本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置,，包括：托盤,，用于固定待加工部件,，所述待加工部件包括inp基晶圓,；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,，以對所述待加工表面進行拋光,；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上,，用于通過旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨,，對所述待加工表面進行減薄,。可選地,，還包括控制部件,；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連,，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作,，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地,，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨,?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層,，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層,。可選地,，還包括：熱板,，設(shè)置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱,，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定,。可選地,，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定,。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上,，所述待加工部件包括inp基晶圓,；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光,；通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨,。減薄清洗劑，助您輕松打造高精度產(chǎn)品,，滿足客戶需求,。江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買

    產(chǎn)生不良次品；同時由于所述側(cè)支撐件44的移動,，可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,，從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,，所述底座41和實施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi),。實施例四所述支撐架42包括對應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,，所述架體包括平行對應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應(yīng)兩側(cè)板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部,，玻璃設(shè)置在所述盛放部內(nèi),；所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架,。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,，且所述側(cè)支撐件44對應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,，所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,，所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置；所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,，對應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,，所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上，并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動,，從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置,。一般的。南通什么是減薄用清洗劑什么價格減薄清洗劑,，輕松應(yīng)對各種涂層挑戰(zhàn),，讓您的工作更輕松。

    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果,，通過所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果,。較佳的，所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì),。較佳的,，所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu)，即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳,，所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間,，兩所述叉腳在一端連接，兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,，兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,，限制玻璃兩對應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離，即當(dāng)玻璃通過兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進行支撐限制時,，玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙,，從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運動，玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進行一定的位置移動,，從而避免所述側(cè)支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼,。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置,，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運動的過程中，所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點發(fā)生變化,，從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點因所述側(cè)支撐件44的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋,，若接觸點無法被噴淋，易造成玻璃的減薄缺陷,。

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動，所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關(guān)于測得厚度的信息實時發(fā)送到所述控制器,；當(dāng)測得玻璃厚度達到預(yù)設(shè)目標厚度時,，所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動,。一般的,，在所述腔室31內(nèi)，減薄處理的具體工藝參數(shù)為：所述玻璃加工治具4的往復(fù)運動中單程單向時間設(shè)置為～4s,，來回往復(fù)一次時間設(shè)置為3s～8s,，往復(fù)移動幅度設(shè)置約為180mm左右；所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm～2400lpm,，在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃～40℃,；在上述參數(shù)下，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min,，可有效實現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理,。s2，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機,，所述控制器進行次減薄厚度確認操作,；具體的，通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測量儀,，進行檢測厚度比較,，從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作,，當(dāng)所述減薄厚度未達到目標厚度時，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進行再次減薄處理,。s3,，所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進行減薄后終清洗。江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買