“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針,，涵蓋定位,、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面,。首先,，必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片,，載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確,、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤(pán)，并在晶圓移動(dòng)的過(guò)程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位,；其次,，必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性,；后,，必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,，針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間,。隨著新工藝的微縮，為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,，需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,，以避免無(wú)謂的產(chǎn)出損失。主要工作是檢測(cè)芯片設(shè)計(jì)的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),。福建半自動(dòng)探針臺(tái)公司

通常,，參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測(cè)器件（DUT），然后測(cè)量該器件對(duì)于此輸入信號(hào)的響應(yīng),。這些信號(hào)的路徑為：從測(cè)試儀通過(guò)電纜束至測(cè)試頭，再通過(guò)測(cè)試頭至探針卡,，然后通過(guò)探針至芯片上的焊點(diǎn),，到達(dá)被測(cè)器件，并后沿原路徑返回測(cè)試儀器,。如果獲得的結(jié)果不盡如人意,，問(wèn)題可能是由測(cè)量?jī)x器或軟件所致，也可能是其它原因造成,。通常情況下,，測(cè)量?jī)x器引進(jìn)一些噪聲或測(cè)量誤差。而更可能導(dǎo)致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件,，其中之一可能是接觸電阻,，它會(huì)受探針參數(shù)的影響，如探針的材料,、針尖的直徑與形狀,、焊接的材質(zhì)、觸點(diǎn)壓力,、以及探針臺(tái)的平整度,。此外，探針尖磨損和污染也會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響,。北京探針臺(tái)一般多少錢(qián)上海勤確科技有限公司團(tuán)隊(duì)從用戶(hù)需求出發(fā),。

探針臺(tái)需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷,。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25℃,，相對(duì)濕度小于50％的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃，氣壓為0．4±0．04MPa,。相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成,。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x,、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌,。

X系列探針臺(tái)：1,、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，使運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性得到提升,，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高,。2、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用的是日系高剛性,、高精密的導(dǎo)軌和絲桿,；反饋檢測(cè)系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動(dòng)控制卡與電機(jī)形成整個(gè)閉環(huán)的反饋檢測(cè)，以保證實(shí)現(xiàn)高精度高溫度性的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),。3,、整個(gè)四維運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)成低重心的緊湊結(jié)構(gòu)，保證其速率能到達(dá)70mm/s,，并能提高運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的加速,。4、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理,，保證每個(gè)位置能進(jìn)行接地保護(hù),。誠(chéng)信是企業(yè)生存和發(fā)展的根本。

探針治具的校準(zhǔn)：我們希望校準(zhǔn)過(guò)程盡可能的把測(cè)試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項(xiàng)全部校準(zhǔn)掉,，當(dāng)使用探針夾具的方式進(jìn)行操作有兩種校準(zhǔn)方法：1一種方式是直接對(duì)著電纜的SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn),，然后通過(guò)加載探針S2P文檔的方式進(jìn)行補(bǔ)償;2第二種方法是直接通過(guò)探針搭配的校準(zhǔn)板在探針的端面進(jìn)行校準(zhǔn)。是要告訴大家如果直接在SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn)之后不補(bǔ)償探針頭,，而直接進(jìn)行測(cè)量的話會(huì)帶來(lái)很大的誤差,。探針廠商一般都會(huì)提供探針的S2P文檔與校準(zhǔn)片，校準(zhǔn)片如下圖所示,，上面有Open,、Short、Load及不同負(fù)載的微帶線,。上海勤確科技有限公司專(zhuān)業(yè)的一站式多方位貼心服務(wù),。山西直流探針臺(tái)生產(chǎn)廠家

隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)也呈增長(zhǎng)趨勢(shì),。福建半自動(dòng)探針臺(tái)公司

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),，x-y向工作臺(tái)都是其很中心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在小編只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi),，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊,，動(dòng)子浮于氣墊上,，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,，使用壽命長(zhǎng)。福建半自動(dòng)探針臺(tái)公司