通常，參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測(cè)器件（DUT），然后測(cè)量該器件對(duì)于此輸入信號(hào)的響應(yīng),。這些信號(hào)的路徑為：從測(cè)試儀通過(guò)電纜束至測(cè)試頭,，再通過(guò)測(cè)試頭至探針卡，然后通過(guò)探針至芯片上的焊點(diǎn),，到達(dá)被測(cè)器件,，并后沿原路徑返回測(cè)試儀器。如果獲得的結(jié)果不盡如人意,，問(wèn)題可能是由測(cè)量?jī)x器或軟件所致,，也可能是其它原因造成。通常情況下,，測(cè)量?jī)x器引進(jìn)一些噪聲或測(cè)量誤差,。而更可能導(dǎo)致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件，其中之一可能是接觸電阻,，它會(huì)受探針參數(shù)的影響,，如探針的材料、針尖的直徑與形狀,、焊接的材質(zhì),、觸點(diǎn)壓力、以及探針臺(tái)的平整度,。此外,，探針尖磨損和污染也會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。探針臺(tái)用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),。江西射頻探針臺(tái)廠家

初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路，為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時(shí)，晶圓直徑不過(guò)1.25英寸～2英寸之間,，生產(chǎn)過(guò)程多以人工方式進(jìn)行,。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生,，Align/Load的校準(zhǔn)工作和一些進(jìn)階檢測(cè)也開(kāi)始自動(dòng)化,；直到12英寸晶圓成形，可謂正式邁入“單鍵探測(cè)”(OneButtonProbing)的全部自動(dòng)化時(shí)代,，就連傳輸也開(kāi)始借助機(jī)器輔助,；但此時(shí)的測(cè)試大都是轉(zhuǎn)包給專業(yè)的廠商做，且大部分是著重在如何縮短工藝開(kāi)發(fā)循環(huán)的參數(shù)測(cè)試上,。江西射頻探針臺(tái)廠家圓片移動(dòng)到下一個(gè)芯片的位置,，這種方法可以讓圓片上的每一個(gè)芯片都經(jīng)過(guò)測(cè)試。

全自動(dòng)探針臺(tái)相比手動(dòng)探針臺(tái)和自動(dòng)探針臺(tái)兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）,。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作,，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等,。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴,。軟件為探針臺(tái)系統(tǒng)增加了很多功能，使用者可以通過(guò)軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺(tái),，程序可以設(shè)置映射以匹配器件,，可以選擇要檢測(cè)的器件。

自動(dòng)化探針臺(tái)搭配測(cè)試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù),、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測(cè)試,，根據(jù)測(cè)試結(jié)果評(píng)定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導(dǎo)下一道工序,。從全球市場(chǎng)看,，半導(dǎo)體探針臺(tái)設(shè)備行業(yè)集中度較高，目前主要由國(guó)外廠商主導(dǎo),，行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競(jìng)爭(zhēng)格局,。鑒于自動(dòng)化探針臺(tái)是光、機(jī),、電高度一體化的產(chǎn)品,，國(guó)內(nèi)在這一方向研究幾乎為零，市場(chǎng)主要被一些國(guó)外的大公司壟斷,。2017年投產(chǎn)X系列半自動(dòng)探針臺(tái)并成功推向市場(chǎng),，成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白,。在探針臺(tái)上裝上打點(diǎn)器，打點(diǎn)器根據(jù)系統(tǒng)的信號(hào)來(lái)判斷是否給芯片打點(diǎn)標(biāo)記,。

探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng),，全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有：高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái)、探卡／探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,，并配有與測(cè)試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)（又叫磁性氣浮工作臺(tái)）自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待,。通常用戶得到電路,，直接安裝在印刷電路板(PCB)上。江西射頻探針臺(tái)廠家

探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),。江西射頻探針臺(tái)廠家

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),，觀察是否有少許劃痕,，證明是否已經(jīng)接觸。確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試,。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法,。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。江西射頻探針臺(tái)廠家