二極管就是由一個PN結(jié)加上相應的電極引線及管殼封裝而成的,。采用不同的摻雜工藝，通過擴散作用,，將P型半導體與N型半導體制作在同一塊半導體（通常是硅或鍺）基片上,，在它們的交界面就形成空間電荷區(qū)稱為PN結(jié)。各種二極管的符號由P區(qū)引出的電極稱為陽極,，N區(qū)引出的電極稱為陰極。因為PN結(jié)的單向?qū)щ娦?，二極管導通時電流方向是由陽極通過管子內(nèi)部流向陰極,。二極管的電路符號：二極管有兩個電極，由P區(qū)引出的電極是正極,，又叫陽極,；由N區(qū)引出的電極是負極，又叫陰極,。三角箭頭方向表示正向電流的方向,，二極管的文字符號用VD表示。微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標志之一,。福建功率器件半導體器件加工哪家有

用硅片制造晶片主要是制造晶圓上嵌入電子元件(如電晶體、電容,、邏輯閘等)的電路,，這是所需技術(shù)較復雜、投資較大的工藝,。作為一個例子,，單片機的加工工序多達幾百道，而且需要的加工設(shè)備也比較先進,，成本較高,。盡管細節(jié)處理程序會隨著產(chǎn)品類型和使用技術(shù)的改變而發(fā)生變化,，但是它的基本處理步驟通常是晶圓片首先進行適當?shù)那逑?，然后?jīng)過氧化和沉淀處理,，較后通過多次的微影,、蝕刻和離子植入等步驟,，較終完成了晶圓上電路的加工和制造,。聲表面濾波器半導體器件加工公共服務平臺刻蝕是半導體制造工藝以及微納制造工藝中的重要步驟,。

射頻MEMS技術(shù)傳統(tǒng)上分為固定的和可動的兩類,。固定的MEMS器件包括本體微機械加工傳輸線,、濾波器和耦合器，可動的MEMS器件包括開關(guān),、調(diào)諧器和可變電容。按技術(shù)層面又分為由微機械開關(guān),、可變電容器和電感諧振器組成的基本器件層面,；由移相器、濾波器和VCO等組成的組件層面,；由單片接收機,、變波束雷達、相控陣雷達天線組成的應用系統(tǒng)層面,。MEMS工藝以成膜工序,、光刻工序、蝕刻工序等常規(guī)半導體工藝流程為基礎(chǔ),。硅基MEMS加工技術(shù)主要包括體硅MEMS加工技術(shù)和表面MEMS加工技術(shù),。體硅MEMS加工技術(shù)的主要特點是對硅襯底材料的深刻蝕，可得到較大縱向尺寸可動微結(jié)構(gòu),。表面MEMS加工技術(shù)主要通過在硅片上生長氧化硅,、氮化硅、多晶硅等多層薄膜來完成MEMS器件的制作,。利用表面工藝得到的可動微結(jié)構(gòu)的縱向尺寸較小,，但與IC工藝的兼容性更好，易與電路實現(xiàn)單片集成,。

MEMS器件體積小,，重量輕,，耗能低,，慣性小，諧振頻率高，響應時間短,。MEMS系統(tǒng)與一般的機械系統(tǒng)相比,，不只體積縮小，而且在力學原理和運動學原理,，材料特性,、加工、測量和控制等方面都將發(fā)生變化,。在MEMS系統(tǒng)中,，所有的幾何變形是如此之小(分子級)，以至于結(jié)構(gòu)內(nèi)應力與應變之間的線性關(guān)系(虎克定律)已不存在,。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之間的分子相互作用力引起的,，而不是由于載荷壓力引起。MEMS器件以硅為主要材料,。硅的強度,、硬度和楊氏模量與鐵相當。密度類似于鋁,，熱傳導率接近銅和鎢,，因此MEMS器件機械電氣性能優(yōu)良。芯片封裝是利用陶瓷或者塑料封裝晶粒及配線形成集成電路,。

微機電系統(tǒng)是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成,，尺寸通常在毫米或微米級，自八十年代中后期崛起以來發(fā)展極其迅速,，被認為是繼微電子之后又一個對國民經(jīng)濟和軍務具有重大影響的技術(shù)領(lǐng)域，將成為21世紀新的國民經(jīng)濟增長點和提高軍務能力的重要技術(shù)途徑,。微機電系統(tǒng)的優(yōu)點是：體積小,、重量輕、功耗低,、耐用性好,、價格低廉、性能穩(wěn)定等,。微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)和發(fā)展是科學創(chuàng)新思維的結(jié)果,，使微觀尺度制造技術(shù)的演進與**。微機電系統(tǒng)是當前交叉學科的重要研究領(lǐng)域,，涉及電子工程,、材料工程、機械工程,、信息工程等多項科學技術(shù)工程,，將是未來國民經(jīng)濟和軍務科研領(lǐng)域的新增長點。將多晶硅和摻雜劑放入單晶爐內(nèi)的石英坩堝中，將溫度升高至1420℃以上,，得到熔融狀態(tài)的多晶硅,。福建功率器件半導體器件加工哪家有

氧化是將硅片放置于氧氣或水汽等氧化劑的氛圍中進行高溫熱處理，在硅片表面發(fā)生化學反應形成氧化膜的過程,。福建功率器件半導體器件加工哪家有

硅片在進入每道工序之前表面必須是潔凈的,，需經(jīng)過重復多次的清洗步驟，除去表面的污染物,。芯片制造需要在無塵室中進行,，在芯片的制造過程中，任何的沾污現(xiàn)象都將影響芯片上器件的正常功能,。沾污雜質(zhì)具體指半導體制造過程中引入的任何危害芯片成品率以及電學性能的物質(zhì),。具體的沾污物包括顆粒、有機物,、金屬和自然氧化層等,，此類污染物包括從環(huán)境、其他制造工藝,、刻蝕副產(chǎn)物,、研磨液等。上述沾污雜質(zhì)如果不及時清理均可能導致后續(xù)工藝的失敗,，導致電學失效,，較終會造成芯片報廢。福建功率器件半導體器件加工哪家有