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如何給渦輪分子泵充氣
使用渦輪分子泵時,，通常可不用粗抽管道,。如在快速循環(huán)的系統(tǒng)中,，不設(shè)粗抽管道，可以選用那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵,。能直接從大氣壓力下對真空室進(jìn)行抽真空。
當(dāng)渦輪分子泵關(guān)閉或運(yùn)轉(zhuǎn)極慢時,，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級側(cè)存在的碳?xì)浠衔锿ㄟ^渦輪葉片向真空室進(jìn)行返流,。這種現(xiàn)象稱作反擴(kuò)散或分子返流。在靜態(tài)條件下,，整個系統(tǒng)的壓力均衡時,，在前級管道側(cè)，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或 13.33mPa～133.3μPa）*后也會波及到泵的入口處,。當(dāng)泵關(guān)閉時,，適當(dāng)?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳?xì)浠衔锏囊环N有效的措施,。
當(dāng)停泵后,，碳?xì)浠衔锓盗骱芸焱ㄟ^泵進(jìn)入真空室內(nèi)，如果系統(tǒng)仍保持在真空狀態(tài)下,，碳?xì)浠衔飳吃谇鍧嵉娜~片和真空室的表面上,。在隨后再運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時，將極難抽除粘著的碳?xì)浠衔?。另一方面,，在渦輪分子泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時，如果給泵充入干燥氮氣或干燥空氣,，則該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護(hù)層,，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳?xì)浠衔镉捎谂c充入的氣體混合起來,，從而它的粘著能力很弱,，在混合氣體中碳?xì)浠衔锼急壤龢O小，在下一次抽空時也很快就能被抽走,。
(2)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-延遲充氣：
雖然在泵斷開電源后就應(yīng)給泵充氣已被大家所接受,，且很平常，但是，渦輪分子泵在切斷電源后,，泵要漸漸地減速,，若延遲幾秒或幾分鐘再充氣會更好一些。在泵減速到它平時速度的30%～50%期間,，此時泵仍能起到抽氣和壓縮作用,。能有效地使真空室處在真空狀態(tài)下且能防止碳?xì)浠衔锏姆盗鳌Ｑ舆t充氣也能使閥門有足夠的時間關(guān)閉,，在經(jīng)常停電的情況下,，延遲充氣是很有用的。為了延遲充氣,，前級真空必須維持在 1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）范圍之內(nèi),，所以在渦輪分子泵與前級泵之間必須有一個真空閥，或者在前級泵內(nèi)部裝一個控制閥,，該閥應(yīng)在電源中斷時，使渦輪分子泵與前級泵隔離開來,。否則,，通過前級泵,、前級管道被充氣，并導(dǎo)致了油的污染,。
(3)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-在何處充氣？
在渦輪分子泵的前級側(cè)充氣,，能強(qiáng)制使碳?xì)浠衔锪⒖掏ㄟ^渦輪分子泵流入真空室,。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側(cè)充氣,，能達(dá)到以清潔氣體覆蓋表面的目的,。并使氣流流向渦輪分子泵（自上而下），能暫時阻止,、延遲碳?xì)浠衔锏姆盗?，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進(jìn)行中間充氣，它和在吸入側(cè)充氣控制碳?xì)浠衔锓盗鲙缀跬瑯佑行?。在超高真空系統(tǒng)中,，在壓縮級充氣尤其優(yōu)越。因為中間充氣不需要價格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。
(4)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-怎樣充氣,？
如果渦輪分子泵置于一個清潔,、干燥的周圍環(huán)境中，就可以充室內(nèi)的空氣,。然而充氣入口的位置必須仔細(xì)選擇,。如果充氣入口位置靠近油封式旋片泵的排氣口位置之上，則充入的氣體中會含有油蒸汽勢必會對真空系統(tǒng)造成污染,，而且如果空氣是濕的,，為了減少以后再抽氣的時間，于是要充入干燥氮氣或經(jīng)過干燥器過濾的空氣,。另外也不一定總是充入大氣壓力下的氣體,，若充入氣體的壓力為幾Torr（幾hpa）的干燥氣體就足以能控制碳?xì)浠衔锏姆盗鳌?/p>
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