無論是大批量還是小規(guī)模生產(chǎn)定制產(chǎn)品,，都需要開發(fā)新一代的模塊化,、知識密集的、可升級的和可快速配置的生產(chǎn)系統(tǒng),。而這將用到那些新近涌現(xiàn)出來的微納技術(shù)研究成果以及新的工業(yè)生產(chǎn)理論體系,。給出了微納制造系統(tǒng)與平臺的發(fā)展前景。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括以下幾種：（1）微納制造系統(tǒng)的設(shè)計,、建模和仿真,；（2）智能的、可升級的和適應(yīng)性強的微納制造系統(tǒng)（工藝,、設(shè)備和工具集成）,；（3）新型靈活的、模塊化的和網(wǎng)絡(luò)化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),，以構(gòu)筑基于制造的知識,。微納加工技術(shù)可以制造出更先進的航空航天和軍業(yè)設(shè)備，提高設(shè)備的性能和安全性,，同時降低成本和體積,。揚州量子微納加工

     微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。比較顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,。“自上而下”是從宏觀對象出發(fā)，以光刻工藝為基礎(chǔ),，對材料或原料進行加工,，較小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定?！白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,，形成微納結(jié)構(gòu)與器件。巴中MENS微納加工微納加工可以實現(xiàn)對微納系統(tǒng)的高度靈活和可擴展,。

由于納米壓印技術(shù)的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案,，而是使用機械手段進行圖案轉(zhuǎn)移，這種方法能達(dá)到很高的分辨率,。報道的很高分辨率可達(dá)2納米,。此外，模板可以反復(fù)使用,，無疑極大降低了加工成本,，也有效縮短了加工時間。因此,，納米壓印技術(shù)具有超高分辨率,、易量產(chǎn)、低成本,、一致性高的技術(shù)優(yōu)點,，被認(rèn)為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段。納米壓印技術(shù)已經(jīng)有了許多方面的進展,。起初的納米壓印技術(shù)是使用熱固性材料作為轉(zhuǎn)印介質(zhì)填充在模板與待加工材料之間,，轉(zhuǎn)移時需要加高壓并加熱來使其固化。

    微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計,、加工、組裝,、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),。微納加工按技術(shù)分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝。本文主要介紹微納加工的平面工藝,，平面工藝主要可分為薄膜工藝,、圖形化工藝（光刻）,、刻蝕工藝。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。 微納加工可以實現(xiàn)對微納尺度的能量轉(zhuǎn)換和傳輸,。

獲得或保持率先競爭對手的優(yōu)勢將維持強勁的經(jīng)濟,、提供動力以滿足社會需求，而微納制造技術(shù)能力正在成為其中的關(guān)鍵使能因素,。微納制造技術(shù)可以幫助企業(yè),、產(chǎn)業(yè)形成競爭優(yōu)勢。得益于私營部門和公共部門之間的合作,，它們的快速發(fā)展提升了許多不同應(yīng)用領(lǐng)域的歐洲公司的市場份額,，促進了協(xié)作研究。需要強調(diào)的,，產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界的合作在增加公司的市場實力上發(fā)揮了重要作用,；這種合作使得那些阻礙創(chuàng)新、新技術(shù)與高水平的教育需求等進展的問題的解決變得更為容易,。應(yīng)用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓,、玻璃晶圓,、塑料、還其他的材料,。深圳微納加工應(yīng)用

微納加工平臺,，主要是兩個方面：微納加工,、微納檢測。揚州量子微納加工

真空鍍膜技術(shù)一般分為兩大類,，即物理的氣相沉積技術(shù)和化學(xué)氣相沉積技術(shù),。物理的氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下,，利用各種物理方法,，將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子,，直接沉積到基體表面上的方法,。制備硬質(zhì)反應(yīng)膜大多以物理的氣相沉積方法制得，它利用某種物理過程,，如物質(zhì)的熱蒸發(fā),，或受到離子轟擊時物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象，實現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移過程,。物理的氣相沉積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好,、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好,、應(yīng)用的靶材普遍,、濺射范圍寬、可沉積厚膜,、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復(fù)性好等優(yōu)點,。揚州量子微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是以提供微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)為主的****，公司位于長興路363號,，成立于2016-04-07,，迄今已經(jīng)成長為電子元器件行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。廣東省半導(dǎo)體所致力于構(gòu)建電子元器件自主創(chuàng)新的競爭力,，將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,，加速推進全國電子元器件產(chǎn)品競爭力的發(fā)展。