分子玻璃是一種具有較高玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的單分散小分子有機化合物,，其結(jié)構(gòu)為非共面和不規(guī)則，能夠避免結(jié)晶,，與產(chǎn)酸劑具有優(yōu)良的相容性,。以分子玻璃為成膜樹脂制備的光刻膠能夠獲得較高的分辨率和較低粗糙度的圖形。金屬氧化物光刻膠使用金屬離子及有機配體構(gòu)建其主體結(jié)構(gòu),，有機配體中包含光敏基團,，借助光敏基團的感光性及其引發(fā)的后續(xù)反應(yīng)實現(xiàn)光刻膠所需的性能。從化學(xué)組成來看,，金屬氧化物光刻膠主要為稀土和過渡金屬有機化合物,。光刻膠是集成電路制造的重要材料：光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素,。上海光聚合型光刻膠單體

1）增感劑（光引發(fā)劑）：是光刻膠的關(guān)鍵成分,，對光刻膠的感光度,、分辨率起著決定性作用。2）感光樹脂（聚合劑）：用于將光刻膠中不同材料聚合在一起,，構(gòu)成光刻膠的骨架,，決定光刻膠的硬度、柔韌性,、附著力等基本屬性,。3）溶劑：是光刻膠中比較大成分，目的是使光刻膠處于液態(tài),，但溶劑本身對光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎無影響,。4）助劑：通常是專有化合物，主要用來改變光刻膠特定化學(xué)性質(zhì),。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域,，光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、LCD光刻膠和PCB光刻膠,，其技術(shù)壁壘依次降低（半導(dǎo)體光刻膠> LCD光刻膠> PCB光刻膠）,。從國產(chǎn)化進程來看，PCB光刻膠目前國產(chǎn)替代進度較快,，LCD光刻膠替代進度相對較快,，而在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域國產(chǎn)技術(shù)較國外先進技術(shù)差距比較大。浙江彩色光刻膠顯示面板材料根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同,，光刻膠可分為 PCB 光刻膠,、LCD 光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠，技術(shù)門檻逐漸遞增,。

按顯示效果分類,；光刻膠可分為正性光刻膠和負性光刻膠。負性光刻膠顯影時形成的圖形與光罩（掩膜版）相反,；正性光刻膠形成的圖形與掩膜版相同,。兩者的生產(chǎn)工藝流程基本一致，區(qū)別在于主要原材料不同,。

按照化學(xué)結(jié)構(gòu)分類,；光刻膠可以分為光聚合型,，光分解型,，光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。光聚合型光刻膠采用烯類單體,，在光作用下生成自由基,，進一步引發(fā)單體聚合，生成聚合物,；光分解型光刻膠,，采用含有重氮醌類化合物(DQN)材料作為感光劑,，其經(jīng)光照后,發(fā)生光分解反應(yīng)，可以制成正性光刻膠,；光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,，在光的作用下，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),，而起到抗蝕作用,，可以制成負性光刻膠。

離子束光刻技術(shù)可分為聚焦離子束光刻,、離子束投影式光刻,。聚焦離子束光刻用途較多，常以鎵離子修補傳統(tǒng)及相位轉(zhuǎn)移掩膜板,；離子束投影式光刻主要使用150 keV的H+,、H2+、H3+,、He+,，以鏤空式模板，縮小投影（4~5倍） ,。離子束光刻與電子束直寫光刻技術(shù)類似,，不需要掩膜板，應(yīng)用高能離子束直寫,。離子束的散射沒有電子束那么強,，因此具有更好的分辨率。液態(tài)金屬離子源為較簡單的曝光源：在鎢針或鉬針的頂端附上鎵或金硅合金,，加熱融化后經(jīng)由外層為液態(tài)金屬表面產(chǎn)生的場使離子發(fā)射,，其發(fā)射面積很小（<10 nm）,，因此利用離子光學(xué)系統(tǒng)可較容易地將發(fā)射的離子聚焦成細微離子束,，從而進行高分辨率的離子束曝光。光刻膠行業(yè)日系企業(yè)實力雄厚,，國內(nèi)廠商有望復(fù)刻成功經(jīng)驗,。

美國能源部布魯克海文國家實驗室的研究人員采用原子層沉積（ALD）系統(tǒng)，將有機聚合物聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）與氧化鋁結(jié)合起來,，創(chuàng)造了雜化有機-無機光刻膠,。他們在將涂有PMMA薄膜的襯底放到ALD反應(yīng)室中之后，引入了鋁前驅(qū)物蒸汽,。這個蒸汽通過PMMA基質(zhì)內(nèi)部的微小分子孔擴散,，與聚合物鏈內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)結(jié)合到一起。然后,，他們引入了另一種前驅(qū)物（例如水）,，與前驅(qū)物反應(yīng)形成PMMA基體內(nèi)部的氧化鋁,。該雜化光刻膠的蝕刻選擇比遠遠高于ZEP（一種昂貴的光刻膠）和二氧化硅。半導(dǎo)體光刻膠的涂敷方法主要是旋轉(zhuǎn)涂膠法,，具體可以分為靜態(tài)旋轉(zhuǎn)法和動態(tài)噴灑法,。蘇州顯示面板光刻膠單體

在選擇光刻膠時需要考慮化學(xué)性質(zhì)、照射時間,、敏感度和穩(wěn)定性等因素,，以確保所選的光刻膠能夠滿足制造要求。上海光聚合型光刻膠單體

光刻工藝歷經(jīng)硅片表面脫水烘烤,、旋轉(zhuǎn)涂膠,、軟烘、曝光,、曝光后烘烤,、顯影、堅膜烘烤,、顯影檢查等工序,。在光刻過程中，光刻膠被均勻涂布在襯底上,，經(jīng)過曝光,、顯影與刻蝕等工藝，將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到襯底上,，形成與掩膜版完全對應(yīng)的幾何圖形,。光刻工藝約占整個芯片制造成本的35%，耗時占整個芯片工藝的40-50%,，是半導(dǎo)體制造中重要的工藝,。隨著半導(dǎo)體制程不斷縮小，光刻工藝對光刻膠要求逐步提高,，需求量也隨之增加,。從全球市場來看，專注電子材料市場研究的TECHCET預(yù)測數(shù)據(jù)顯示,，2021年全球半導(dǎo)體制造光刻膠市場規(guī)模將同比增長11%,，達到19億美元。上海光聚合型光刻膠單體