某生物物理實驗室利用 Polos 光刻機開發(fā)了基于壓阻效應的細胞力傳感器。其激光直寫技術(shù)在硅基底上制造出 5μm 厚的懸臂梁結(jié)構(gòu),,傳感器的力分辨率達 10pN,,較傳統(tǒng) AFM 提升 10 倍。通過在懸臂梁表面刻制 100nm 的微柱陣列,,實現(xiàn)了單個心肌細胞收縮力的實時監(jiān)測,,力信號信噪比提升 60%。該傳感器被用于心臟纖維化機制研究,,成功捕捉到心肌細胞在病理狀態(tài)下的力學變化,,相關數(shù)據(jù)為心肌修復藥物開發(fā)提供了關鍵依據(jù)。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案,。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光,。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,,并broad應用于微流體,、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會,。實時觀測系統(tǒng):120 FPS高清攝像頭搭配20x尼康物鏡,實現(xiàn)加工過程動態(tài)監(jiān)控,。湖北PSP光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
在航空航天科研中,,某科研團隊致力于研發(fā)用于環(huán)境監(jiān)測和偵察的微型飛行器。其中,,制造輕量化且高性能的微機械部件是關鍵,。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術(shù),助力團隊制造出尺寸precise,、質(zhì)量輕盈的微型齒輪,、機翼骨架等微機械結(jié)構(gòu)。例如,,利用該光刻機制造的微型齒輪,,齒距精度達到納米級別,極大提高了飛行器動力傳輸系統(tǒng)的效率和穩(wěn)定性,?;诖耍蒲袌F隊成功試飛了一款新型微型飛行器,,其續(xù)航時間和飛行靈活性遠超同類產(chǎn)品,為未來微型飛行器在復雜環(huán)境下的應用奠定了堅實基礎,。河南PSP光刻機科研成果轉(zhuǎn)化:中科院利用同類技術(shù)制備跨尺度微盤陣列,,研究細胞浸潤機制。
某基因treatment團隊采用 Polos 光刻機開發(fā)了微米級 DNA 遞送載體,。通過 STL 模型直接導入,,在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窩狀微孔結(jié)構(gòu),載體的 DNA 負載量達 200μg/mg,,較傳統(tǒng)電穿孔法提升 5 倍,。動物實驗顯示,該載體在肝臟靶向遞送中,,基因轉(zhuǎn)染效率達 65%,,且免疫原性降低 70%,。其無掩模特性支持根據(jù)不同細胞表面受體定制載體形貌,在 CAR-T 細胞treatment中,,CAR 基因?qū)胄蕪?30% 提升至 75%,,相關技術(shù)已申請國際patent。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案,。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟高效的 MLL 系統(tǒng),。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,,非常適合研究實驗室,,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域,。該系統(tǒng)的經(jīng)濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。
微流體芯片制造的core工具,!Polos光刻機可加工80 μm直徑的開環(huán)諧振器和2 μm叉指電極,,適用于傳感器與執(zhí)行器開發(fā)。結(jié)合雙光子聚合技術(shù)(如Nanoscribe的2PP工藝),,用戶可擴展至3D微納結(jié)構(gòu)打印,,為微型機器人及光學超材料提供多維度解決方案37。其與Lab14集團的協(xié)同合作,,進一步推動工業(yè)級光學封裝技術(shù)創(chuàng)新3,。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案,。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光,。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,,并broad應用于微流體,、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會,。6英寸晶圓兼容:Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工,工業(yè)級重復精度0.1 μm,。
一所高校的電子工程實驗室專注于新型傳感器的研究,。在開發(fā)一款超靈敏壓力傳感器時,,面臨著如何在微小尺寸上構(gòu)建高精度電路圖案的難題。德國 Polos 光刻機的引入解決了這一困境,。其可輕松輸入任意圖案進行曝光的特性,,讓研究人員能夠根據(jù)傳感器的特殊需求,設計并制作出獨特的電路結(jié)構(gòu),。通過 Polos 光刻機precise的光刻,,成功制造出的壓力傳感器,靈敏度比現(xiàn)有市場產(chǎn)品提高了兩倍以上,。該成果已獲得多項patent,,并吸引了多家科技企業(yè)的關注,有望實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應用,,為可穿戴設備,、智能機器人等領域帶來新的發(fā)展機遇。Polos-BESM 光刻機:無掩模激光直寫,,50nm 精度,,支持金屬 / 聚合物同步加工,適配第三代半導體器件研發(fā),。河北德國POLOS光刻機
無掩模技術(shù)優(yōu)勢:摒棄傳統(tǒng)掩模,,圖案設計實時調(diào)整,研發(fā)成本直降 70%,。湖北PSP光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
在organ芯片研究中,,模擬人體organ微環(huán)境需要微米級精度的三維結(jié)構(gòu)。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術(shù),,幫助科研團隊在 PDMS 材料上構(gòu)建出仿生血管網(wǎng)絡與組織界面,。某再生醫(yī)學實驗室使用 Polos 光刻機,成功制備出肝芯片微通道,,其內(nèi)皮細胞黏附率較傳統(tǒng)方法提升 40%,,且可通過軟件實時調(diào)整通道曲率,precise模擬肝臟血流動力學,。該技術(shù)縮短了organ芯片的研發(fā)周期,,為藥物肝毒性測試提供了更真實的體外模型,相關成果入選《自然?生物技術(shù)》年度創(chuàng)新技術(shù)案例,。湖北PSP光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸