傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中的一種低精度信號解調(diào)方法，起初由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，并得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)勢是解調(diào)速度快，受干擾信號影響較小,，但精度不高,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT理論,，若輸入光源波長范圍為[λ1,λ2],，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2-λ1)，因此該方法主要應(yīng)用于解調(diào)精度要求不高的場合,。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進,。該方法總結(jié)起來是對采集到的光譜信號進行傅里葉變換，然后濾波,、提取主頻信號，接著進行逆傅里葉變換,、對數(shù)運算，之后取其虛部進行相位反包裹運算,，從而通過得到的相位來獲得干涉儀的光程差,。經(jīng)實驗證明，該方法測量精度比傅里葉變換方法更高,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于光學(xué)元件制造中的薄膜厚度管控,。膜厚儀定做價格

對同一靶丸相同位置進行白光垂直掃描干涉，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,，通過控制光學(xué)輪廓儀的運動機構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動,，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差，顯然,，當(dāng)一束平行光穿過靶丸后,，偏離靶丸中心越遠的光線，測量到的有效壁厚越大,，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，存在誤差，穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)靶丸的上,、下殼層的厚度,。防水膜厚儀定做白光干涉膜厚測量技術(shù)可以在不同環(huán)境下進行測量；

使用了迭代算法的光譜擬合法,，其優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點是不夠?qū)嵱?，該方法需要一個較好的薄膜的光學(xué)模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng)),，但是在實際測試過程中，薄膜的色散和吸收的公式通常不準(zhǔn)確,，尤其是對于多層膜體系,，建立光學(xué)模型非常困難,，無法用公式準(zhǔn)確地表示出來,。在實際應(yīng)用中只能使用簡化模型，因此,，通常全光譜擬合法不如極值法有效,。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求。

白光干涉在零光程差處,，出現(xiàn)零級干涉條紋,，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,，疊加的整體效果使條紋對比度下降,。測量精度高，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強,，動態(tài)范圍大,，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有許多相似之處,。可以說,，白光干涉實際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加,，在頻域上觀察到的就是不同波長對應(yīng)的干涉光強變化曲線。白光干涉膜厚儀需要進行校準(zhǔn),，并選擇合適的標(biāo)準(zhǔn)樣品,。

微納制造技術(shù)的發(fā)展推動著檢測技術(shù)向微納領(lǐng)域進軍 ,，微結(jié)構(gòu)和薄膜結(jié)構(gòu)作為微納器件中的重要組成部分，在半導(dǎo)體,、航天航空,、醫(yī)學(xué)、現(xiàn)代制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,，由于其微小和精細的特征,，傳統(tǒng)檢測方法不能滿足要求。白光干涉法具有非接觸,、無損傷,、高精度等特點，被廣泛應(yīng)用在微納檢測領(lǐng)域,，另外光譜測量具有高效率,、測量速度快的優(yōu)點。因此,，本文提出了白光干涉光譜測量方法并搭建了測量系統(tǒng),。和傳統(tǒng)白光掃描干涉方法相比，其特點是具有較強的環(huán)境噪聲抵御能力,，并且測量速度較快,。可以配合不同的軟件進行分析和數(shù)據(jù)處理,，例如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等 。納米級膜厚儀設(shè)備

隨著技術(shù)的進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提升和擴展,。膜厚儀定做價格

白光反射光譜探測模塊中，入射光經(jīng)過分光鏡1分光后,，一部分光照射到靶丸表面,，靶丸殼層上、下表面的反射光經(jīng)物鏡,、分光鏡1、聚焦透鏡,、分光鏡2后,，一部分光聚焦到光纖端面并到達光譜儀探測器，實現(xiàn)了靶丸殼層白光干涉光譜的測量,。另一部分光到達CCD探測器,，獲得靶丸表面的光學(xué)圖像。靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊和三維運動模塊分別用于靶丸的吸附定位以及靶丸特定角度的轉(zhuǎn)位和靶丸位置的調(diào)整,。在測量過程中,，將靶丸放置于軸系吸嘴前端,，通過微型真空泵將其吸附于吸嘴上；然后,，移動位移平臺,，將靶丸移動至CCD視場中心，Z向位移臺可調(diào)整視場清晰度,；利用光譜儀探測靶丸殼層的白光反射光譜,；靶丸在軸系的帶動下，平穩(wěn)轉(zhuǎn)動到特定角度,，為消除軸系回轉(zhuǎn)誤差所帶來的誤差,，可通過調(diào)整調(diào)心結(jié)構(gòu)，使靶丸定點位于視場中心并采集其白光反射光譜,。重復(fù)以上步驟,，可實現(xiàn)靶丸特定位置或圓周輪廓白光反射光譜數(shù)據(jù)的測量。為減少外界干擾和震動所引起的測量誤差,，該裝置放置于氣浮平臺上,，通過高性能的隔振效果，保證了測量結(jié)果的穩(wěn)定性,。膜厚儀定做價格