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真空泵的注意事項(xiàng)
選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：
1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí),。
2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn),。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),，而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來(lái),，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速,，兩者組合起來(lái),，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下工作,，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,，需要前級(jí)泵,，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5,、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,，如加冷阱,、障板、擋油阱等,，也能達(dá)到清潔真空要求,。
6、了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無(wú)顆粒灰塵,，有無(wú)腐蝕性等,。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分,，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣、顆粒,、及腐蝕性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器,、除塵器等,。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外,。
8,、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,。
9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用,。
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