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江蘇輪廓儀技術(shù)原理

來源: 發(fā)布時間:2023-03-15

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例測量種類?基板ASoldMask3D形貌,、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,,急停等功能,,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),。江蘇輪廓儀技術(shù)原理

江蘇輪廓儀技術(shù)原理,輪廓儀

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡:干涉面成像,多層垂直掃描蕞好高度測量精度:<1nm高度精度不受物鏡影響性價比好,。激光共聚焦3D顯微鏡:點掃描合成面成像,,多層垂直掃描Keyence(日本)蕞好高度測量精度:~10nm高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍90萬-130萬三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速,、重復(fù)性高,、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,,臺階高度,,給MEMS、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,,光學(xué)元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的,、價格合理的計量方案,。(來自網(wǎng)絡(luò))廣東輪廓儀試用NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,,重復(fù)精度 1um,。

江蘇輪廓儀技術(shù)原理,輪廓儀

輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接,。需要點擊自動拼接,,輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,,自動消除移動中偏差,,減小誤差。但是誤差是一定存在的,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,,不見和材料表面的平面度,粗糙度,,波溫度,,面型輪廓,表面缺陷,,磨損情況,,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

隨著時代的發(fā)展,,輪廓儀也越來重要了,不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,,金日就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧,。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,,并分別在X和Z方向上對其進行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號,。電信號被放大和處理,,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中,。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,,測量結(jié)果為計算符號,。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,。測量結(jié)果通過顯示器輸出,,也可以由打印機輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀廣范用于機械加工,、汽車,、摩托車、精密五金,、精密工具,、刀 具、模具,、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機構(gòu),、大學(xué)、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室,。在汽車,,摩托車和制冷行業(yè),它可以測量活塞,,活塞銷,,齒輪的總線參數(shù)和汽車,摩托車和壓縮機的閥門柱塞,,可以測量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中,內(nèi)護套環(huán)的密封槽的形狀(角度,,倒角R,,槽深,槽寬等),;各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,,角度和對數(shù)曲線;電機軸,,圓柱銷,,活塞銷,滾針軸承,,圓柱滾子軸承,。支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。

江蘇輪廓儀技術(shù)原理,輪廓儀

輪廓儀的物鏡知多少,?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺階高度,,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,,還有2.5×,,5×,20×,,50×,,100×,可選,。不同的鏡頭價格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺階高度,,錐角等),。襯底輪廓儀免稅價格

三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,,又提高了成品的出產(chǎn)效率,。江蘇輪廓儀技術(shù)原理

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,,這樣就可以反過來通過知道加工,,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,,其中以非接觸式測量方法為主,。江蘇輪廓儀技術(shù)原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司正式組建于2002-02-07,將通過提供以半導(dǎo)體工藝設(shè)備,,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等服務(wù)于于一體的組合服務(wù),。岱美中國經(jīng)營業(yè)績遍布國內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),,業(yè)務(wù)布局涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機 鍵合機,,膜厚測量儀等板塊。同時,,企業(yè)針對用戶,,在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機 鍵合機,,膜厚測量儀等幾大領(lǐng)域,提供更多,、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品,,進一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的儀器儀表服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司業(yè)務(wù)范圍涉及磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) 等多個環(huán)節(jié),,在國內(nèi)儀器儀表行業(yè)擁有綜合優(yōu)勢,。在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,,光刻機 鍵合機,,膜厚測量儀等領(lǐng)域完成了眾多可靠項目。