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德國高精度無掩膜光刻系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2024-02-29

Nanoscribe的2PP技術將可調整模場的錐形體作為階躍折射率光波導光束。來自德國亞琛工業(yè)大學以及萊布尼茲材料研究所科學家們使用Nanoscribe的3D雙光子無掩模光刻系統(tǒng)以一種全新的方式制作帶有嵌入式3D微流控器件的2D微型通道,該器件的非常重要部件是模擬蜘蛛噴絲頭的復雜噴嘴設計,??茖W家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(2PP)打印微型通道的聚合物母版,并結合軟光刻技術做后續(xù)復制工作。隨后,在密閉的微流道中通過芯片內(nèi)3D微納加工技術直接制作復雜結構噴絲頭。這種集成復雜3D結構于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開了新的大門,。布魯塞爾自由大學的光子學研究小組(B-PHOT)的科學家們正在通過使用Nanoscribe雙光子聚合技術(2PP)將光波導漏斗3D打印到光纖末端上來攻克將具有不同模場幾何形狀的兩個元件之間的光束進行高效和穩(wěn)健耦合這個難題。這些錐形光束漏斗可調整SMF的模式場,,以匹配光子芯片上光波導模式場,。、它的實時調整能力也減小了由反應時間造成的加工誤差,。德國高精度無掩膜光刻系統(tǒng)

德國高精度無掩膜光刻系統(tǒng),無掩膜光刻

世界上頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX實現(xiàn)了2D和2.5D微納結構的增材制造,。該無掩模光刻系統(tǒng)將灰度光刻的出色性能與Nanoscribe的雙光子聚合技術的精度和靈活性相結合,從而達到亞微米分辨率并實現(xiàn)對體素大小的超快控制,,自動化打印以及特別高的形狀精度和光學質量表面,。高精度的增材制造可打印出頂端的折射微納光學元件。得益于Nanoscribe雙光子灰度光刻技術所具有的設計自由度和光學質量的特點,,您可以進行幾乎任何形狀,,包括球形,非球形或者自由曲面和混合的創(chuàng)新設計,。歡迎咨詢,。重慶高精度無掩膜光刻無掩膜激光直寫無掩膜光刻技術的更多信息,請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。

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科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(2PP)打印微型通道的聚合物母版,,并結合軟光刻技術做后續(xù)復制工作。隨后,在密閉的微流道中通過芯片內(nèi)3D微納加工技術直接制作復雜結構噴絲頭,。這種集成復雜3D結構于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開了新的大門,。布魯塞爾自由大學的光子學研究小組(B-PHOT)的科學家們正在通過使用Nanoscribe雙光子聚合技術(2PP)將光波導漏斗3D打印到光纖末端上來攻克將具有不同模場幾何形狀的兩個元件之間的光束進行高效和穩(wěn)健耦合這個難題,。這些錐形光束漏斗可調整SMF的模式場,,以匹配光子芯片上光波導模式場。Nanoscribe的2PP技術將可調整模場的錐形體作為階躍折射率光波導光束,。

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2提供世界上分辨率非常高的3D無掩模光刻技術,,用于快速,精度非常高的微納加工,,可以輕松3D微納光學制作,。可以搭配不同的基板,,包括玻璃,,硅晶片,光子和微流控芯片等,,也可以實現(xiàn)芯片和光纖上直接打印,。我們的3D微納加工技術可以滿足您對于制作亞微米分辨率和毫米級尺寸的復雜微機械元件的要求。3D設計的多功能性對于制作復雜且響應迅速的高精度微型機械,,傳感器和執(zhí)行器是至關重要的,。基于雙光子聚合原理的激光直寫技術,,可適用于您的任何新穎創(chuàng)意的快速原型制作,;也適合科學家和工程師們在無需額外成本增加的前提下,實現(xiàn)不同參數(shù)的創(chuàng)新3D結構的制作以及生物醫(yī)學研究,,如制造微小的生物樣本等,。

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Nanoscribe稱,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(two-photongrayscalelithography,,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),,目前該技術正在申請專利。2GL將灰度光刻技術與Nanoscribe的雙光子聚合技術相結合,,可生產(chǎn)折射和衍射微光學以及聚合物母版的原型,。多層衍射光學元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過在掃描平面內(nèi)調制激光功率來完成,,從而減少多層微制造所需的打印時間,。Nanoscribe表示,折射微光學也受益于2GL工藝的加工能力,,可制作單個光學元件,、填充因子高達100%的陣列,以及可以在直接和無掩模工藝中實現(xiàn)各種形狀,,如球面和非球面透鏡,。QuantumX的軟件能實時控制和監(jiān)控打印作業(yè),,并通過交互式觸摸屏控制面板進行操作。為了更好地管理和安排用戶的項目,,打印隊列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè),。歡迎咨詢納糯三維科技(上海)有限公司無掩膜光刻在生活中應用。浙江2PP無掩膜光刻技術3D打印

無掩膜光刻是一類不采用光刻掩膜版的光刻技術,,即采用電子束直接在硅片上制作出需要的圖形,。德國高精度無掩膜光刻系統(tǒng)

QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),,以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度,。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義,。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結構,很大程度推動了生命科學,,微流體,,材料工程學中復雜應用的快速原型制作。德國高精度無掩膜光刻系統(tǒng)