從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺,，低溫探針臺,，RF探針臺，LCD平板探針臺,，霍爾效應(yīng)探針臺,，表面電阻率探針臺?？v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺,，可編程承片臺,、探卡／探卡支架,、打點器,、探邊器、操作手柄等組成,，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺,。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對待,。探針臺是半導(dǎo)體（包括集成電路,、分立器件,、光電器件,、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一,。安徽半自動探針臺要多少錢

手動探針臺規(guī)格描述（以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,，六寸探針臺為例）：探針臺載物臺平整度：5μm探針臺右側(cè)標配顯微鏡升降機構(gòu),，可抬高顯微鏡,，便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標配升降器,可快速升降臺面8mm,，并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm（客戶有特殊需求,，可以增大范圍）,，精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),，微調(diào)精度為0.1度，標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動,，移動范圍為150mm or 200mm,，移動精度為1μm載物臺具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。浙江磁場探針臺手動探針臺：普遍應(yīng)用于,，科研單位研發(fā)測試,、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域,。

探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接,，才能與測試儀器建立連接,。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針,、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上,。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,，探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針,、并將探針連接至測量儀器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接,、延展探針夾具上的電纜組件,。操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,，它可以很容易地定位探針并快速固定它們,。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當?shù)奈恢?。一旦固定，操縱器可以在X,、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動。

X系列探針臺：1,、基板采用鑄件為基準進行設(shè)計，使運動的穩(wěn)定性得到提升,，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2,、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿,；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測，以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng),。3,、整個四維運動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),，保證其速率能到達70mm/s,，并能提高運動過程中的加速。4,、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個位置能進行接地保護,。晶圓測試一般在晶圓廠,、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進行，主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺,。

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,，以免造成定子及動子的損傷,。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環(huán)境中,，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃，氣壓為0．4±0．04MPa,。相對于平面電機工作臺,，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成,。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x,、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌,。磁場探針臺主要用于半導(dǎo)體材料,、微納米器件,、磁性材料,。遼寧手動高低溫探針臺生產(chǎn)廠家

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探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動,，全自動,。從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺，低溫探針臺,，RF探針臺,，LCD平板探針臺,，霍爾效應(yīng)探針臺,，表面電阻率探針臺?？v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡／探卡支架,、打點器,、探邊器、操作手柄等組成,，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺,。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待,。安徽半自動探針臺要多少錢