化學(xué)放大型光刻膠體系中有一個(gè)比較大的問題,，就是光酸的擴(kuò)散問題,。光酸的擴(kuò)散會(huì)增加光刻過程的圖案的粗糙度，進(jìn)而影響光刻結(jié)果的分辨率,。而將光致產(chǎn)酸劑與光刻膠主體材料聚合在一起,，則有可能解決這一問題。此外,，光致產(chǎn)酸劑（特別是離子型光致產(chǎn)酸劑）的化學(xué)結(jié)構(gòu)與主體材料相差較大,，極易在成膜時(shí)發(fā)生聚集，導(dǎo)致微區(qū)分相現(xiàn)象,；而光致產(chǎn)酸劑與光刻膠主體材料共價(jià)鍵合后,，分布均勻性可以得到改善，這也有利于獲得質(zhì)量更好的光刻圖案,。光刻膠又稱光致抗蝕劑,，是一種對(duì)光敏感的混合液體。浦東黑色光刻膠

由于早期制約EUV光刻發(fā)展的技術(shù)瓶頸之一是光源功率太小,，因此,，在不降低其他光刻性能的前提下提高EUV光刻膠的靈敏度一直是科研人員的工作重點(diǎn)。為了解決這一問題,，2013年,，大阪大學(xué)的Tagawa等提出了光敏化化學(xué)放大光刻膠（PSCAR?）。與其他EUV化學(xué)放大光刻膠不同的是,，PSCAR體系除了需在掩模下進(jìn)行產(chǎn)生圖案的EUV曝光,，還要在EUV曝光之后進(jìn)行UV整片曝光。PSCAR體系中除了有主體材料,、光致產(chǎn)酸劑,，還包括光敏劑前體。這是一種模型光敏劑前體的結(jié)構(gòu),，它本身對(duì)UV光沒有吸收,，但在酸性條件下可以轉(zhuǎn)化為光敏劑，對(duì)UV光有吸收,。上海TFT-LCD正性光刻膠曝光目前,，中國本土光刻膠以PCB用光刻膠為主，平板顯示,、半導(dǎo)體用光刻膠供應(yīng)量占比極低,。

中國在光刻膠領(lǐng)域十分不利，雖然G線/I線光刻膠已經(jīng)基本實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，但高級(jí)別光刻膠依然嚴(yán)重依賴進(jìn)口,。KrF/ArF光刻膠自給率不足5%,，EUV光刻膠還只是“星星之火”。國產(chǎn)KrF光刻膠已經(jīng)逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代并正在放量,，ArF光刻膠也在逐步驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷售當(dāng)中,，國產(chǎn)光刻膠已經(jīng)駛?cè)肓丝燔嚨馈ｋS著下游產(chǎn)能的快速增長,，國產(chǎn)KrF/ArF光刻膠的需求將會(huì)持續(xù)提升,。眾所周知，在半導(dǎo)體裝置的制造過程中,，用于各種電路的無縫電氣連接金屬布線隨著半導(dǎo)體產(chǎn)品的高集成化,、高速化，越來越要求以較小的線寬制作,。因此，選擇合適的光刻膠是非常重要的,，隨著金屬布線的線寬變小,，不單大功率和低壓力被用作金屬布線形成的蝕刻方法，根據(jù)所用光刻膠的特點(diǎn),，去除蝕刻進(jìn)程中產(chǎn)生的聚合物和光刻膠是非常重要的,。

荷蘭光刻高級(jí)研究中心的Brouwer課題組進(jìn)一步優(yōu)化了錫氧納米簇的光刻工藝。他們發(fā)現(xiàn)后烘工藝可以大幅提高錫氧納米簇光刻膠的靈敏度,。盡管錫氧納米簇的機(jī)理是非化學(xué)放大機(jī)理,，但曝光后產(chǎn)生的活性物種仍然有可能在加熱狀態(tài)下繼續(xù)進(jìn)行反應(yīng)。俄勒岡州立大學(xué)的Herman課題組制備了一種電中性的叔丁基錫Keggin結(jié)構(gòu)（β-NaSn13）納米簇,。這一類的光刻膠在含氧氣氛下的靈敏度遠(yuǎn)高于真空環(huán)境下的靈敏度,，這可能與分子氧生成的反應(yīng)活性氧物種有關(guān)。光刻膠必須在存儲(chǔ)和處理中受到保護(hù),。

2005年,，IBM公司的Naulleau等利用MET@ALS評(píng)測(cè)了KRS光刻膠的EUV性能，可獲得線寬35nm,、占空比1∶1的圖案和線寬28.3nm,、占空比1∶4的圖案（圖13。不過,，KRS在曝光過程中需要有少量的水參與,，因此其曝光設(shè)備中需要引入水蒸氣。由于EUV光刻需要在高真空環(huán)境中進(jìn)行,，任何氣體的引入都會(huì)導(dǎo)致真空環(huán)境的破壞,、光路和掩模版的污染，所以盡管KRS呈現(xiàn)出比MET-1K更高的分辨率，但依然未能廣泛應(yīng)用于EUV光刻技術(shù)中,。上述化學(xué)放大光刻膠基本沿用了KrF光刻膠的材料,，隨著EUV光刻技術(shù)的不斷進(jìn)展，舊材料已不能滿足需求,。光刻膠所屬的微電子化學(xué)品是電子行業(yè)與化工行業(yè)交叉的領(lǐng)域,，是典型的技術(shù)密集行業(yè)。嘉定濕膜光刻膠樹脂

我國光刻膠行業(yè)起步較晚,，生產(chǎn)能力主要集中在 PCB 光刻膠,、TN/STN-LCD 光刻膠等中低端產(chǎn)品。浦東黑色光刻膠

從光刻設(shè)備角度來看,，EUV光刻與其他波長光刻關(guān)鍵的兩點(diǎn)差異是光源強(qiáng)度和散粒噪聲,。盡管有多種方式可獲得EUV光，商用EUV光刻機(jī)使用的是激光激發(fā)的等離子體（LPP）發(fā)光,，其輸出功率曾長期是制約EUV光刻技術(shù)商用的瓶頸問題,；另外，EUV光刻使用的是反射鏡成像系統(tǒng),，而非傳統(tǒng)的透過折射鏡片組,，且效率不高。因此在EUV光刻發(fā)展的早期,，通常都要求EUV光刻膠具有較高的靈敏度,。同時(shí)，EUV光子能量（約為92eV）遠(yuǎn)高于以前幾代光刻技術(shù)光源的光子能量（是193nm光子能量的14.4倍）,，也就是說,，對(duì)于同樣的曝光能量，光子數(shù)目遠(yuǎn)少于前幾代的光刻技術(shù),，這就導(dǎo)致散粒噪聲增加,，從而造成線寬/線邊緣粗糙度的升高。而靈敏度過高并不利于克服散粒噪聲的影響,，所以隨著EUV光源功率不斷提升,，業(yè)界對(duì)EUV光刻膠的要求從“提高靈敏度”逐漸變?yōu)椤?span>利用一定程度的靈敏度來降低粗糙度”。浦東黑色光刻膠