機械臂是指高精度,，多輸入多輸出、高度非線性,、強耦合的復雜系統(tǒng),。因其獨特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機械臂是一個復雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動,、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性,。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性，對于不同的任務(wù), 需要規(guī)劃機械臂關(guān)節(jié)空間的運動軌跡,，從而級聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1]  ,。機器人系統(tǒng)是由視覺傳感器、機械臂系統(tǒng)及主控計算機組成,，其中機械臂系統(tǒng)又包括模塊化機械臂和靈巧手兩部分,。整個系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示．工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。安徽正規(guī)晶圓運送機械吸臂批發(fā)

晶圓運送機械吸臂主要由以下幾個部分組成：

吸盤：用于吸附晶圓,，通常采用真空吸附原理,。吸盤材料應(yīng)具有耐磨、耐腐蝕,、低粒子產(chǎn)生等特性,，以保證晶圓表面不受污染。

機械臂：用于支撐和移動吸盤,，實現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的傳送,。機械臂應(yīng)具有高精度、高穩(wěn)定性和高剛性等特點，以確保晶圓在傳送過程中的精確定位和平穩(wěn)運輸,。

傳動系統(tǒng)：為機械臂提供動力,，實現(xiàn)吸臂的伸縮、旋轉(zhuǎn)等動作,。傳動系統(tǒng)通常采用電機,、減速器、傳動帶等部件組成,，確保吸臂運動的準確性和穩(wěn)定性,。

控制系統(tǒng)：負責控制機械臂的運動軌跡、速度和加速度等參數(shù),?？刂葡到y(tǒng)一般采用先進的伺服控制技術(shù)和高精度傳感器，實現(xiàn)吸臂的高精度定位和穩(wěn)定運行,。 上海官方晶圓運送機械吸臂參考價手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時動作的平穩(wěn)性,、運動的速度和定位精度。

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術(shù)方案中,，機械手臂傳送晶圓時,，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,，本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。

例如：尋找,，運輸,，握取，對準,，裝配,，檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人，美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制,，多功能的操作器,，它透過程式控制和多變化的動作設(shè)計來移動材料，工件,，工具或特別設(shè)備,，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機械人并非有人的形態(tài),，但只要它們符合機械人的定義,，便可以稱為機械人.工業(yè)機械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi)，但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機械人投入服務(wù).現(xiàn)時,，不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺,，令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學。為此,，手臂一般都采用剛性較好的導向桿來加大手臂的剛度.

有用于輸送半導體晶圓的機械手,。具體地，該機械手將半導體晶圓插入到處理室（process chamber）,，或者將半導體晶圓從處理室中取出,。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機械手配置在該傳送室內(nèi),。利用機械手使半導體晶圓在傳送室與處理室之間移動,。傳送室相當于小的無塵室。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導體晶圓,。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔,。另外，傳送室內(nèi)有時被保持為真空,。要求使在傳送室內(nèi)工作的機械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法,。X移動，Y移動,，Z移動組成,，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動，Y轉(zhuǎn)動,，Z轉(zhuǎn)動可以到達空間內(nèi)的任何坐標點,。安徽正規(guī)晶圓運送機械吸臂批發(fā)

精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè)。安徽正規(guī)晶圓運送機械吸臂批發(fā)

工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置,。擬人手臂,、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊,；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件,；進行激光切割；噴涂,；裝配機械零部件等等,。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置,。但事實并不是這樣，特別是工業(yè)機械臂,，與人的外貌往往毫無相似之處,。根據(jù)國家標準，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,，可重復編程,、多用途，并可以對3個以上軸進行編程,。它可以是固定式或者移動式,。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。安徽正規(guī)晶圓運送機械吸臂批發(fā)

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