主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng),，半自動(dòng),，全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),，旨在確保質(zhì)量及可靠性,，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,。探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。上海芯片測(cè)試探針臺(tái)一般多少錢

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),，x-y向工作臺(tái)都是其很重心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi),，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊,，動(dòng)子浮于氣墊上,，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,，使用壽命長(zhǎng)。浙江高溫探針臺(tái)公司上海勤確科技有限公司專業(yè)的一站式多方位貼心服務(wù),。

半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高,。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,，復(fù)雜程度與日俱增,，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用光學(xué)、物理,、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn),。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,，從半導(dǎo)體單晶片到制成成品，須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序,。為了確保產(chǎn)品性能合格,、穩(wěn)定可靠，并有高的成品率,，根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況,，對(duì)所有工藝步驟都要有嚴(yán)格的具體要求。因而，在生產(chǎn)過(guò)程中必須建立相應(yīng)的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施,，首先要從半導(dǎo)體工藝檢測(cè)著手,。

半自動(dòng)型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm,；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡,；針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆,；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"；可搭配Probe card測(cè)試,；適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer,、IC測(cè)試之產(chǎn)品。電動(dòng)型：chuck尺寸1200mm,，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）,；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm,；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u,；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡,；針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“,；材質(zhì)：花崗巖臺(tái)面+不銹鋼,；可搭配Probe card測(cè)試；適用領(lǐng)域：12寸Wafer,、IC測(cè)試之產(chǎn)品,。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高，一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,，設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上,。

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,，然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸,。確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題,，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法,。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),。黑龍江芯片探針臺(tái)公司

探針臺(tái)用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,。上海芯片測(cè)試探針臺(tái)一般多少錢

有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障,，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹,。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi),，定子是基礎(chǔ)平臺(tái),，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上,，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上,。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,，使用壽命長(zhǎng),。上海芯片測(cè)試探針臺(tái)一般多少錢