從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺(tái),，低溫探針臺(tái),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái),，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),?？v觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái),、探卡／探卡支架、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)（又叫磁性氣浮工作臺(tái)）自動(dòng)探針測試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對待。創(chuàng)造價(jià)值是我們永遠(yuǎn)的追求,！四川溫控探針臺(tái)公司

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小，復(fù)雜程度與日俱增,，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械,、光學(xué)、物理,、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),，具有技術(shù)壁壘高,、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,，在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,，市場對自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛,。自動(dòng)化探針臺(tái)搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,，根據(jù)測試結(jié)果評(píng)定上一道工序的工藝質(zhì)量,，并指導(dǎo)下一道工序。湖北直流探針臺(tái)公司探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座,。

X系列探針臺(tái)：1、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì),，使運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性得到提升,，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2,、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用的是日系高剛性,、高精密的導(dǎo)軌和絲桿；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動(dòng)控制卡與電機(jī)形成整個(gè)閉環(huán)的反饋檢測,，以保證實(shí)現(xiàn)高精度高溫度性的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),。3、整個(gè)四維運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),，保證其速率能到達(dá)70mm/s,，并能提高運(yùn)動(dòng)過程中的加速,。4,、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個(gè)位置能進(jìn)行接地保護(hù),。

探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接,，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針,、同軸DC測試探針,、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上,。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型,。探針尖直接接觸被測件，探針臂應(yīng)與探針尖匹配,。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針,、并將探針連接至測量儀器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件,。操縱器（定位器）：探針臺(tái)使用操縱器將探針放置在被測物上,，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。一旦固定,，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),。上海勤確科技有限公司本上海勤確科技有限公司經(jīng)營理念，將心比心,，誠信經(jīng)營,，質(zhì)量為先。

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤,，開啟真空閥門控制開關(guān),，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,，在大倍率下找到待測點(diǎn),，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心,。5.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問題,，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。上海勤確科技有限公司團(tuán)隊(duì)從用戶需求出發(fā),。山西手動(dòng)高低溫探針臺(tái)供應(yīng)商

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x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：無論是全自動(dòng)探針測試臺(tái)還是自動(dòng)探針測試臺(tái),，x-y向工作臺(tái)都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障,，而工作臺(tái)故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,，所以對工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動(dòng)探針測試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹,。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊,，動(dòng)子浮于氣墊上,，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),，由于動(dòng)子和定子間無相對摩擦故無磨損,，使用壽命長。四川溫控探針臺(tái)公司