EUV(極紫外光)光刻技術是20年來光刻領域的進展。由于目前可供利用的光學材料無法很好支持波長13nm以下的輻射的反射和透射,，因此 EUV 光刻技術使用波長為13.5nm的紫外光作為光刻光源,。EUV（極紫外光）光刻技術將半導體制程技術在10nm以下的區(qū)域繼續(xù)推進,。在 EUV 光刻工藝的 13.5nm 波長尺度上,，量子的不確定性效應開始顯現(xiàn)，為相應光源,，光罩和光刻膠的設計和使用帶來了前所未有的挑戰(zhàn),。目前 EUV 光刻機只有荷蘭 ASML 有能力制造，許多相應的技術細節(jié)尚不為外界所知,。在即將到來的 EUV 光刻時代,，業(yè)界預期已經(jīng)流行長達 20 年之久的 KrF、ArF 光刻膠技術或?qū)⒂瓉砑夹g變革,。光刻膠的國產(chǎn)化公關正在展開,，在面板屏顯光刻膠領域，中國已經(jīng)出現(xiàn)了一批有競爭力的本土企業(yè),。上海光交聯(lián)型光刻膠樹脂

分子玻璃是一種具有較高玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的單分散小分子有機化合物,，其結(jié)構(gòu)為非共面和不規(guī)則，能夠避免結(jié)晶,，與產(chǎn)酸劑具有優(yōu)良的相容性,。以分子玻璃為成膜樹脂制備的光刻膠能夠獲得較高的分辨率和較低粗糙度的圖形。金屬氧化物光刻膠使用金屬離子及有機配體構(gòu)建其主體結(jié)構(gòu),，有機配體中包含光敏基團,，借助光敏基團的感光性及其引發(fā)的后續(xù)反應實現(xiàn)光刻膠所需的性能。從化學組成來看,，金屬氧化物光刻膠主要為稀土和過渡金屬有機化合物,。蘇州光交聯(lián)型光刻膠曝光按顯示效果分類：光刻膠可分為正性光刻膠和負性光刻膠,。

隨著IC集成度的提高，世界集成電路的制程工藝水平按已由微米級,、亞微米級,、深亞微米級進入到納米級階段。集成電路線寬不斷縮小的趨勢,，對包括光刻在內(nèi)的半導體制程工藝提出了新的挑戰(zhàn),。在半導體制程的光刻工藝中，集成電路線寬的特征尺寸可以由如右所示的瑞利公式確定：CD=k1*λ/NA,。CD (Critical Dimension)表示集成電路制程中的特征尺寸,；k1是瑞利常數(shù)，是光刻系統(tǒng)中工藝和材料的一個相關系數(shù),；λ是曝光波長,，而NA(Numerical Aperture)則是指光刻機的孔徑數(shù)值。因此,，光刻機需要通過降低瑞利常數(shù)和曝光波長,，增大孔徑尺寸來制造具有更小特征尺寸的集成電路。其中降低曝光波長與光刻機使用的光源以及光刻膠材料高度相關,。

光刻膠所屬的微電子化學品是電子行業(yè)與化工行業(yè)交叉的領域,，是典型的技術密集行業(yè)。從事微電子化學品業(yè)務需要具備與電子產(chǎn)業(yè)前沿發(fā)展相匹配的關鍵生產(chǎn)技術,，如混配技術,、分離技術、純化技術以及與生產(chǎn)過程相配套的分析檢驗技術,、環(huán)境處理與監(jiān)測技術等,。同時，下游電子產(chǎn)業(yè)多樣化的使用場景要求微電子化學品生產(chǎn)企業(yè)有較強的配套能力,，以及時研發(fā)和改進產(chǎn)品工藝來滿足客戶的個性化需求,。光刻膠的生產(chǎn)工藝主要過程是將感光材料、樹脂,、溶劑等主要原料在恒溫恒濕 1000 級的黃光區(qū)潔凈房進行混合,，在氮氣氣體保護下充分攪拌，使其充分混合形成均相液體,，經(jīng)過多次過濾,，并通過中間過程控制和檢驗，使其達到工藝技術和質(zhì)量要求,，然后做產(chǎn)品檢驗,，合格后在氮氣氣體保護下包裝、打標、入庫,。有機-無機雜化光刻膠結(jié)合了有機和無機材料的優(yōu)點,，在可加工性、抗蝕刻性,、極紫外光吸收具有優(yōu)勢,。

g-line與i-line光刻膠均使用線性酚醛成分作為樹脂主體，重氮萘醌成分（DQN 體系）作為感光劑,。未經(jīng)曝光的DQN成分作為抑制劑,，可以十倍或者更大的倍數(shù)降低光刻膠在顯影液中的溶解速度。曝光后,，重氮萘醌(DQN)基團轉(zhuǎn)變?yōu)橄┩?，與水接觸時，進一步轉(zhuǎn)變?yōu)檐崃u酸,，從而得以在曝光區(qū)被稀堿水顯影時除去,。由此，曝光過的光刻膠會溶解于顯影液而被去除,，而未曝光的光刻膠部分則得以保留,。雖然g-line光刻膠和i-line 光刻膠使用的成分類似，但是其樹脂和感光劑在微觀結(jié)構(gòu)上均有變化,，因而具有不同的分辨率,。G-line光刻膠適用于0.5um(500nm)以上尺寸的集成電路制作，而i-line光刻膠使用于0.35um（350nm至0.5um（500nm）尺寸的集成電路制作,。光刻膠也稱為光致抗蝕劑,，是一種光敏材料,，受到光照后特性會發(fā)生改變,，主要應用于電子工業(yè)和印刷工業(yè)領域。江浙滬負性光刻膠光引發(fā)劑

光刻膠是一大類具有光敏化學作用的高分子聚合物材料,，是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介,。上海光交聯(lián)型光刻膠樹脂

肉桂酸酯類的光刻膠：這類光刻膠在紫外光的照射下，肉桂酸上的不飽和鍵會打開,，產(chǎn)生自由基,，形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。主要品種有聚乙烯醇肉桂酸酯光刻膠,、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯光刻膠和肉桂叉二酯光刻膠等,。前者膠是早期被用于光刻膠制備的光敏高分子化合物，對二氧化硅,、鋁,、氧化鉻等材料都有良好的附著力，耐氫氟酸、磷酸腐蝕,；中者膠在曝光下幾乎不受氧的影響,，無須氮氣保護，分辨率1 μm左右,，靈敏度較前者膠高1倍,，黏附性好，抗蝕能力強,，圖形清晰,、線條整齊，耐熱性好,，顯影后可在190℃堅膜0.5 h不變質(zhì),，感光范圍在250~475 nm，特別對436 nm十分敏感,，屬線型高分子聚合物,；第三種膠能溶于酮類、烷烴等溶劑,，不溶于水,、乙醇等。有較好的黏附性和感光性 ,，分辨率也很高,，感光速度快。上海光交聯(lián)型光刻膠樹脂