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來源: 發(fā)布時間:2023-07-07

    例如即使為50/50μm以下的線/間距,、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑。實施例以下,,舉出實施例對本發(fā)明進行詳細說明,,但本發(fā)明不受這些實施例任何限定。實施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合、溶解而制備抗蝕劑的剝離液,?!颈?】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發(fā)明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,將覆銅層疊板(古河電工(株式會社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii,、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm,。其后,使用干膜抗蝕劑(日立化成制:rd-1225(sap用):25μm厚)實施從層壓到圖案曝光,、顯影,。向本基板以15μm厚實施鍍銅(jcu制:cu-britevl)后,切出50×50mm2作為試驗片,。需要說明的是,,該試驗片是在一片上具有以下的表2的l/s的圖案部分和黏性部分的試驗片。(2)圖案基板上殘留的抗蝕劑的評價方法上述評價方法中將噴涂運行時間固定在4分鐘,,按照以下的評價基準評價l/s=20/20~40/40μm的圖案部分有無剝離殘渣,。將其結(jié)果示于表2。<剝離殘渣的評價基準>(分數(shù))(內(nèi)容)1:無殘渣2:有極少量殘渣,。哪家公司的剝離液的有售后,?浙江銅蝕刻液剝離液商家

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    實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺,、四甲基氫氧化銨,、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量,。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期,、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數(shù)量),。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,,使剝離效率有明顯的提升,,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上,。以上所述的*是本發(fā)明的一些實施方式,。對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構思的前提下,,還可以做出若干變形和改進,,這些都屬于本發(fā)明的保護范圍,。合肥天馬用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹剝離液的主要成分是什么?

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    701,、油墨放置箱,;702、油墨加壓器,;703,、高壓噴頭;704,、防濺射擋板,;705、印刷輥,;8、膠面剝離結(jié)構,;801,、收卷調(diào)速器;802,、收卷驅(qū)動電機,;803、輥固定架,;804,、膠水盛放箱;805,、點膠頭,;806、卷邊輥,;807,、膠面收卷輥;9,、電加熱箱,;10、熱風噴頭,;11,、干燥度感應器;12,、電氣控制箱,;13、液晶操作面板,。具體實施方式下面結(jié)合附圖對本**技術作進一步說明:如圖1-圖4所示,,一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,,包括主支撐架1、橫向支架2,、伺服變頻電機3,、電機減速箱4、印刷品放置箱6,、表面印刷結(jié)構7,、膠面剝離結(jié)構8,所述主支撐架1上方設置有所述橫向支架2,,所述橫向支架2上方設置有所述伺服變頻電機3,,所述伺服變頻電機3上方設置有所述電機減速箱4,所述電機減速箱4上方安裝有印刷品傳送帶5,,所述印刷品傳送帶5一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱6,,所述印刷品放置箱6一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構7,所述表面印刷結(jié)構7上方設置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安裝有油墨加壓器702,,所述油墨加壓器702下方安裝有高壓噴頭703,,所述高壓噴頭703一側(cè)安裝有防濺射擋板704,所述防濺射擋板704下方安裝有印刷輥705,所述表面印刷結(jié)構7一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構8,。

剝離液是一種通用濕電子化學品,,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時防止對襯底層造成破壞,。剝離液是集成電路,、分立器件、顯示面板,、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料,,下游應用領域***,但整體應用需求較低,,因此市場規(guī)模偏小,。

剝離液應用在太陽能電池中,對于剝離液的潔凈度要求較低,,*需達到G1等級,,下游客戶主要要天合、韓華,、通威等,;應用到面板中,通常要達到G2,、G3等級,,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方,、中星光電,;在半導體中的應用可分等級,,在8英寸及以下的晶圓制造中,對于剝離液的要求達到G3,、G4水平,,大硅片、12英寸晶元等**產(chǎn)品要達到G5水平,。 哪家的剝離液的價格優(yōu)惠,?

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    腔室10及過濾器30可以采用與現(xiàn)有技術相同的設計。處于剝離制程中的玻璃基板,,按照玻璃基板傳送方向從當前腔室101開始逐級由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進行剝離制程,。剝離液從當前腔室101進入相應的存儲箱20,在剝離液的水平面超過預設高度后流入過濾器30,,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級腔室102內(nèi),。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑,。其中,,如圖2所示,圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第二種結(jié)構示意圖,。閥門開關60設置在***管道40及第二管道50上。在過濾器30被阻塞時,,關閉位于過濾器30兩側(cè)的***管道40及第二管道50上的閥門開關60,,可以保證當前級腔室101對應的存儲箱20內(nèi)剝離液不會流出,同時下一級腔室102內(nèi)的剝離液也不會流出,。在一些實施例中,,請參閱圖3,圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第三種結(jié)構示意圖,。過濾器30包括多個并列排布的子過濾器301,,所述***管道40包括多個***子管道401,每一所述***子管道401與一子過濾器301連通,,且所述多個***子管道401與當前級腔室101對應的存儲箱20連通,。在一些實施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個第二子管道502,,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通,。剝離液蝕刻后的樣貌形態(tài)。合肥天馬用的蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

什么制程中需要使用剝離液,。浙江銅蝕刻液剝離液商家

    每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中,,閥門開關60設置在每一***子管道301上,。在一些實施例中,,閥門開關60設置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,,閥門開關60設置在每一第二子管道502上,。具體的,閥門開關60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,,在此不做贅述,。在一些實施例中,請參閱圖4,,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結(jié)構示意圖,。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102,。其中,閥門開關60設置在每一第三子管道503上,。本申請實施例提供的剝離液機臺,,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱,;過濾器,,所述過濾器的一端設置通過***管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接,;其中,,至少在***管道或所述第二管道上設置有閥門開關。通過閥門開關控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,,提高生產(chǎn)效率。浙江銅蝕刻液剝離液商家

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