探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試,。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。探針臺(tái)分類:探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),全自動(dòng),。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺(tái),,真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),,LCD平板探針臺(tái),,霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái),。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選),;X-Y移動(dòng)行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離,;顯微鏡:金相顯微鏡,、體式顯微鏡,、單筒顯微鏡(可選),;顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選),;探針座:有0.7um,、2um、10um精度可選,,磁性吸附帶磁力開關(guān),;可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:晶圓廠,、研究所,、高校等。上海勤確科技有限公司擁有一批年輕,、專業(yè)的員工,。青海磁場(chǎng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)
探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào),保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備,。下面我們來了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測(cè)試的一些相關(guān)問題,,首先為什么需要進(jìn)行在片測(cè)試?因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?,而不是封裝以后的,,雖然可以去嵌,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性,。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量,。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試,在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快,。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng),,主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,線纜,,探針,,探針定位器,探針臺(tái),,校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,,電源偏置等。青海磁場(chǎng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)探針卡沒焊到位,,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū)。
晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),,通用性設(shè)計(jì),;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸,、6寸,、碎片,;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試,;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,,調(diào)節(jié)精度2μm,;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小至調(diào)節(jié)精度5’,。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái):詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng),,兼容性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,,且向下兼容8寸,、6寸、碎片,;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試),;提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試,;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T,;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,,調(diào)節(jié)精度2μm,;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小到調(diào)節(jié)精度5’,。
探針臺(tái)的作用是什么,?探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件,。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,,也可以很復(fù)雜,,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試,。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息,。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā),、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用,。測(cè)試信號(hào)的完整性需要高質(zhì)量的探針接觸,,這與接觸電阻(CRes)直接相關(guān)。
平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,,整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心,,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性,,不損壞定子的除銹劑除銹,。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng),,方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇,,輕擦定子表面,然后用專門工具撬起動(dòng)子,,方法同前,,輕擦動(dòng)子表面,動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔,,它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔,,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài),。測(cè)試完成后,探針卡于芯片分離,,如果芯片不合格,,則會(huì)在其中間做上標(biāo)記。北京射頻探針臺(tái)生產(chǎn)廠家
某些針尖壓痕太長(zhǎng),,超出PAD范圍,,使PAD周圍的鋁線短路。青海磁場(chǎng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)
探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損,,使用壽命長(zhǎng),。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽,,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng),。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命,,損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報(bào)廢,。由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命。青海磁場(chǎng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)