隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,，對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,，表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,，利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),，便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析,。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,，控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng)，移動(dòng)范圍12mm,，移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米,。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上(說(shuō)明探針是耗材，一般客戶(hù)自己準(zhǔn)備),，探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上,，從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件,，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試,。上海勤確科技有限公司和客戶(hù)攜手誠(chéng)信合作，共創(chuàng)輝煌,！福建手動(dòng)探針臺(tái)廠(chǎng)家

如何判斷探針卡的好壞：1.可以用扎五點(diǎn)來(lái)判斷,，即上中下左右，五點(diǎn)是否扎在壓點(diǎn)內(nèi),，且針跡清楚,又沒(méi)出氧化層,針跡圓而不長(zhǎng)且不開(kāi)叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點(diǎn)接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過(guò)看實(shí)際測(cè)試參數(shù)來(lái)判斷,探針與被測(cè)IC沒(méi)有接觸好,，測(cè)試值接近于0?？傊?，操作工只要了解了探針卡故障的主要原因：1.探針氧化.2.針尖有異物(鋁粉，墨跡,，塵埃).3.針尖高度差.4.針尖異常(開(kāi)裂,，折斷，彎曲,，破損),。.5.針尖磨平.6.探針卡沒(méi)焊好.7.背面有突起物，焊錫線(xiàn)頭.8.操作不當(dāng),。平時(shí)操作時(shí)應(yīng)注意:1.保護(hù)好探針卡,卡應(yīng)放到氮?dú)夤裰?2.做好探針卡的管理工作.3.規(guī)范操作,針尖不要碰傷任何東西,。同時(shí)加強(qiáng)操作人員的技能培訓(xùn)。有利于提工作效率和提高質(zhì)量,。黑龍江芯片探針臺(tái)加工廠(chǎng)家探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,，使用壽命長(zhǎng)。

初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路,，為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時(shí),，晶圓直徑不過(guò)1.25英寸～2英寸之間,，生產(chǎn)過(guò)程多以人工方式進(jìn)行。隨著6英寸,、8英寸晶圓的誕生,，Align/Load的校準(zhǔn)工作和一些進(jìn)階檢測(cè)也開(kāi)始自動(dòng)化；直到12英寸晶圓成形,，可謂正式邁入“單鍵探測(cè)”(OneButtonProbing)的全部自動(dòng)化時(shí)代,，就連傳輸也開(kāi)始借助機(jī)器輔助；但此時(shí)的測(cè)試大都是轉(zhuǎn)包給專(zhuān)業(yè)的廠(chǎng)商做,，且大部分是著重在如何縮短工藝開(kāi)發(fā)循環(huán)的參數(shù)測(cè)試上,。

探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào)，保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備,。下面我們來(lái)了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測(cè)試的一些相關(guān)問(wèn)題,，首先為什么需要進(jìn)行在片測(cè)試？因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?，而不是封裝以后的,，雖然可以去嵌，但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性,。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量,。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試，在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快,。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng),，主要包括：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，線(xiàn)纜,，探針,，探針定位器，探針臺(tái),，校準(zhǔn)設(shè)備及軟件，電源偏置等,。重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命。

精細(xì)探測(cè)技術(shù)帶來(lái)新優(yōu)勢(shì)：先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的,。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對(duì)易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)在有效區(qū)域上墊片的測(cè)試,，以低沖擊的探針卡,，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問(wèn)題。另一個(gè)可能損害到晶圓的來(lái)源是探針力道過(guò)猛或不平均,，因此能動(dòng)態(tài)控制探針強(qiáng)度也是很重要的,；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動(dòng)控制,，即可提升晶圓翻面時(shí)的探測(cè)精確度，使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào),，以提高精確度,，并縮短索引的時(shí)間。探針臺(tái)并通過(guò)測(cè)試數(shù)據(jù)反饋,，讓設(shè)計(jì)芯片的工程師能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正制作過(guò)程中的問(wèn)題,。黑龍江芯片探針臺(tái)加工廠(chǎng)家

探針卡虛焊和布線(xiàn)斷線(xiàn)或短路，測(cè)試時(shí)都要測(cè)不穩(wěn),。福建手動(dòng)探針臺(tái)廠(chǎng)家

滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70％,，無(wú)有害氣體的環(huán)境中,，滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,，但不可過(guò)多,，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,，從直線(xiàn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性,，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,，用戶(hù)一般情況不能輕易改變,，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成,。福建手動(dòng)探針臺(tái)廠(chǎng)家