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珠海激光光刻膠工廠

來源： 發(fā)布時間：2025-06-11

光刻膠的工作原理：
1. 涂覆與曝光：在基底（如硅片、玻璃,、聚合物）表面均勻涂覆光刻膠,，通過掩膜（或直接電子束掃描）對特定區(qū)域曝光,。

2. 化學(xué)變化：曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)（正性膠曝光后溶解,，負性膠曝光后交聯(lián)不溶）,。

3. 顯影與刻蝕：溶解未反應(yīng)的部分,，留下圖案化的膠層,，作為后續(xù)刻蝕或沉積的掩模,，將圖案轉(zhuǎn)移到基底上,。

在納米技術(shù)中，關(guān)鍵挑戰(zhàn)是突破光的衍射極限（λ/2）,，因此需依賴高能束曝光技術(shù)（如電子束光刻,、極紫外EUV光刻）和高性能光刻膠（高分辨率、低缺陷）,。

吉田技術(shù)研發(fā)與生產(chǎn)能力,。珠海激光光刻膠工廠

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 光伏電池（半導(dǎo)體級延伸）
? HJT/TOPCon電池：在硅片表面圖形化金屬電極，使用高靈敏度光刻膠（曝光能量≤50mJ/cm2）,，線寬≤20μm,，降低遮光損失。

? 鈣鈦礦電池：用于電極圖案化和層間隔離,，需耐有機溶劑（適應(yīng)溶液涂布工藝）,。

 納米壓印技術(shù)（下一代光刻）

? 納米壓印光刻膠：通過模具壓印實現(xiàn)10nm級分辨率，用于3D NAND存儲孔陣列（直徑≤20nm）、量子點顯示陣列等,。

 微流控與生物醫(yī)療

? 微流控芯片：制造微米級流道（寬度10-100μm）,，材料需生物相容性（如PDMS基材適配）。

? 生物檢測芯片：通過光刻膠圖案化抗體/抗原固定位點,，精度≤5μm,。
激光光刻膠廠家正性光刻膠的工藝和應(yīng)用場景。

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廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司成立于松山湖經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),，是一家專注于半導(dǎo)體材料研發(fā),、生產(chǎn)與銷售的技術(shù)企業(yè)。公司注冊資本 2000 萬元,，擁有 23 年行業(yè)經(jīng)驗,，產(chǎn)品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠,、LCD 光刻膠,、半導(dǎo)體錫膏、焊片及靶材等,，服務(wù)全球市場并與多家世界 500 強企業(yè)建立長期合作關(guān)系,。
作為國家技術(shù)企業(yè)，吉田半導(dǎo)體以科技創(chuàng)新為驅(qū)動力,，擁有多項技術(shù),，并通過 ISO9001:2008 質(zhì)量體系認證。生產(chǎn)過程嚴格遵循 8S 現(xiàn)場管理標準,，原材料均采用美,、德、日等國進口的材料,，確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠,。公司配備全自動化生產(chǎn)設(shè)備，具備行業(yè)大型的規(guī)?；a(chǎn)能力,，致力于成為 “半導(dǎo)體材料方案提供商”。
其明星產(chǎn)品包括：適用于 LCD 制造的正性光刻膠 YK-200/YK-300,，具備高分辨率與優(yōu)異涂布性能,；3 微米負性光刻膠 SU-3，適用于厚膜工藝,；耐高溫達 250℃的納米壓印光刻膠 JT-2000,，可滿足高精度微納加工需求。所有產(chǎn)品均符合要求,，部分型號通過歐盟 ROHS 認證,。

關(guān)鍵工藝流程

 涂布：

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調(diào)整），需均勻無氣泡（旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm）,。

 前烘（Soft Bake）：

? 加熱（80-120℃）去除溶劑,，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）,。

 曝光：

? 光源匹配：

? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬,，如PCB、LCD）,。

? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程,，如存儲芯片）。

? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程,，需控制納米級缺陷）,。

? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真,。

 顯影：

? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨,，TMAH），曝光區(qū)域膠膜溶解,，未曝光區(qū)域保留,，形成三維立體圖案。

 后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化學(xué)增幅型膠需此步驟,，通過加熱（90-130℃）激發(fā)光酸催化反應(yīng),，提高分辨率和耐蝕刻性。
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應(yīng)用,。

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光刻膠（如液晶平板顯示器光刻膠）

  • 液晶平板顯示器制造：在液晶平板顯示器（LCD）的生產(chǎn)過程中,，光刻膠用于制作液晶盒內(nèi)的各種精細圖案，包括像素電極,、公共電極,、取向?qū)訄D案等。這些圖案的精度和質(zhì)量直接影響液晶顯示器的顯示效果,，如分辨率,、對比度,、視角等,。
  • 有機發(fā)光二極管顯示器（OLED）制造：OLED 顯示器的制造同樣需要光刻膠來制作電極、像素定義層等關(guān)鍵結(jié)構(gòu),。OLED 顯示器具有自發(fā)光,、響應(yīng)速度快等優(yōu)點，而光刻膠能保障其精細的像素結(jié)構(gòu)制作,，提升顯示器的發(fā)光效率和顯示質(zhì)量 ,。


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吉田半導(dǎo)體獲評 "專精特新" 企業(yè),，行業(yè)技術(shù)標準，以技術(shù)創(chuàng)新與標準化生產(chǎn)為,，吉田半導(dǎo)體榮獲 "廣東省專精特新企業(yè)" 稱號,，樹立行業(yè)。
憑借在光刻膠領(lǐng)域的表現(xiàn),，吉田半導(dǎo)體獲評 "廣東省專精特新企業(yè)"" ",，承擔多項國家 02 專項課題。公司主導(dǎo)制定《半導(dǎo)體光刻膠用樹脂技術(shù)規(guī)范》等行業(yè)標準,，推動國產(chǎn)材料標準化進程,。未來，吉田半導(dǎo)體將繼續(xù)以" 中國半導(dǎo)體材料方案提供商 "為愿景,，深化技術(shù)研發(fā)與市場拓展,，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻" 中國力量 "。珠海激光光刻膠工廠

標簽： 光刻膠 錫片 錫膏