磁控濺射概述：濺射是一種基于等離子體的沉積過程,，其中高能離子向目標加速。離子撞擊目標,，原子從表面噴射,。這些原子向基板移動并結(jié)合到正在生長的薄膜中。磁控濺射是一種涉及氣態(tài)等離子體的沉積技術(shù),，該等離子體產(chǎn)生并限制在包含要沉積的材料的空間內(nèi),。靶材表面被等離子體中的高能離子侵蝕，釋放出的原子穿過真空環(huán)境并沉積到基板上形成薄膜,。在典型的濺射沉積工藝中,，腔室首先被抽真空至高真空，以較小化所有背景氣體和潛在污染物的分壓,。達到基本壓力后,，包含等離子體的濺射氣體流入腔室，并使用壓力控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)總壓力-通常在毫托范圍內(nèi),。磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場,。貴州射頻磁控濺射鍍膜

磁控濺射是物理中氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬,、半導(dǎo)體,、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡單,、易于控制,、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點。上世紀70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速,、低溫,、低損傷,。因為是在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率,。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程,。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程,，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子,，此靶原子又和其他靶原子碰撞,，形成級聯(lián)過程,。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,，離開靶被濺射出來。北京單靶磁控濺射設(shè)備這提高了薄膜工藝的效率,，使它們能夠在較低的壓力下更快地生長,。

物相沉積技術(shù)是指在真空條件下采用物理方法將材料源表面氣化成氣態(tài)原子或分子，或部分電離成離子,，并通過低壓氣體過程,，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)，物相沉積是主要的表面處理技術(shù)之一,。PVD鍍膜技術(shù)主要分為三類：真空蒸發(fā)鍍膜,、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜。物相沉積的主要方法有：真空蒸鍍,、濺射鍍膜,、電弧等離子體鍍膜、離子鍍膜和分子束外延等,。相應(yīng)的真空鍍膜設(shè)備包括真空蒸發(fā)鍍膜機,、真空濺射鍍膜機和真空離子鍍膜機。隨著沉積方法和技術(shù)的提升,，物相沉積技術(shù)不只可沉積金屬膜,、合金膜、還可以沉積化合物,、陶瓷,、半導(dǎo)體、聚合物膜等,。物相沉積技術(shù)早在20世紀初已有些應(yīng)用,，但30年迅速發(fā)展成為一門極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù)，并向著環(huán)保型,、清潔型趨勢發(fā)展,。在鐘表行業(yè),，尤其是高級手表金屬外觀件的表面處理方面達到越來越為普遍的應(yīng)用。

磁控濺射的工藝研究：1,、功率：每一個陰極都具有自己的電源,。根據(jù)陰極的尺寸和系統(tǒng)設(shè)計，功率可以在0~150KW之間變化,。電源是一個恒流源,。在功率控制模式下，功率固定同時監(jiān)控電壓,，通過改變輸出電流來維持恒定的功率,。在電流控制模式下，固定并監(jiān)控輸出電流,，這時可以調(diào)節(jié)電壓,。施加的功率越高，沉積速率就越大,。2,、速度：另一個變量是速度。對于單端鍍膜機,，鍍膜區(qū)的傳動速度可以在每分鐘0~600英寸之間選擇,。對于雙端鍍膜機，鍍膜區(qū)的傳動速度可以在每分鐘0~200英寸之間選擇,。在給定的濺射速率下,，傳動速度越低則表示沉積的膜層越厚。3,、氣體：較后一個變量是氣體,，可以在三種氣體中選擇兩種作為主氣體和輔氣體來進行使用。真空磁控濺射鍍膜技術(shù)所鍍玻璃多用于建筑玻璃和汽車玻璃這兩大用處,。

磁控濺射的原理：靶材背面加上強磁體,，形成磁場。在正負電極間施以高的電壓產(chǎn)生等離子體,，使氬氣發(fā)生輝光放電,。等離子體中的電子在相互垂直的電場和磁場的共同作用下做螺旋式運動，飛向正電極,，在運動過程中與氬氣原子發(fā)生碰撞,，產(chǎn)生Ar離子和電子，帶負電的電子又在相互垂直的電場和磁場的共同作用下向正電級做螺旋式運動,，電子再次與氬氣原子發(fā)生碰撞,，隨著碰撞次數(shù)的增大，電子的能量逐漸降低,，較后落在襯底上,，這就使得高速電子對襯底轟擊產(chǎn)生的溫升大幅度降低,。Ar離子向負極加速運動，與靶材發(fā)生碰撞,。能量適當?shù)腁r離子離子轟擊靶材后使得靶材原子脫離靶材表面,，較后沉積在襯底上形成薄膜。真空磁控濺射鍍膜這種工藝可以沉積任何氧化物,、碳化物以及氮化物材料的薄膜,。四川高溫磁控濺射儀器

磁控濺射的特點是成膜速率高，基片溫度低,，膜的粘附性好,，可實現(xiàn)大面積鍍膜。貴州射頻磁控濺射鍍膜

真空磁控濺射技術(shù)是指一種利用陰極表面配合的磁場形成電子陷阱,，使在E×B的作用下電子緊貼陰極表面飄移,。設(shè)置一個與靶面電場正交的磁場，濺射時產(chǎn)生的快電子在正交的電磁場中作近似擺線運動,，增加了電子行程,，提高了氣體的離化率,，同時高能量粒子與氣體碰撞后失去能量,，基體溫度較低，在不耐溫材料上可以完成鍍膜,。這種技術(shù)是玻璃膜技術(shù)中的較優(yōu)先技術(shù),，是由航天工業(yè)、兵器工業(yè),、和核工業(yè)三個方面相結(jié)合的優(yōu)先技術(shù)的民用化,，民用主要是通過這種技術(shù)達到節(jié)能、環(huán)保等作用,。貴州射頻磁控濺射鍍膜

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所坐落在長興路363號,，是一家專業(yè)的面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供支持。公司,。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,，以不斷增強企業(yè)重點競爭力，加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,，實現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營,。公司以誠信為本，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),，我們本著對客戶負責(zé),，對員工負責(zé)，更是對公司發(fā)展負責(zé)的態(tài)度,，爭取做到讓每位客戶滿意,。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù)，我們相信誠實正直,、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情,，將為公司和個人帶來共同的利益和進步。經(jīng)過幾年的發(fā)展,，已成為微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)行業(yè)出名企業(yè),。