光刻膠系列:
厚板光刻膠 JT - 3001,具備優(yōu)異分辨率、感光度和抗深蝕刻性能,,符合歐盟 ROHS 標準,保質(zhì)期 1 年,;
水油光刻膠 SR - 3308,容量 5L,;SU - 3 負性光刻膠,分辨率優(yōu)異,,對比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),,重量 100g,;
液晶平板顯示器負性光刻膠 JT - 1000,,有 1L 裝和 100g 裝兩種規(guī)格,分辨率高,,準確性和穩(wěn)定性好,;
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠,耐強酸強堿,,耐高溫達 250°C,,長期可靠性高,粘接強度高,,重量 100g,;
LCD 正性光刻膠 YK - 200,具有較大曝光,、高分辨率,、良好涂布和附著力,重量 100g,;
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300,,具備耐熱耐酸、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g;
耐腐蝕負性光刻膠 JT - NF100,,重量 1L,。
半導(dǎo)體芯片制造,用于精細電路圖案光刻,,決定芯片性能與集成度,。廈門光刻膠生產(chǎn)廠家
吉田半導(dǎo)體突破 ArF 光刻膠技術(shù)壁壘,國產(chǎn)替代再迎新進展
自主研發(fā) ArF 光刻膠通過中芯國際驗證,,吉田半導(dǎo)體填補國內(nèi)光刻膠空白,。
吉田半導(dǎo)體成功研發(fā)出 AT-450 ArF 光刻膠,分辨率達 90nm,,適用于 14nm 及以上制程,,已通過中芯國際量產(chǎn)驗證。該產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與自主配方,,突破日本企業(yè)對 ArF 光刻膠的壟斷,。其光酸產(chǎn)率提升 30%,蝕刻選擇比達 4:1,,性能對標日本信越的 ArF 系列,。吉田半導(dǎo)體的技術(shù)突破加速了國產(chǎn)芯片制造材料自主化進程,為國內(nèi)晶圓廠提供高性價比解決方案,。
河南納米壓印光刻膠工廠吉田質(zhì)量管控與認證壁壘,。
吉田半導(dǎo)體 JT-3001 厚板光刻膠:歐盟 RoHS 認證,,PCB 電路板制造
憑借抗深蝕刻性能與環(huán)保特性,吉田 JT-3001 厚板光刻膠成為 PCB 行業(yè)材料,。
吉田半導(dǎo)體推出的 JT-3001 厚板光刻膠,,分辨率達 1.5μm,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,,適用于高密度電路板制造,。產(chǎn)品通過歐盟 RoHS 認證,采用無鹵無鉛配方,,符合環(huán)保要求,。其優(yōu)異的感光度與留膜率,,確保復(fù)雜線路圖形的成型,已應(yīng)用于華為 5G 基站主板量產(chǎn),。公司提供從材料選型到工藝優(yōu)化的全流程支持,助力客戶提升生產(chǎn)效率與良率,。
光刻膠的工作原理:
1. 涂覆與曝光:在基底(如硅片、玻璃,、聚合物)表面均勻涂覆光刻膠,,通過掩膜(或直接電子束掃描)對特定區(qū)域曝光,。
2. 化學變化:曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學反應(yīng)(正性膠曝光后溶解,負性膠曝光后交聯(lián)不溶),。
3. 顯影與刻蝕:溶解未反應(yīng)的部分,,留下圖案化的膠層,,作為后續(xù)刻蝕或沉積的掩模,,將圖案轉(zhuǎn)移到基底上。
在納米技術(shù)中,,關(guān)鍵挑戰(zhàn)是突破光的衍射極限(λ/2),,因此需依賴高能束曝光技術(shù)(如電子束光刻,、極紫外EUV光刻)和高性能光刻膠(高分辨率,、低缺陷),。
負性光刻膠的工藝和應(yīng)用場景,。
研發(fā)投入的“高門檻”
一款KrF光刻膠的研發(fā)費用約2億元,而國際巨頭年研發(fā)投入超10億美元,。國內(nèi)企業(yè)如彤程新材2024年半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)營收只5.4億元,,研發(fā)投入占比不足15%,,難以支撐長期技術(shù)攻關(guān)。
2. 價格競爭的“雙重擠壓”
國內(nèi)PCB光刻膠價格較國際低30%,,但半導(dǎo)體光刻膠因性能差距,,價格為進口產(chǎn)品的70%,而成本卻高出20%,。例如,,國產(chǎn)ArF光刻膠售價約150萬元/噸,而日本同類產(chǎn)品為120萬元/噸,,且性能更優(yōu),。
突破路徑與未來展望
原材料國產(chǎn)化攻堅:聚焦樹脂單體合成、光酸純化等關(guān)鍵環(huán)節(jié),,推動八億時空,、怡達股份等企業(yè)實現(xiàn)百噸級量產(chǎn),。
技術(shù)路線創(chuàng)新:探索金屬氧化物基光刻膠、電子束光刻膠等新方向,,華中科技大學團隊已實現(xiàn)5nm線寬原型驗證,。
產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新:借鑒“TSMC-供應(yīng)商”模式,,推動晶圓廠與光刻膠企業(yè)共建聯(lián)合實驗室,,縮短認證周期。
政策與資本雙輪驅(qū)動:依托國家大基金三期,,對通過驗證的企業(yè)給予設(shè)備采購補貼(30%),,并設(shè)立專項基金支持EUV光刻膠研發(fā)。
光刻膠的顯示面板領(lǐng)域。大連正性光刻膠國產(chǎn)廠家
告別顯影殘留,!化學增幅型光刻膠助力封裝,。廈門光刻膠生產(chǎn)廠家
技術(shù)趨勢與挑戰(zhàn)
半導(dǎo)體先進制程:
? EUV光刻膠需降低缺陷率(目前每平方厘米缺陷數(shù)<10個),,開發(fā)低粗糙度(≤5nm)材料,;
? 極紫外吸收問題:膠膜對13.5nm光吸收率高,需厚度控制在50-100nm,,挑戰(zhàn)化學增幅體系的靈敏度,。
環(huán)保與低成本:
? 水性負性膠替代溶劑型膠(如PCB阻焊膠),,減少VOC排放;
? 單層膠工藝替代多層膠,,簡化流程(如MEMS厚膠的一次性涂布),。
新興領(lǐng)域拓展:
? 柔性電子:開發(fā)耐彎曲(曲率半徑<5mm)、低模量感光膠,,用于可穿戴設(shè)備電路,;
? 光子芯片:高折射率膠(n>1.8)制作光波導(dǎo),需低傳輸損耗(<0.1dB/cm),。
典型產(chǎn)品與廠商
? 半導(dǎo)體正性膠:
? 日本信越(Shin-Etsu)的ArF膠(分辨率22nm,,用于12nm制程);
? 美國陶氏(Dow)的EUV膠(靈敏度10mJ/cm2,,缺陷密度<5個/cm2),。
? PCB負性膠:
? 中國容大感光(LP系列):耐堿性蝕刻,厚度20-50μm,,國產(chǎn)化率超60%,;
? 日本東京應(yīng)化(TOK)的THMR-V:全球PCB膠市占率30%,適用于高可靠性汽車板,。
? MEMS厚膠:
? 美國陶氏的SU-8:實驗室常用,,厚度5-200μm,分辨率1μm(需優(yōu)化交聯(lián)均勻性),;
? 德國Microresist的MR膠:耐深硅蝕刻,,線寬精度±2%,用于工業(yè)級MEMS制造,。
廈門光刻膠生產(chǎn)廠家
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念,,先進的管理經(jīng)驗,在發(fā)展過程中不斷完善自己,,要求自己,,不斷創(chuàng)新,,時刻準備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在廣東省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,,在業(yè)界也收獲了很多良好的評價,,這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結(jié)果,這些評價對我們而言是比較好的前進動力,,也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強,、一往無前的進取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度,,在全體員工共同努力之下,,全力拼搏將共同吉田半導(dǎo)體供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品,,我們將以更好的狀態(tài),,更認真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,,去拼搏,去努力,,讓我們一起更好更快的成長,!