吉田半導(dǎo)體 SU-3 負(fù)性光刻膠:國(guó)產(chǎn)技術(shù)賦能 5G 芯片封裝
自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠支持 3 微米厚膜加工,,成為 5G 芯片高密度封裝材料,。
針對(duì) 5G 芯片封裝需求,吉田半導(dǎo)體自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠,,分辨率達(dá) 1.5μm,,抗深蝕刻速率 > 500nm/min。其超高感光度與耐化學(xué)性確保復(fù)雜圖形的完整性,,已應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片量產(chǎn),。產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與工藝,不采用國(guó)外材料,,成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%,,幫助客戶提升封裝良率至 98.5%,為國(guó)產(chǎn) 5G 芯片制造提供關(guān)鍵材料支撐,。
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制版光刻膠應(yīng)用場(chǎng)景:印刷電路板(FPC),、觸摸屏(TP)的掩膜版制作,,以及光學(xué)元件(如衍射光柵)的微納加工。特點(diǎn):高分辨率與耐化學(xué)性,,確保模板的長(zhǎng)期使用壽命,。
水性光刻膠(JT-1200)應(yīng)用場(chǎng)景:環(huán)保要求高的電子元件(如醫(yī)療設(shè)備,、汽車電子)的制造,,以及柔性電路的生產(chǎn)。特點(diǎn):以水為溶劑,,低 VOC 排放,,符合 RoHS 和 REACH 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
水油兩用光刻膠(JT-2001/SR-3308)適用于混合工藝場(chǎng)景(如部分環(huán)節(jié)需水性顯影,,部分需溶劑顯影),,提升生產(chǎn)靈活性。
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厚板光刻膠
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電路板制造:在制作對(duì)線路精度和抗蝕刻性能要求高的電路板時(shí),厚板光刻膠可確保線路的精細(xì)度和穩(wěn)定性,,比如汽車電子,、工業(yè)控制等領(lǐng)域的電路板,能承受復(fù)雜環(huán)境和大電流,、高電壓等工況,。
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功率器件制造:像絕緣柵雙極晶體管(IGBT)這類功率器件,需要承受高電壓和大電流,,厚板光刻膠可用于其芯片制造過(guò)程中的光刻環(huán)節(jié),,保障芯片內(nèi)部電路的精細(xì)布局,,提高器件的性能和可靠性。
負(fù)性光刻膠
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半導(dǎo)體制造:在芯片制造過(guò)程中,,用于制作一些對(duì)精度要求高,、圖形面積較大的結(jié)構(gòu),如芯片的金屬互連層,、接觸孔等,。通過(guò)負(fù)性光刻膠的曝光和顯影工藝,能實(shí)現(xiàn)精確的圖形轉(zhuǎn)移,,確保芯片各部分之間的電氣連接正常,。
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平板顯示制造:在液晶顯示器(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)的制造中,用于制作電極,、像素等大面積圖案,。以 LCD 為例,負(fù)性光刻膠可幫助形成液晶層與玻璃基板之間的電極圖案,,控制液晶分子的排列,,從而實(shí)現(xiàn)圖像顯示。
? 化學(xué)反應(yīng):
? 正性膠:曝光后光敏劑(如重氮醌DQN)分解,,生成羧酸,,在堿性顯影液中溶解;
? 負(fù)性膠:曝光后光敏劑引發(fā)交聯(lián)劑與樹(shù)脂形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),。
5. 顯影(Development)
? 顯影液:
? 正性膠:堿性水溶液(如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH),,溶解曝光區(qū)域;
? 負(fù)性膠:有機(jī)溶劑(如二甲苯,、醋酸丁酯),,溶解未曝光區(qū)域。
? 方法:噴淋顯影(PCB)或沉浸式顯影(半導(dǎo)體),,時(shí)間30秒-2分鐘,,需控制顯影液濃度和溫度。
6. 后烘(Post-Bake)
? 目的:固化膠膜,,提升耐蝕刻性和熱穩(wěn)定性,。
? 條件:
? 溫度:100-150℃(半導(dǎo)體用正性膠可能更高,如180℃),;
? 時(shí)間:15-60分鐘(厚膠或高耐蝕需求時(shí)延長(zhǎng)),。
7. 蝕刻/離子注入(后續(xù)工藝)
? 蝕刻:以膠膜為掩膜,通過(guò)濕法(酸堿溶液)或干法(等離子體)刻蝕基板材料(如硅,、金屬,、玻璃);
? 離子注入:膠膜保護(hù)未曝光區(qū)域,,使雜質(zhì)離子只能注入曝光區(qū)域(半導(dǎo)體摻雜工藝),。
8. 去膠(Strip)
? 方法:
? 濕法去膠:強(qiáng)氧化劑(如硫酸+雙氧水)或有機(jī)溶劑(如N-甲基吡咯烷酮NMP),;
? 干法去膠:氧等離子體灰化(半導(dǎo)體領(lǐng)域,無(wú)殘留),。
吉田半導(dǎo)體材料的綠色環(huán)保與可持續(xù)發(fā)展,。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司成立于松山湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專注于半導(dǎo)體材料研發(fā),、生產(chǎn)與銷售的技術(shù)企業(yè),。公司注冊(cè)資本 2000 萬(wàn)元,擁有 23 年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),,產(chǎn)品涵蓋芯片光刻膠,、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠,、半導(dǎo)體錫膏,、焊片及靶材等,服務(wù)全球市場(chǎng)并與多家世界 500 強(qiáng)企業(yè)建立長(zhǎng)期合作關(guān)系,。
作為國(guó)家技術(shù)企業(yè),,吉田半導(dǎo)體以科技創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)力,擁有多項(xiàng)技術(shù),,并通過(guò) ISO9001:2008 質(zhì)量體系認(rèn)證,。生產(chǎn)過(guò)程嚴(yán)格遵循 8S 現(xiàn)場(chǎng)管理標(biāo)準(zhǔn),原材料均采用美,、德,、日等國(guó)進(jìn)口的材料,確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠,。公司配備全自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,,具備行業(yè)大型的規(guī)?;a(chǎn)能力,,致力于成為 “半導(dǎo)體材料方案提供商”。
其明星產(chǎn)品包括:適用于 LCD 制造的正性光刻膠 YK-200/YK-300,,具備高分辨率與優(yōu)異涂布性能,;3 微米負(fù)性光刻膠 SU-3,適用于厚膜工藝,;耐高溫達(dá) 250℃的納米壓印光刻膠 JT-2000,,可滿足高精度微納加工需求。所有產(chǎn)品均符合要求,,部分型號(hào)通過(guò)歐盟 ROHS 認(rèn)證,。
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關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:
? 在晶圓表面涂覆光刻膠,通過(guò)掩膜曝光,、顯影,,刻蝕出晶體管、電路等納米級(jí)結(jié)構(gòu)(如EUV光刻膠用于7nm以下制程),。
印刷電路板(PCB):
? 保護(hù)電路圖形或作為蝕刻抗蝕層,,制作線路和焊盤(pán)。
顯示面板(LCD/OLED):
? 用于制備彩色濾光片,、電極圖案等,。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):
? 加工微結(jié)構(gòu)(如傳感器、執(zhí)行器),。
工作原理(以正性膠為例)
1. 涂膠:在基材(如硅片)表面均勻旋涂光刻膠,,烘干形成薄膜。
2. 曝光:通過(guò)掩膜版,,用特定波長(zhǎng)光線照射,,曝光區(qū)域的光敏劑分解,使樹(shù)脂變得易溶于顯影液,。
3. 顯影:用顯影液溶解曝光區(qū)域,,留下未曝光的光刻膠圖案,作為后續(xù)刻蝕或離子注入的掩蔽層,。
4. 后續(xù)工藝:刻蝕基材(保留未被光刻膠保護(hù)的區(qū)域),,或去除光刻膠(剝離工藝)。
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