HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,，具有較低的力和保形壓印,，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn)，包括用于增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實(shí)（AR / VR）頭戴式耳機(jī)的光學(xué)設(shè)備,，3D傳感器,，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，納米光子學(xué)和等離激元學(xué),。

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,，具有多達(dá)八個可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。中芯國際納米壓印價格

SmartNIL技術(shù)簡介

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù)，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實(shí)現(xiàn)****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作功能,。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進(jìn)步。

官方納米壓印研發(fā)可以用嗎IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng),，是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統(tǒng),。

    面板廠為補(bǔ)償較低的開口率，多運(yùn)用在背光模塊搭載較多LED的技術(shù),，但此作法的缺點(diǎn)是用電量較高,。若運(yùn)用NIL制程，可確保適當(dāng)?shù)拈_口率,，降低用電量,。利用一般曝光設(shè)備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設(shè)備一次可形成的圖樣面積較小,。若要制造55吋面板,，需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時間長,，經(jīng)過多次曝光后,，在圖樣間會形成細(xì)微的縫隙，無法完整顯示影像,。若將NIL技術(shù)應(yīng)用在5代設(shè)備,，可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣,。在8代基板可制造6片55吋面板,，6次的壓印接觸可處理完1片8代基板,。南韓業(yè)者表示，在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,，是LCD領(lǐng)域中***一個創(chuàng)新任務(wù),。若加速NIL制程導(dǎo)入LCD生產(chǎn)的時程，偏光膜企業(yè)的營收可能減少,。（來自網(wǎng)絡(luò),。

NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級圖案的相當(dāng)有成本效益的方法，因為它不受光學(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制,，并且它可以為極小尺寸（小于100分）提供比較好圖案保真度nm）結(jié)構(gòu),。

EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù)，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實(shí)現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間,。

新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。 SmartNIL技術(shù)可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。

IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應(yīng)用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進(jìn)行微成型和納米壓印工藝，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡,。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復(fù)制的軟性圖章開始,，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng),。此外,，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識,。EV Group專有的卡盤設(shè)計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機(jī)制。

EVG620 NT支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，以及背面對準(zhǔn)選項,。天津納米壓印競爭力怎么樣

EVG高達(dá)300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備支持晶圓級光學(xué)（WLO）的制造。中芯國際納米壓印價格

HERCULES ® NIL完全模塊化和集成SmartNIL ® UV-NIL系統(tǒng)達(dá)300毫米

結(jié)合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術(shù)支持AR / VR，3D傳感器,，光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應(yīng)用

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的跟 蹤系統(tǒng),，將清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻（NIL）工藝結(jié)合在一個平臺上,，用于直徑比較大為300 mm的晶圓,。它是***個基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng)，可為客戶提供比較大的自由度來配置他們的系統(tǒng),，以比較好地滿足其生產(chǎn)需求,，包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能。

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