半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測(cè)，可略分為三大類：1.參數(shù)探測(cè)：提供制造期間的裝置特性測(cè)量,；2.晶圓探測(cè)：當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測(cè)試裝置功能,；3.以探針臺(tái)為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(cè)(FinalTest)：在出貨給顧客前,，對(duì)封裝完成的裝置做后的測(cè)試。晶圓在通過基本的特性測(cè)試后,，即進(jìn)入晶圓探測(cè)階段，此時(shí)需要用復(fù)雜的機(jī)器,、視覺及軟件來(lái)偵測(cè)晶圓上的每顆裸晶,，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺(tái)的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對(duì)應(yīng)的晶圓后,，探針臺(tái)會(huì)將晶圓向上挪動(dòng),，使其電氣和連接于測(cè)試儀上的探針卡接觸，以進(jìn)行探測(cè),。當(dāng)測(cè)試完成,，則會(huì)自動(dòng)將下一個(gè)待測(cè)晶圓替換到探針卡下面，如此周而復(fù)始地循環(huán)著,。磁場(chǎng)探針臺(tái)主要用于半導(dǎo)體材料,、微納米器件、磁性材料,。四川探針臺(tái)多少錢

探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試,。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng),，全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有：高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái)、探卡／探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)（又叫磁性氣浮工作臺(tái)）自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。四川探針臺(tái)多少錢探針臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,。

全自動(dòng)探針臺(tái)相比手動(dòng)探針臺(tái)和自動(dòng)探針臺(tái)兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）,。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等,。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。軟件為探針臺(tái)系統(tǒng)增加了很多功能,，使用者可以通過軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺(tái),，程序可以設(shè)置映射以匹配器件，可以選擇要檢測(cè)的器件,。

晶圓測(cè)試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個(gè)步驟,。在此步驟中，在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,，晶圓上存在的所有單個(gè)集成電路都通過對(duì)其應(yīng)用特殊測(cè)試模式來(lái)測(cè)試功能缺陷,。晶圓測(cè)試由稱為晶圓探針器的測(cè)試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測(cè)試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用：晶圓終端測(cè)試(WFT),、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的,。晶圓探針器是用于測(cè)試集成電路的機(jī)器（自動(dòng)測(cè)試設(shè)備）。對(duì)于電氣測(cè)試,，一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?，同時(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的,。

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,，對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件，表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了,。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,，利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái)，便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析,。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,，控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng)，移動(dòng)范圍12mm,，移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米,。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上(說(shuō)明探針是耗材，一般客戶自己準(zhǔn)備),，探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上,，從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件,，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試,。上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍(lán)天。四川探針臺(tái)多少錢

探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,，使用壽命長(zhǎng),。四川探針臺(tái)多少錢

探針臺(tái)工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,，所以具有傳動(dòng)效率高,、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中,，滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多,，值得指出的是,，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性,，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變,，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。四川探針臺(tái)多少錢