磁控濺射的優(yōu)點(diǎn)：（1）基板有低溫性。相對(duì)于二級(jí)濺射和熱蒸發(fā)來說，磁控濺射加熱少,。（2）有很高的沉積率,。可濺射鎢、鋁薄膜和反應(yīng)濺射TiO2、ZrO2薄膜,。（3）環(huán)保工藝,。磁控濺射鍍膜法生產(chǎn)效率高,，沒有環(huán)境污染。（4）涂層很好的牢固性,，濺射薄膜與基板,，機(jī)械強(qiáng)度得到了改善，更好的附著力,。（5）操作容易控制,。鍍膜過程，只要保持壓強(qiáng),、電功率濺射條件穩(wěn)定,，就能獲得比較穩(wěn)定的沉積速率。（6）成膜均勻,。濺射的薄膜密度普遍提高,。（7）濺射的金屬膜通常能獲得良好的光學(xué)性能、電學(xué)性能及某些特殊性能,。（8）濺射可連續(xù)工作,，鍍膜過程容易自動(dòng)控制，工業(yè)上流水線作業(yè),。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,，點(diǎn)火和濺射很方便。江蘇雙靶材磁控濺射特點(diǎn)

脈沖磁控濺射的分類：（1）單向脈沖：?jiǎn)蜗蛎}沖正電壓段的電壓為零!濺射發(fā)生在負(fù)電壓段,。由于零電壓段靶表面電荷中和效果不明顯,。（2）、雙向脈沖：雙向脈沖在一個(gè)周期內(nèi)存在正電壓和負(fù)電壓兩個(gè)階段,，在負(fù)電壓段,，電源工作于靶材的濺射，正電壓段,，引入電子中和靶面累積的正電荷,，并使表面清潔，裸露出金屬表面,。雙向脈沖更多地用于雙靶閉合式非平衡磁控濺射系統(tǒng),，系統(tǒng)中的兩個(gè)磁控靶連接在同一脈沖電源上，兩個(gè)靶交替充當(dāng)陰極和陽極,。陰極靶在濺射的同時(shí)，陽極靶完成表面清潔,，如此周期性地變換磁控靶極性,，就產(chǎn)生了“自清潔”效應(yīng)。江蘇雙靶材磁控濺射特點(diǎn)磁控濺射既降低濺射過程中的氣體壓力,，也同時(shí)提高了濺射的效率和沉積速率,。

反應(yīng)磁控濺射適于制備大面積均勻薄膜,，并能實(shí)現(xiàn)單機(jī)年產(chǎn)上百萬平方米鍍膜的工業(yè)化生產(chǎn)。但是,，直流反應(yīng)濺射的反應(yīng)氣體會(huì)在靶表面非侵蝕區(qū)形成絕緣介質(zhì)層,，造成電荷積累放電，導(dǎo)致沉積速率降低和不穩(wěn)定,，進(jìn)而影響薄膜的均勻性及重復(fù)性,，甚至損壞靶和基片。為了解決這一問題,，近年來發(fā)展了一系列穩(wěn)定等離子體以控制沉積速率,，提高薄膜均勻性和重復(fù)性的技術(shù)。(1)采用雙靶中頻電源解決反應(yīng)磁控濺射過程中因陽極被絕緣介質(zhì)膜覆蓋而造成的等離子體不穩(wěn)定現(xiàn)象,，同時(shí)還解決了電荷積累放電的問題,。(2)利用等離子發(fā)射譜監(jiān)測(cè)等離子體中的金屬粒子含量，調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體流量使等離子體放電電壓穩(wěn)定,，從而使沉積速率穩(wěn)定,。(3)使用圓柱形旋轉(zhuǎn)靶減小絕緣介質(zhì)膜的覆蓋面積。(4)降低輸入功率,，并使用能夠在放電時(shí)自動(dòng)切斷輸出功率的智能電源抑制電弧,。(5)反應(yīng)過程與沉積過程分室進(jìn)行，既能有效提高薄膜沉積速率,，又能使反應(yīng)氣體與薄膜表面充分反應(yīng)生成化合物薄膜,。

磁控濺射的優(yōu)點(diǎn)：（1）成膜致密、均勻,。濺射的薄膜聚集密度普遍提高了,。從顯微照片看，濺射的薄膜表面微觀形貌比較精致細(xì)密,，而且非常均勻,。（2）濺射的薄膜均具有優(yōu)異的性能。如濺射的金屬膜通常能獲得良好的光學(xué)性能,、電學(xué)性能及某些特殊性能,。（3）易于組織大批量生產(chǎn)。磁控源可以根據(jù)要求進(jìn)行擴(kuò)大,，因此大面積鍍膜是容易實(shí)現(xiàn)的,。再加上濺射可連續(xù)工作，鍍膜過程容易自動(dòng)控制,，因此工業(yè)上流水線作業(yè)完全成為可能,。（4）工藝環(huán)保。傳統(tǒng)的濕法電鍍會(huì)產(chǎn)生廢液、廢渣,、廢氣,，對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重的污染。不產(chǎn)生環(huán)境污染,、生產(chǎn)效率高的磁控濺射鍍膜法則可較好解決這一難題,。磁控濺射鍍膜的適用范圍：在鋁合金制品裝飾中的應(yīng)用。

磁控濺射技術(shù)是近年來新興的一種材料表面鍍膜技術(shù),該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了金屬,、絕緣體等多種材料的表面鍍膜,具有高速,、低溫、低損傷的特點(diǎn).利用磁控濺射技術(shù)進(jìn)行超細(xì)粉體的表面鍍膜處理,不但能有效提高超細(xì)粉體的分散性,大幅度提高鍍層與粉體之間的結(jié)合力,還能賦予超細(xì)粉體的新的特異性能,。在各種濺射鍍膜技術(shù)中,，磁控濺射技術(shù)是較重要的技術(shù)之一，為了制備大面積均勻且批量一致好的薄膜,，釆用優(yōu)化靶基距,、改變基片運(yùn)動(dòng)方式、實(shí)行膜厚監(jiān)控等措施,。多工位磁控濺射鍍膜儀器由于其速度比可調(diào)以及同時(shí)制作多個(gè)基片,，效率大幅度提高，被越來越多的重視和使用,。磁控濺射鍍膜的適用范圍：高級(jí)產(chǎn)品零/部件表面的裝飾鍍中的應(yīng)用,。湖北單靶磁控濺射分類

磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下，飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,，使其產(chǎn)生出Ar正離子,。江蘇雙靶材磁控濺射特點(diǎn)

非平衡磁控濺射的磁場(chǎng)有邊緣強(qiáng)，也有中部強(qiáng),，導(dǎo)致濺射靶表面磁場(chǎng)的“非平衡”,。磁控濺射靶的非平衡磁場(chǎng)不只有通過改變內(nèi)外磁體的大小和強(qiáng)度的永磁體獲得，也有由兩組電磁線圈產(chǎn)生,，或采用電磁線圈與永磁體混合結(jié)構(gòu),，還有在陰極和基體之間增加附加的螺線管，用來改變陰極和基體之間的磁場(chǎng),，并以它來控制沉積過程中離子和原子的比例,。非平衡磁控濺射系統(tǒng)有兩種結(jié)構(gòu)，一種是其芯部磁場(chǎng)強(qiáng)度比外環(huán)高,，磁力線沒有閉合,，被引向真空室壁，基體表面的等離子體密度低,，因此該方式很少被采用,。另一種是外環(huán)磁場(chǎng)強(qiáng)度高于芯部磁場(chǎng)強(qiáng)度,，磁力線沒有完全形成閉合回路，部分外環(huán)的磁力線延伸到基體表面,，使得部分二次電子能夠沿著磁力線逃逸出靶材表面區(qū)域，同時(shí)再與中性粒子發(fā)生碰撞電離,，等離子體不再被完全限制在靶材表面區(qū)域,，而是能夠到達(dá)基體表面，進(jìn)一步增加鍍膜區(qū)域的離子濃度,，使襯底離子束流密度提高,，通常可達(dá)5mA/cm2以上,。這樣濺射源同時(shí)又是轟擊基體表面的離子源,，基體離子束流密度與靶材電流密度成正比，靶材電流密度提高,，沉積速率提高,，同時(shí)基體離子束流密度提高，對(duì)沉積膜層表面起到一定的轟擊作用,。江蘇雙靶材磁控濺射特點(diǎn)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所位于長(zhǎng)興路363號(hào),，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,，是一家服務(wù)型企業(yè),。是一家****企業(yè)，隨著市場(chǎng)的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究,，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn)，追求新型,，在強(qiáng)化內(nèi)部管理,，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí)，良好的質(zhì)量,、合理的價(jià)格,、完善的服務(wù)，在業(yè)界受到寬泛好評(píng),。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則,，致力于提供高質(zhì)量的微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)。廣東省半導(dǎo)體所自成立以來,，一直堅(jiān)持走正規(guī)化,、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。