用壽命,。此外，即使長(zhǎng)時(shí)間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。真空閘閥對(duì)于隔離不同的真空室、控制工藝過(guò)程中的氣流以及在不影響真空環(huán)境的情況下促進(jìn)維護(hù)或維修很重要,。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：FKM（VITON）,、執(zhí)行器：步進(jìn)電機(jī),、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar 、開啟壓差：≤ 30 mbar,、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C、材料：閥體STS304/機(jī)制STS304,、安裝位置：任意,、接口：RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。UHV閘閥法蘭閘閥真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時(shí)的高真空完整性,，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力。

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案,，真空插板閥品牌—微泰,。控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥,、多位置閘閥使用氣動(dòng)控制操作。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。

微泰,，專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸,、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 0.3 sec ~2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動(dòng)壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、Micron,Global Foundries,、英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體業(yè)績(jī),。

正確安裝,、定期維護(hù)以及遵守制造商指南對(duì)于這些閥門的性能發(fā)揮和使用壽命至關(guān)重要。

微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動(dòng)關(guān)閉?慢速泵送功能,。多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機(jī)制 STS304,、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸、閘門密封 FKM(VITON),、開/關(guān)振動(dòng) 無(wú)振動(dòng),、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門壓差 ≤1.4 bar,、分子流動(dòng)電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar,、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar、安裝位置：任意,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。 關(guān)閉真空閥涉及將閘門移動(dòng)穿過(guò)流路以形成密封,。電動(dòng)閘閥法蘭閘閥

閘閥流動(dòng)阻力小,。閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的，介質(zhì)成直線流動(dòng),，流動(dòng)阻力小,。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力,?？梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥