探針臺(tái)為研究和工程實(shí)驗(yàn)室在測試運(yùn)行期間移動(dòng)通過多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí),，提供前所未有的自動(dòng)化水平,。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,，學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境,。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來越重要,。以前,，大多數(shù)芯片在兩個(gè)溫度點(diǎn)進(jìn)行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F(xiàn)在,，該范圍已經(jīng)擴(kuò)大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個(gè)溫度步驟中進(jìn)行一整套測試,。某些情況下需要更普遍的范圍,，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達(dá)300?C的溫度,。在檢測虛焊和斷路的時(shí)候,，探針卡用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個(gè)標(biāo)稱值。河北芯片探針臺(tái)廠家

近年來,，半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點(diǎn),。2019年，中美摩擦,、日韓半導(dǎo)體材料爭端對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響,。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,，中國大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張寶地,，未來幾年半導(dǎo)體產(chǎn)能擴(kuò)充仍將有較大需求,。2019年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資約為923.51億元，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模約為67.43億元,。在疫病結(jié)束后國內(nèi)半導(dǎo)體投資將反彈及恢復(fù)增長,，檢測設(shè)備市場規(guī)模也將隨之增長，預(yù)計(jì)2022年將達(dá)到103.22億元,。天津智能探針臺(tái)機(jī)構(gòu)上海勤確科技有限公司一切從實(shí)際出發(fā),、注重實(shí)質(zhì)內(nèi)容。

探針卡沒焊到位,，是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,，使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū)，而針虛焊和布線斷線或短路,，測試時(shí)都要測不穩(wěn)，所以焊針時(shí),，應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn),焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,，檢查針的牢固性。技術(shù)員平時(shí)焊完卡后應(yīng)注意檢查探針卡的質(zhì)量如何,，把背面的突起物和焊錫線頭剪平,，否則要扎傷AL層，造成短路或斷路,，而操作工也應(yīng)在測試裝卡前檢查一下,。針尖有鋁粉:測大電流時(shí)，針尖上要引起多AL粉,，使電流測不穩(wěn),，所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮?dú)獯蹈桑瑫r(shí)測試時(shí)邊測邊吹氮?dú)?，以減少針尖上的AL粉,。

有數(shù)據(jù)表明探針測試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,，所以對工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對自動(dòng)探針測試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊,，動(dòng)子浮于氣墊上,，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),，由于動(dòng)子和定子間無相對摩擦故無磨損,，使用壽命長,。探針臺(tái)配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。

探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng),，全自動(dòng),。從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái)、探卡／探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)（又叫磁性氣浮工作臺(tái)）自動(dòng)探針測試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測試臺(tái),。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待,。探針臺(tái)把晶圓片安放在一個(gè)可移動(dòng)的金屬板上,。河北芯片探針臺(tái)廠家

探針卡上有細(xì)小的金屬探針附著，通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸,。河北芯片探針臺(tái)廠家

探針臺(tái)工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x,、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌,。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,，使用壽命長等特點(diǎn),。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70%,，無有害氣體的環(huán)境中,，滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多,，值得指出的是,，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性,，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變,，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),，所以對需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。河北芯片探針臺(tái)廠家