高精度的微細結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術(shù),，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光，具有比較高的曝光精度,，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘,，目前直寫光刻技術(shù)*適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作,。近年來,，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大，如閃耀光柵,、菲涅爾透鏡,、多臺階微光學(xué)元件等。據(jù)悉,，某公司新上市的手機產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學(xué)元件,，以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進行制作,。直寫技術(shù),，通過在光束移動過程中進行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié)，可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力,。在我國,，微納制造技術(shù)同樣是重點發(fā)展方向之一。安徽真空鍍膜微納加工實驗室

微納制造技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢統(tǒng)和其他綜合系統(tǒng),；納米生物學(xué)等,。另一方面，微納技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域也得到了比較大拓展,。到目前為止。微納技術(shù)已經(jīng)被普遍應(yīng)用于****和民用產(chǎn)品,。較主要的應(yīng)用如納米級機械加工,、電子束和離子束加微納技術(shù)一般指微米、納米級Ａ技術(shù),、掃描隧道顯微加工技術(shù)等,。100nm）的材料、設(shè)計,、制造,、測量,、控我國微納制造技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀制和產(chǎn)品的研究、加工,、制造以及應(yīng)用技由于受到基礎(chǔ)裝備,、工藝技術(shù)、科研術(shù),。在基礎(chǔ)科研以及制造行業(yè)中,，微納制經(jīng)費、行業(yè)基礎(chǔ)等多方面因素的影響,。我造技術(shù)的研究從其誕生之初就一直牢據(jù)行國的微納制造技術(shù)的研究與世界先進水平業(yè)的杰出位置,。重慶MEMS微納加工公司微納制造技術(shù)是由零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計、加工,、組裝,、集成與應(yīng)用技術(shù)。

仿生學(xué)是近年來發(fā)展起來的一門工程技術(shù)與生物科學(xué)相結(jié)合的交叉學(xué)科,。仿生學(xué)研究生物體的結(jié)構(gòu),、功能和工作原理，并將這些原理移植于工程技術(shù)之中,，試圖在技術(shù)上模仿植物和動物在自然中的功能,，發(fā)明性能優(yōu)越的儀器、裝置和機器,，創(chuàng)造新技術(shù),。就聚合物仿生功能材料而言，在聚合物材料表面加工出不同形式的微納結(jié)構(gòu)就會賦予材料不同的性能,。超疏水表面是指水滴在表面的接觸角大于150°,，同時滾動角小于10°的一種特殊表面。在過去的20年里,，超疏水表面誘人的潛在應(yīng)用價值已經(jīng)引起了科學(xué)家們極大的興趣,。自然界中，荷葉表面是超疏水的典型象征,，其表面的接觸角高達160°,。展示了荷葉的超疏水效果及其表面微觀結(jié)構(gòu)。荷葉表面的這種超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蠟狀晶體共同引起的,。通過在聚合物材料表面構(gòu)建類荷葉狀的周期性微納米結(jié)構(gòu)可以獲得具有優(yōu)異超疏水性能的聚合物制品,，可用于汽車后視鏡等有防水防霧需求的場合。

聚合物微納系統(tǒng)是較具應(yīng)用前景的微納機電系統(tǒng)之一,，按照微納制品的空間結(jié)構(gòu)形式可以分為一維,、二維和三維微納制造。一維微納制造：微流控芯片、導(dǎo)光板,、納米薄膜,、微納過濾材料、微納復(fù)合材料及器件等,；二維微納制造：納米纖維,、納米中空纖維等；三維微納制造：微泵,、微換熱器,、微型減速器、微型按插件等,。聚合物是許多微納米系統(tǒng)的基礎(chǔ)材料,，聚合物微納系統(tǒng)是較有希望在近期實現(xiàn)實際應(yīng)用的系統(tǒng)之一，聚合物微納尺度制造科學(xué)與技術(shù)在微納制造技術(shù)中占有極其重要的地位,。聚合物微加工工藝除了LIGA加工,、準(zhǔn)LIGA加工、小機械加工,、超聲波加工,、等離子體加工、激光加工,、離子束加工,、電子束加工和快速成形等工藝外，還包括微注塑成型,、微擠出成型以及微壓印成型等,。在微納加工過程中，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積,。

21世紀(jì)，人們?nèi)詴粩嘧非髼l件更好且可負(fù)擔(dān)的醫(yī)療保健服務(wù),、更高的生活品質(zhì)和質(zhì)量更好的日用消費品,，并竭力應(yīng)對由能源成本上漲和資源枯竭所帶來的風(fēng)險等“巨大挑戰(zhàn)”。它們也是采用創(chuàng)新體系的商品擴大市場的推動力,。微納制造技術(shù)過去和現(xiàn)在一直都被認(rèn)為在解決上述挑戰(zhàn)方面大有用武之地,。環(huán)境——采用更少的能源與原材料。從短期來看,，微納制造技術(shù)不會對環(huán)境和能源成本產(chǎn)生重大的影響,。受到當(dāng)前加工技術(shù)的限制，這些技術(shù)在早期的發(fā)展階段往往會有較高的能源成本,。與此同時，微納制造一旦成熟，將會消耗更少的能源與資源,，就此而言,，微納制造無疑是一項令人振奮的技術(shù)。例如,，與去除邊角料獲得較終產(chǎn)品不同的是,，微納制造采用的積層法將會使得廢料更少。隨著創(chuàng)新型納米制造技術(shù)的發(fā)展,，現(xiàn)在對化石燃料的依存度已經(jīng)開始下降了,，二氧化碳的排放也隨之降低，大氣中氮氧化物和硫氧化物的濃度也減少了,。大部份的濕刻蝕液均是各向同性的,，換言之，對刻蝕接觸點之任何方向腐蝕速度并無明顯差異,。吉林半導(dǎo)體微納加工廠

微納加工技術(shù)的特點MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn),。安徽真空鍍膜微納加工實驗室

微納加工氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應(yīng)生成SiO2,，后續(xù)O2通過SiO2層擴散到Si/SiO2界面,，繼續(xù)與Si發(fā)生反應(yīng)增加SiO2薄膜的厚度，生成1個單位厚度的SiO2薄膜,，需要消耗0.445單位厚度的Si襯底,；相對CVD工藝而言，氧化工藝可以制作更加致密的SiO2薄膜,，有利于與其他材料制作更加牢固可靠的結(jié)構(gòu)層,，提高MEMS器件的可靠性。同時致密的SiO2薄膜有利于提高與其它材料的濕法刻蝕選擇比,，提高刻蝕加工精度,，制作更加精密的MEMS器件。同時氧化工藝一般采用傳統(tǒng)的爐管設(shè)備來制作,，成本低,，產(chǎn)量大，一次作業(yè)100片以上,，SiO2薄膜一致性也可以做到更高+/-3%以內(nèi),。安徽真空鍍膜微納加工實驗室