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半導(dǎo)體納米壓印質(zhì)量怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2020-11-07

    ”EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,,“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,,例如DELO,我們能夠進(jìn)一步提高效率,作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心,。”“EVG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道,。“通過合作,,我們將提供自己獨特的技術(shù),,將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù),。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備。主要的例子是:3D感應(yīng),,飛行時間,,結(jié)構(gòu)光,生物特征身份認(rèn)證,,面部識別,虹膜掃描,,光學(xué)指紋,頻譜檢測,,環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像,。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,光地毯,,平視顯示器,,車內(nèi)感應(yīng),,激光雷達(dá),內(nèi)窺鏡照相機(jī)醫(yī)學(xué)成像,,眼科設(shè)備與手術(shù)機(jī)器人,。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機(jī)上找到,。**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,,這對于實現(xiàn)衍射光學(xué)元件(DOE)至關(guān)重要。半導(dǎo)體納米壓印質(zhì)量怎么樣

NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當(dāng)有成本效益的方法,,因為它不受光學(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制,,并且它可以為極小尺寸(小于100分)提供比較好圖案保真度nm)結(jié)構(gòu)。

EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),,可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),,幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,,因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。另外,,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間。

新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān),。 晶片納米壓印有哪些品牌岱美儀器代理的SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù),,可用于顯示器,生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新,。

EVG610特征:

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版


EVG610附加功能:

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻 

μ接觸印刷


EVG610技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸)

標(biāo)準(zhǔn)光刻:比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL:比較大150毫米的碎片

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:柔軟的UV-NIL

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

自動分離:不支持

工作印章制作:外部


EVG ® 510 HE熱壓印系統(tǒng)

應(yīng)用:高度靈活的熱壓印系統(tǒng),,用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

EVG510 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印,。該設(shè)備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,并管理適用于熱壓印的全部聚合物,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,,提供了許多用于高質(zhì)量納米圖案轉(zhuǎn)印的工藝,。


EVG ® 510 HE特征:

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,,用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站 EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝。

納米壓印應(yīng)用三:連續(xù)性UV納米壓印

EVG770是用于步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺,,可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化,。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,,分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進(jìn)步,。


納米壓印設(shè)備可用來進(jìn)行熱壓花、加壓加熱,、印章,、聚合物、基板,、附加沖壓成型脫模,。廣東聯(lián)電納米壓印

納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本的技術(shù),大批量替代光刻技術(shù),。半導(dǎo)體納米壓印質(zhì)量怎么樣

    納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,;NIL),現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中,。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報導(dǎo),南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,,未確認(rèn)NIL設(shè)備實際圖樣形成能力,,直接參訪海外NIL設(shè)備廠。該制程研發(fā)小組透露,,若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,,將可提升面板性能。并已展開具體供貨協(xié)商,。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī),,像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,,再以壓印機(jī)接觸施加壓力,,印出面板圖樣。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣,。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,,不需再另外貼附偏光薄膜。雖然在面板制程中需增加NIL,、蝕刻制程,,但省落偏光膜貼附制程,可維持同樣的生產(chǎn)成本,。偏光膜會吸收部分光線降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,將不會發(fā)生降低亮度的情況,。通常面板分辨率越高,,因配線較多,,較難確保開口率(ApertureRatio)。半導(dǎo)體納米壓印質(zhì)量怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)?,為客戶提?**的磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團(tuán)隊取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務(wù),。