作為深耕半導(dǎo)體材料領(lǐng)域二十余年的綜合性企業(yè),廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司始終將環(huán)保理念融入產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)全流程。公司位于東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群,,依托區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì),,持續(xù)推出符合國(guó)際環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料解決方案。
公司在錫膏,、焊片等產(chǎn)品中采用無(wú)鹵無(wú)鉛配方,嚴(yán)格遵循 RoHS 指令要求,避免使用有害物質(zhì),。以錫膏為例,其零鹵素配方通過(guò)第三方機(jī)構(gòu)認(rèn)證,,不僅減少了電子產(chǎn)品廢棄后的環(huán)境負(fù)擔(dān),,還提升了焊接可靠性,適用于新能源汽車,、精密電子設(shè)備等領(lǐng)域,。同時(shí),納米壓印光刻膠與 LCD 光刻膠的生產(chǎn)過(guò)程中,,公司通過(guò)優(yōu)化原料配比,,減少揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放,確保產(chǎn)品符合歐盟 REACH 法規(guī),。
光刻膠的顯示面板領(lǐng)域,。山西進(jìn)口光刻膠供應(yīng)商
光刻膠的納米級(jí)性能要求
超高分辨率:需承受電子束(10keV以上)或EUV(13.5nm波長(zhǎng))的轟擊,避免散射導(dǎo)致的邊緣模糊,,目前商用EUV膠分辨率已達(dá)13nm(3nm制程),。
低缺陷率:納米級(jí)結(jié)構(gòu)對(duì)膠層中的顆粒或化學(xué)不均性極其敏感,,需通過(guò)化學(xué)增幅型配方(如酸催化交聯(lián))提升對(duì)比度和抗刻蝕性,。
多功能性:兼容多種基底(柔性聚合物、陶瓷)和后處理工藝(干法刻蝕,、原子層沉積),,例如用于柔性電子的可拉伸光刻膠。
技術(shù)挑戰(zhàn)與前沿方向
? EUV光刻膠優(yōu)化:解決曝光后酸擴(kuò)散導(dǎo)致的線寬波動(dòng),,開發(fā)含氟聚合物或金屬有機(jī)材料以提高靈敏度,。
? 無(wú)掩膜光刻:結(jié)合機(jī)器學(xué)習(xí)優(yōu)化電子束掃描路徑,直接寫入復(fù)雜納米圖案(如神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)芯片的突觸陣列),,縮短制備周期,。
? 生物基光刻膠:開發(fā)可降解、低毒性的天然高分子光刻膠,,用于生物芯片或環(huán)保型納米制造,。
遼寧水性光刻膠供應(yīng)商負(fù)性光刻膠生產(chǎn)原料,。
? 化學(xué)反應(yīng):
? 正性膠:曝光后光敏劑(如重氮醌DQN)分解,生成羧酸,,在堿性顯影液中溶解,;
? 負(fù)性膠:曝光后光敏劑引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
5. 顯影(Development)
? 顯影液:
? 正性膠:堿性水溶液(如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH),,溶解曝光區(qū)域,;
? 負(fù)性膠:有機(jī)溶劑(如二甲苯、醋酸丁酯),,溶解未曝光區(qū)域,。
? 方法:噴淋顯影(PCB)或沉浸式顯影(半導(dǎo)體),時(shí)間30秒-2分鐘,,需控制顯影液濃度和溫度,。
6. 后烘(Post-Bake)
? 目的:固化膠膜,提升耐蝕刻性和熱穩(wěn)定性,。
? 條件:
? 溫度:100-150℃(半導(dǎo)體用正性膠可能更高,,如180℃);
? 時(shí)間:15-60分鐘(厚膠或高耐蝕需求時(shí)延長(zhǎng)),。
7. 蝕刻/離子注入(后續(xù)工藝)
? 蝕刻:以膠膜為掩膜,通過(guò)濕法(酸堿溶液)或干法(等離子體)刻蝕基板材料(如硅,、金屬,、玻璃);
? 離子注入:膠膜保護(hù)未曝光區(qū)域,,使雜質(zhì)離子只能注入曝光區(qū)域(半導(dǎo)體摻雜工藝),。
8. 去膠(Strip)
? 方法:
? 濕法去膠:強(qiáng)氧化劑(如硫酸+雙氧水)或有機(jī)溶劑(如N-甲基吡咯烷酮NMP);
? 干法去膠:氧等離子體灰化(半導(dǎo)體領(lǐng)域,,無(wú)殘留),。
市場(chǎng)拓展
? 短期目標(biāo):2025年前實(shí)現(xiàn)LCD光刻膠國(guó)內(nèi)市占率10%,半導(dǎo)體負(fù)性膠進(jìn)入中芯國(guó)際,、華虹供應(yīng)鏈,,納米壓印膠完成臺(tái)積電驗(yàn)證。
? 長(zhǎng)期愿景:成為全球的半導(dǎo)體材料方案提供商,,2030年芯片光刻膠營(yíng)收占比超40%,,布局EUV光刻膠和第三代半導(dǎo)體材料。
. 政策與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同
? 受益于廣東省“強(qiáng)芯工程”和東莞市10億元半導(dǎo)體材料基金,,獲設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼(30%)和稅收減免,,加速KrF/ArF光刻膠研發(fā)。
? 與松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,、華為終端建立聯(lián)合研發(fā)中心,,共同攻關(guān)光刻膠關(guān)鍵技術(shù),,縮短客戶驗(yàn)證周期(目前平均12-18個(gè)月)。
. 挑戰(zhàn)與應(yīng)對(duì)
? 技術(shù)壁壘:ArF/EUV光刻膠仍依賴進(jìn)口,,計(jì)劃2026年建成中試線,,突破分辨率和靈敏度瓶頸(目標(biāo)曝光劑量<10mJ/cm2)。
? 供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn):部分原材料(如樹脂)進(jìn)口占比超60%,,正推進(jìn)“國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃”,,與鼎龍股份、久日新材建立戰(zhàn)略合作為原材料供應(yīng),。
光刻膠是有什么東西,?
正性光刻膠
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半導(dǎo)體分立器件制造:對(duì)于二極管、三極管等半導(dǎo)體分立器件,,正性光刻膠可實(shí)現(xiàn)精細(xì)的圖形化加工,,滿足不同功能需求。比如在制作高精度的小尺寸分立器件時(shí),,正性光刻膠憑借其高分辨率和良好對(duì)比度,,能精確刻畫器件的結(jié)構(gòu),提高器件性能,。
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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造:MEMS 器件如加速度計(jì),、陀螺儀等,結(jié)構(gòu)復(fù)雜且尺寸微小,。正性光刻膠用于 MEMS 制造過(guò)程中的光刻步驟,,可在硅片等材料上制作出高精度的微結(jié)構(gòu),確保 MEMS 器件的功能實(shí)現(xiàn),。
負(fù)性光刻膠生產(chǎn)廠家,。煙臺(tái)高溫光刻膠供應(yīng)商
吉田半導(dǎo)體全系列產(chǎn)品覆蓋,滿足多元化需求,。山西進(jìn)口光刻膠供應(yīng)商
光刻膠系列:
厚板光刻膠 JT - 3001,,具備優(yōu)異分辨率、感光度和抗深蝕刻性能,,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),,保質(zhì)期 1 年;
水油光刻膠 SR - 3308,,容量 5L,;SU - 3 負(fù)性光刻膠,分辨率優(yōu)異,,對(duì)比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),重量 100g,;
液晶平板顯示器負(fù)性光刻膠 JT - 1000,,有 1L 裝和 100g 裝兩種規(guī)格,分辨率高,,準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性好,;
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿,,耐高溫達(dá) 250°C,,長(zhǎng)期可靠性高,粘接強(qiáng)度高,,重量 100g,;
LCD 正性光刻膠 YK - 200,具有較大曝光,、高分辨率,、良好涂布和附著力,重量 100g,;
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300,,具備耐熱耐酸、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g;
耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT - NF100,,重量 1L,。
山西進(jìn)口光刻膠供應(yīng)商