對(duì)同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,，通過(guò)控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上的移動(dòng)，從而測(cè)量到光線穿過(guò)靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差，顯然,，當(dāng)一束平行光穿過(guò)靶丸后,，偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光線，測(cè)量到的有效壁厚越大,，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度，存在誤差,，穿過(guò)靶丸中心的光線測(cè)得的光程差才對(duì)應(yīng)靶丸的上,、下殼層的厚度?？傊?，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用很廣的測(cè)量薄膜厚度的儀器。國(guó)內(nèi)膜厚儀品牌企業(yè)

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號(hào)解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。因此,，該解調(diào)方案的原理是通過(guò)傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測(cè)物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是解調(diào)速度較快,，受干擾信號(hào)的影響較小,。但是其測(cè)量精度較低,。根據(jù)數(shù)字信號(hào)處理FFT（快速傅里葉變換）理論,，若輸入光源波長(zhǎng)范圍為λ1,λ2，則所測(cè)光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),，所以此方法主要應(yīng)用于對(duì)解調(diào)精度要求不高的場(chǎng)合,。傅里葉變換白光干涉法是對(duì)傅里葉變換法的改進(jìn)。該方法總結(jié)起來(lái)就是對(duì)采集到的光譜信號(hào)做傅里葉變換,，然后濾波,、提取主頻信號(hào)后進(jìn)行逆傅里葉變換，然后做對(duì)數(shù)運(yùn)算,，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算,，由獲得的相位得到干涉儀的光程差。該方法經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)證明其測(cè)量精度比傅里葉變換高,。原裝膜厚儀免費(fèi)咨詢白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的在線檢測(cè)和控制,；

在白光干涉中，當(dāng)光程差為零時(shí),，會(huì)出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋,。隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線形成的干涉條紋之間會(huì)發(fā)生偏移，疊加后整體效果導(dǎo)致條紋對(duì)比度降低,。白光干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)精度高,，可以進(jìn)行測(cè)量。采用白光干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)具有抗干擾能力強(qiáng),、動(dòng)態(tài)范圍大,、快速檢測(cè)和結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊等優(yōu)點(diǎn)。雖然普通的激光干涉與白光干涉有所區(qū)別,，但它們也具有許多共同之處,。我們可以將白光看作一系列理想的單色光在時(shí)域上的相干疊加，而在頻域上觀察到的就是不同波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的干涉光強(qiáng)變化曲線,。

干涉測(cè)量法是一種基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法,，是一種高精度的測(cè)量技術(shù)，其采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、成本低廉,、穩(wěn)定性高、抗干擾能力強(qiáng),、使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),。對(duì)于大多數(shù)干涉測(cè)量任務(wù)，都是通過(guò)分析薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來(lái)研究待測(cè)物理量引入的光程差或位相差的變化,，從而實(shí)現(xiàn)測(cè)量目的。光學(xué)干涉測(cè)量方法的測(cè)量精度可達(dá)到甚至優(yōu)于納米量級(jí),，利用外差干涉進(jìn)行測(cè)量,，其精度甚至可以達(dá)到10^-3 nm量級(jí)。根據(jù)所使用的光源不同,，干涉測(cè)量方法可分為激光干涉測(cè)量和白光干涉測(cè)量?jī)纱箢?lèi),。激光干涉測(cè)量的分辨率更高，但不能實(shí)現(xiàn)對(duì)靜態(tài)信號(hào)的測(cè)量,，只能測(cè)量輸出信號(hào)的變化量或連續(xù)信號(hào)的變化,，即只能實(shí)現(xiàn)相對(duì)測(cè)量。而白光干涉是通過(guò)對(duì)干涉信號(hào)中心條紋的有效識(shí)別來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)物理量的測(cè)量,，是一種測(cè)量方式,，在薄膜厚度測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用。廣泛應(yīng)用于電子,、半導(dǎo)體,、光學(xué),、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開(kāi)發(fā)提供了有力的手段。

白光掃描干涉法可以避免色光相移干涉法測(cè)量的局限性,。該方法利用白光作為光源,，由于白光是一種寬光譜的光源，相干長(zhǎng)度相對(duì)較短,，因此發(fā)生干涉的位置范圍很小,。在白光干涉時(shí)，存在一個(gè)確定的零位置,，當(dāng)測(cè)量光和參考光的光程相等時(shí),，所有波長(zhǎng)的光均會(huì)發(fā)生相長(zhǎng)干涉，此時(shí)可以觀察到一個(gè)明亮的零級(jí)條紋,，同時(shí)干涉信號(hào)也達(dá)到最大值,。通過(guò)分析這個(gè)干涉信號(hào)，可以得到被測(cè)物體的幾何形貌,。白光掃描干涉術(shù)是通過(guò)測(cè)量干涉條紋來(lái)完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測(cè)試精度。因此,，為了提高精度,，需要更為復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)，這使得條紋的測(cè)量變得費(fèi)力費(fèi)時(shí),。當(dāng)光路長(zhǎng)度增加,，儀器的分辨率越高，也越容易受到靜態(tài)振動(dòng)等干擾因素的影響,，需采取一些減小噪聲的措施,。白光干涉膜厚儀推薦

白光干涉膜厚儀的應(yīng)用非常廣，特別是在半導(dǎo)體,、光學(xué),、電子和化學(xué)等領(lǐng)域,。國(guó)內(nèi)膜厚儀品牌企業(yè)

光具有傳播的特性,，不同波列在相遇的區(qū)域，振動(dòng)將相互疊加,，是各列光波獨(dú)自在該點(diǎn)所引起的振動(dòng)矢量和,。兩束光要發(fā)生干涉，應(yīng)必須滿足三個(gè)相干條件,，即：頻率一致,、振動(dòng)方向一致、相位差恒定,。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動(dòng)加強(qiáng),，而在另一些地方振動(dòng)減弱,，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化。任何干涉測(cè)量都是完全建立在這種光波典型特性上的,。下圖分別表示干涉相長(zhǎng)和干涉相消的合振幅,。與激光光源相比，白光光源的相干長(zhǎng)度在幾微米到幾十微米內(nèi),，通常都很短,，更為重要的是，白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個(gè)典型的特征：即條紋有一個(gè)固定不變的位置,，該固定位置對(duì)應(yīng)于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強(qiáng)度具有最大值,，并通過(guò)探測(cè)該光強(qiáng)最大值,，可實(shí)現(xiàn)樣品表面位移的精密測(cè)量。此外,，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng),、穩(wěn)定性好且動(dòng)態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，成本低廉等優(yōu)點(diǎn)。因此,，白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等基于白光干涉的光學(xué)測(cè)量技術(shù)在薄膜三維形貌測(cè)量、薄膜厚度精密測(cè)量等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用,。國(guó)內(nèi)膜厚儀品牌企業(yè)