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如何給渦輪分子泵充氣
使用渦輪分子泵時,，通常可不用粗抽管道,。如在快速循環(huán)的系統中，不設粗抽管道,，可以選用那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵,。能直接從大氣壓力下對真空室進行抽真空。
當渦輪分子泵關閉或運轉極慢時,，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內壓力梯度）來阻止前級側存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流,。這種現象稱作反擴散或分子返流。在靜態(tài)條件下,，整個系統的壓力均衡時,，在前級管道側，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或 13.33mPa～133.3μPa）*后也會波及到泵的入口處,。當泵關閉時,，適當地給泵內充氣是控制油分子返流，保持真空室內無碳氫化合物的一種有效的措施,。
當停泵后,，碳氫化合物返流很快通過泵進入真空室內，如果系統仍保持在真空狀態(tài)下,，碳氫化合物將會粘在清潔的葉片和真空室的表面上,。在隨后再運轉該系統時，將極難抽除粘著的碳氫化合物,。另一方面,，在渦輪分子泵停止運轉時,，如果給泵充入干燥氮氣或干燥空氣，則該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層,，而且在系統充氣后,，返流的碳氫化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱,，在混合氣體中碳氫化合物所占比例極小,，在下一次抽空時也很快就能被抽走。
(2)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-延遲充氣：
雖然在泵斷開電源后就應給泵充氣已被大家所接受,，且很平常,，但是，渦輪分子泵在切斷電源后,，泵要漸漸地減速,，若延遲幾秒或幾分鐘再充氣會更好一些。在泵減速到它平時速度的30%～50%期間,，此時泵仍能起到抽氣和壓縮作用,。能有效地使真空室處在真空狀態(tài)下且能防止碳氫化合物的返流。延遲充氣也能使閥門有足夠的時間關閉,，在經常停電的情況下,，延遲充氣是很有用的。為了延遲充氣,，前級真空必須維持在 1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）范圍之內,，所以在渦輪分子泵與前級泵之間必須有一個真空閥，或者在前級泵內部裝一個控制閥,，該閥應在電源中斷時,，使渦輪分子泵與前級泵隔離開來。否則,，通過前級泵,、前級管道被充氣，并導致了油的污染,。
(3)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-在何處充氣？
在渦輪分子泵的前級側充氣,，能強制使碳氫化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室,。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側充氣,，能達到以清潔氣體覆蓋表面的目的,。并使氣流流向渦輪分子泵（自上而下），能暫時阻止,、延遲碳氫化合物的返流,，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進行中間充氣,，它和在吸入側充氣控制碳氫化合物返流幾乎同樣有效。在超高真空系統中,，在壓縮級充氣尤其優(yōu)越,。因為中間充氣不需要價格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。
(4)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-怎樣充氣,？
如果渦輪分子泵置于一個清潔,、干燥的周圍環(huán)境中，就可以充室內的空氣,。然而充氣入口的位置必須仔細選擇。如果充氣入口位置靠近油封式旋片泵的排氣口位置之上,，則充入的氣體中會含有油蒸汽勢必會對真空系統造成污染，而且如果空氣是濕的,，為了減少以后再抽氣的時間,，于是要充入干燥氮氣或經過干燥器過濾的空氣。另外也不一定總是充入大氣壓力下的氣體,，若充入氣體的壓力為幾Torr（幾hpa）的干燥氣體就足以能控制碳氫化合物的返流,。
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