光刻膠的技術壁壘包括配方技術，質量控制技術和原材料技術,。配方技術是光刻膠實現(xiàn)功能的要點,，質量控制技術能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而較好的原材料則是光刻膠性能的基礎。配方技術：由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和FPD面板制造商,，不同的客戶會有不同的應用需求,，同一個客戶也有不同的光刻應用需求。一般一塊半導體芯片在制造過程中需要進行10-50道光刻過程,，由于基板不同,、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,，即使類似的光刻過程，不同的廠商也會有不同的要求,。針對以上不同的應用需求,，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過調(diào)整光刻膠的配方來實現(xiàn),。因此,，通過調(diào)整光刻膠的配方，滿足差異化的應用需求,，是光刻膠制造商重要的技術,。光刻膠行業(yè)的上下游合作處于互相依存的關系，市場新進入者很難與現(xiàn)有企業(yè)競爭,，簽約新客戶的難度高,。昆山KrF光刻膠單體

受制于國內(nèi)光刻膠技術發(fā)展水平，目前我國前沿光刻膠的自給率仍然保持較低水平,。盡管國內(nèi)光刻膠市場保持良好的增長趨勢,，但以KrF、ArF光刻膠為主的半導體光刻膠領域國內(nèi)市場份額仍然較小,，前沿光刻膠市場長期為國外巨頭所壟斷,。從技術水平來看，目前中國本土光刻膠的整體技術水平與國際先進水平存在明顯差距,，且主要集中在技術含量較低的PCB光刻膠領域,，而在半導體光刻膠和LCD光刻膠方面自給率較低。具體而言,，半導體光刻膠中g線/i線光刻膠國產(chǎn)化率為10%,，而ArF/KrF光刻膠的國產(chǎn)化率為1%，對于前沿的EUV光刻膠目前仍處于研發(fā)階段,。蘇州g線光刻膠曝光按曝光波長可分為紫外光刻膠,、深紫外光刻膠、極紫外光刻膠,、電子束光刻膠,、離子束光刻膠、X射線光刻膠等,。

導體光刻膠的涂敷方法主要是旋轉涂膠法,，具體可以分為靜態(tài)旋轉法和動態(tài)噴灑法。靜態(tài)旋轉法：首先把光刻膠通過滴膠頭堆積在硅片的中心,，然后低速旋轉使得光刻膠鋪開,，再以高速旋轉甩掉多余的光刻膠。在高速旋轉的過程中,，光刻膠中的溶劑會揮發(fā)一部分,。靜態(tài)涂膠法中的光刻膠堆積量非常關鍵，量少了會導致光刻膠不能充分覆蓋硅片,，量大了會導致光刻膠在硅片邊緣堆積甚至流到硅片的背面,，影響工藝質量。動態(tài)噴灑法：隨著硅片尺寸越來越大,，靜態(tài)涂膠已經(jīng)不能滿足新型的硅片加工需求,。相對靜態(tài)旋轉法而言，動態(tài)噴灑法在光刻膠對硅片進行澆注的時刻就開始以低速旋轉幫助光刻膠進行**初的擴散,。這種方法可以用較少量的光刻膠形成更均勻的光刻膠鋪展,，以高速旋轉形成滿足厚薄與均勻度要求的光刻膠膜。

浸沒光刻和雙重光刻技術在不改變 193nm波長ArF光刻光源的前提下,，將加工分辨率推向10nm的數(shù)量級,。與此同時，這兩項技術對光刻膠也提出了新的要求,。在浸沒工藝中,；光刻膠首先不能與浸沒液體發(fā)生化學反應或浸出擴散，損傷光刻膠自身和光刻鏡頭,；其次,，光刻膠的折射率必須大于透鏡，液體和頂部涂層,。因此光刻膠中主體樹脂的折射率一般要求達到1.9以上,；接著，光刻膠不能在浸沒液體的浸泡下和后續(xù)的烘烤過程中發(fā)生形變,，影響加工精度,；當浸沒工藝目標分辨率接近10nm時，將對于光刻膠多個性能指標的權衡都提出了更加苛刻的挑戰(zhàn),。浸沒 ArF 光刻膠制備難度大于干性 ArF 光刻膠,，是 ArF光刻加工分辨率突破 45nm 的關鍵之一,。光刻膠通過光化學反應，經(jīng)曝光,、顯影等光刻工序將所需要的微細圖形從光罩（掩模版）轉移到待加工基片上,。

EUV(極紫外光)光刻技術是20年來光刻領域的進展。由于目前可供利用的光學材料無法很好支持波長13nm以下的輻射的反射和透射,，因此 EUV 光刻技術使用波長為13.5nm的紫外光作為光刻光源,。EUV（極紫外光）光刻技術將半導體制程技術在10nm以下的區(qū)域繼續(xù)推進。在 EUV 光刻工藝的 13.5nm 波長尺度上,，量子的不確定性效應開始顯現(xiàn),，為相應光源，光罩和光刻膠的設計和使用帶來了前所未有的挑戰(zhàn),。目前 EUV 光刻機只有荷蘭 ASML 有能力制造,，許多相應的技術細節(jié)尚不為外界所知。在即將到來的 EUV 光刻時代,，業(yè)界預期已經(jīng)流行長達 20 年之久的 KrF,、ArF 光刻膠技術或將迎來技術變革。高壁壘和高價值量是光刻膠的典型特征,。光刻膠屬于技術和資本密集型行業(yè),，全球供應市場高度集中。蘇州g線光刻膠曝光

光刻膠只是一種形象的說法,，因為光刻膠從外觀上呈現(xiàn)為膠狀液體,。昆山KrF光刻膠單體

但是仔細觀察就會發(fā)現(xiàn)，目前在許可項目：危險化學品經(jīng)營,。(依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關部門批準文件或許可證件為準) 一般項目：化工產(chǎn)品銷售(不含許可類化工產(chǎn)品);機械設備銷售,；食品添加劑銷售,；技術服務、技術開發(fā),、技術咨詢,、技術交流、技術轉讓,、技術推廣,。(除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)行業(yè)的大部分企業(yè),，依然停留在“電氣化+自動化+一定的手工作業(yè)+局部的信息化”階段,。對比類似的食品醫(yī)藥等精細化工行業(yè)來看，其實是發(fā)展得比較慢了,。隨著我國現(xiàn)代化工規(guī)模的飛速擴張,，化工正向著專業(yè)化,、科技化發(fā)展。我國化工行業(yè)景氣指標保持平穩(wěn)向上的走勢,?；の锪餍袠I(yè)是現(xiàn)代物流產(chǎn)業(yè)的重要細分領域之一，其發(fā)展與化工行業(yè)緊密相關,。乙醇胺，乙二胺,，丙二醇,，己二酸二辛脂集聚化，是供給過剩,、價格下行的必然趨勢,。集中度的提高，可以使得企業(yè)通過調(diào)整自身生產(chǎn)保證產(chǎn)品的收入能力,，與上下游爭奪議價權,，象征企業(yè)如英力士等。如今自動化生產(chǎn)設備已經(jīng)開始普及,，其許可項目：危險化學品經(jīng)營,。(依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動,，具體經(jīng)營項目以相關部門批準文件或許可證件為準) 一般項目：化工產(chǎn)品銷售(不含許可類化工產(chǎn)品);機械設備銷售,；食品添加劑銷售；技術服務,、技術開發(fā),、技術咨詢、技術交流,、技術轉讓,、技術推廣。(除依法須經(jīng)批準的項目外,，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)技術也在加速成熟,、設備的成本在不斷下降，這些都促成了大部分企業(yè)完全能夠實現(xiàn)智能制造,。智能制造是一個不斷追尋的目標,，其重點是采用極優(yōu)的制造管理方法、自動化信息化技術,，起到省人,、增效、降本的作用,，并終實現(xiàn)為企業(yè)贏利,。昆山KrF光刻膠單體

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