分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：?jiǎn)晤l激光干涉儀：在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),，**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,，后用于在計(jì)量室中精密測(cè)長(zhǎng)。它對(duì)環(huán)境要求較高,，周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),，以避免空氣湍流對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀：出現(xiàn)于1970年,，適宜在車間中使用,。它應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,，因此抗干擾能力強(qiáng),。雙頻激光干涉儀常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng),。三,、應(yīng)用它通常用于高精度的位移、振動(dòng),、形變等物理量的測(cè)量,。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀,，以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光,，通過(guò)分束后分別作為參考光和測(cè)量光,。測(cè)量光經(jīng)移動(dòng)目標(biāo)反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號(hào)，通過(guò)檢測(cè)差頻的變化來(lái)計(jì)算位移量,。具體來(lái)說(shuō)：雙頻生成：激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制）,，頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經(jīng)分光鏡分為兩路,，一路為參考光（頻率穩(wěn)定）,，另一路為測(cè)量光（頻率經(jīng)被測(cè)物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf）。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)即使光強(qiáng)衰減90%,，仍然可以得到有效的干涉信號(hào),。

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國(guó)物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,，為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來(lái)的精密光學(xué)儀器,。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過(guò)調(diào)整該干涉儀,，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長(zhǎng)度和折射率的測(cè)量,，若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條,，便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2,。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中,，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理,，研制出多種**干涉儀,。 [1]

這種無(wú)規(guī)則的變化較難通過(guò)觸發(fā)電平的自動(dòng)調(diào)整來(lái)補(bǔ)償，因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍,，只有設(shè)法用交流測(cè)量系統(tǒng)代替直流測(cè)量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點(diǎn),。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器,，所不同者,，一方面是當(dāng)可動(dòng)棱鏡不動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是介于**亮和**暗之間的某個(gè)直流光平,，而后者的干涉信號(hào)是一個(gè)頻率約為1.5MHz的交流信號(hào),；用激光干涉儀作為機(jī)床的測(cè)量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率,。

（1）幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度,、俯仰與偏擺,、平面度、平行度等,。（2）位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度,、重復(fù)定位精度、微量位移精度等,。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,，而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,，同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較好精度,，另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí),。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過(guò)分束器分開后，經(jīng)過(guò)被測(cè)物體的反射或透射后再合并,，形成干涉條紋,。張家港購(gòu)買雙頻激光干涉儀銷售廠

現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s,，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量,。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2],。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè),，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn),。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn),、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等,，通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合,，可檢測(cè)線性位移、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,，激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測(cè)量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測(cè)量精度：0.2%工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

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