可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,，值得指出的時,，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的,，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,，所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,，所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),，從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定,。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,，同時,，通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理,。實施例五一般的，對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),，可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃,。如圖7、圖8所示,，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖,；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431,、第二支撐條432,、連接部433和接觸部434。專業(yè)減薄用清洗劑,，讓您的生產(chǎn)更高效,，成本更低。南京什么是減薄用清洗劑什么價格

    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置,，包括：托盤,，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓,；噴頭,，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進(jìn)行拋光,；磁轉(zhuǎn)子,，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進(jìn)行機械研磨,，對所述待加工表面進(jìn)行減薄,。可選地,，還包括控制部件,；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作,，以對所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄,。可選地,，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層,，以通過所述研磨層對所述待加工表面進(jìn)行機械研磨?？蛇x地,，所述研磨層為金屬氧化物層,，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層,?？蛇x地，還包括：熱板,，設(shè)置于所述托盤底部,，用于對所述托盤進(jìn)行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定,?？蛇x地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定,。一種拋光減薄方法,，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓,；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,，來對所述待加工表面進(jìn)行拋光；通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進(jìn)行機械研磨,。江蘇性價比高的減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹減薄用清洗劑的使用時要注意什么,？

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時去除噴淋液，從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù),。一般的,，所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值,。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,，所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器,。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作,。一般的,，從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理,。在這種情況下,，所述控制器發(fā)出警報來通知管理者，所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常,。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異?？赡苁菚簳r的。

    所述控制器用于控制減薄處理過程,，具體的,，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區(qū)2移動至所述腔室31內(nèi)合適位置時打開所述噴淋組件33進(jìn)行減薄處理操作,，并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度時關(guān)閉所述噴淋組件33停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區(qū)2移動,。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)移動,。一般的，所述噴淋組件33包括設(shè)置于所述腔室31頂部的噴淋頭,、設(shè)置于所述腔室31底部的收集槽,、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路,，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實現(xiàn)玻璃的減薄處理,，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室31內(nèi)排出。在經(jīng)歷過減薄處理的玻璃從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載之后,，將容納玻璃的下一個玻璃加工治具4通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1加載到所述腔室31中并且如上所述經(jīng)歷減薄處理,。通過以上操作，玻璃順序地經(jīng)歷減薄處理,。值得指出的是,，通過所述主厚度測量儀32測量在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷過減薄處理的所述玻璃厚度達(dá)到指定尺寸后再通過所述傳輸組件將玻璃卸載到所述腔室31外部。具體地,。選擇減薄用清洗劑,，為您的加工過程保駕護航。

    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動,，所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關(guān)于測得厚度的信息實時發(fā)送到所述控制器,；當(dāng)測得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時，所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動,。一般的，在所述腔室31內(nèi),，減薄處理的具體工藝參數(shù)為：所述玻璃加工治具4的往復(fù)運動中單程單向時間設(shè)置為～4s,，來回往復(fù)一次時間設(shè)置為3s～8s，往復(fù)移動幅度設(shè)置約為180mm左右,；所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm～2400lpm,，在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃～40℃；在上述參數(shù)下,，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min,，可有效實現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理。s2,，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機,，所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作；具體的,，通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測量儀,，進(jìn)行檢測厚度比較,，從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作，當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時,，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理,。s3，所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗,。高效,、環(huán)保的減薄用清洗劑,，為您的生產(chǎn)帶來綠色變化,。紹興什么是減薄用清洗劑費用

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