半導(dǎo)體制造中，氧化退火爐的溫度控制精度為何如此重要,？

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賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司2025-06-17

溫度偏差會(huì)導(dǎo)致?lián)诫s離子激的活率不一致,，影響晶體管閾值電壓（Vth）一致性,，甚至造成 PN 結(jié)漏電。例如,，離子注入后退火溫度每偏差 5℃,，器件漏電流可能波動(dòng) 10% 以上。

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簡介：賽瑞達(dá)成立于2021年,，專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)與銷售。公司位于無錫,，致力于提供定制化解決方案,。

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