技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題,，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊,，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。

可選地,，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布,。 越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè)。韶關(guān)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪個(gè)牌子好

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 韶關(guān)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理價(jià)錢與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性。

與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確，有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),，在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求。柔性機(jī)械臂作為簡(jiǎn)單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速,，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式,，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂,，可以抓起螞蟻而不是捏死,。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于,，包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái),；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形,，所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái)，所述偽絕緣凸臺(tái)與手臂一體成型,，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺(tái)內(nèi),；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺(tái)比所述偽絕緣凸臺(tái)突出,；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。機(jī)械手的剛度,、偏重力矩,、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。珠海直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來確定,，其誤差是積累誤差,，因而精度較差，其位置精度也更難保證,。韶關(guān)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪個(gè)牌子好

使用匯編語言編寫計(jì)算機(jī)程序,，程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)，所以從程序設(shè)計(jì)本身上來看仍然是低效率的,、煩瑣的,。但正是由于匯編語言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切，在某些特定的場(chǎng)合,，如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,，迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn),。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類,。一、按驅(qū)動(dòng)方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)（各種油缸,、油馬達(dá)）,、伺服閥、油泵,、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),，由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力（高達(dá)幾百公斤以上）,，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,，動(dòng) 作平穩(wěn)，耐沖擊,，耐振動(dòng),，防爆性好,，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能，否則漏油將污染環(huán)境,。2．氣動(dòng)式 其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常由氣缸,、氣閥、氣罐和空壓機(jī)組成,，其特點(diǎn)是氣源方便，動(dòng)作迅速,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、造價(jià)較低、維修方便,。但難以進(jìn)行速度控制,，氣壓不可太高，故抓舉能力較低,。韶關(guān)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪個(gè)牌子好

深圳市德澳美科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景,、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治,、展望未來,、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司,，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,，攜手共畫藍(lán)圖，在廣東省深圳市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,，也收獲了良好的用戶口碑,，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來公司能成為*****,，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**德澳美和您一起攜手步入輝煌,，共創(chuàng)佳績(jī),，一直以來，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理,、創(chuàng)新發(fā)展,、誠(chéng)實(shí)守信的方針，員工精誠(chéng)努力,，協(xié)同奮取,，以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場(chǎng),，我們一直在路上,！