輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā),、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測(cè)設(shè)備

唐壽鴻博士,，國家千人****

25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理,、算法**

許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難,。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um,。歐洲輪廓儀質(zhì)保期多久

輪廓儀的性能

測(cè)量模式 ：

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái) ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素：

標(biāo)配：1280×960

視場(chǎng)范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)：

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 干涉測(cè)量輪廓儀有誰在用NanoX-8000主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng)， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡(jiǎn)單,，更方便  

    輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度,。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過薄膜的檢測(cè)筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先，樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差,。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù)，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請(qǐng)?jiān)L問我們官網(wǎng)。晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀,？

一、準(zhǔn)備工作

1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦,、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。

3.擦凈工件被測(cè)表面,。

二、測(cè)量

1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。

2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。

4.開始測(cè)量,。測(cè)量過程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。

5.測(cè)量完畢,，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。

輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物,、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件。NanoX-8000輪廓儀聯(lián)系電話

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用,。歐洲輪廓儀質(zhì)保期多久

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量儀器,，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線，測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測(cè)量  

視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

歐洲輪廓儀質(zhì)保期多久