IQ Aligner®：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

■用于光學元件的微成型應用

■用于全場納米壓印應用

■三個**控制的Z軸，用于控制壓印光刻膠的總厚度變化（TTV）,，并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償

■粘合對準和紫外線粘合功能

紫外線壓印_紫外線固化

印章

防紫外線基材

附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記

用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材,。隨后，將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián),。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領(lǐng)取物料,，物料轉(zhuǎn)移，刪除印章

EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。山西納米壓印可以試用嗎

曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應用,，例如仿生學,、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板,，可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,，但是模板不能彎折，無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu),。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復制，但是由于彈性模板的楊氏模量較低,，所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制,。基于目前納米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀,，結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),，中國科學院光電技術(shù)研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法，該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層,。（來自網(wǎng)絡，侵權(quán)請聯(lián)系我們進行刪除,，謝謝?。?步進重復納米壓印芯片堆疊應用HERCULES NIL 300 mm提供市場上**納米壓印功能,，具有較低的力和保形壓印,，快速高功率曝光和平滑壓模分離,。

IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡,。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應。此外,，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識。EV Group專有的卡盤設計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制,。

HERCULES ® NIL完全模塊化和集成SmartNIL ® UV-NIL系統(tǒng)達300毫米

結(jié)合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術(shù)支持AR / VR,，3D傳感器,，光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應用

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的跟 蹤系統(tǒng)，將清潔,，抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻（NIL）工藝結(jié)合在一個平臺上,，用于直徑比較大為300 mm的晶圓,。它是***個基于EVG的全模塊化設備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng),，可為客戶提供比較大的自由度來配置他們的系統(tǒng)，以比較好地滿足其生產(chǎn)需求,，包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能,。

HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn),。

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年,，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結(jié)果,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步,。

EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。青海納米壓印用于生物芯片

EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。山西納米壓印可以試用嗎

儀器儀表是用以檢出、測量,、觀察,、計算各種物理量,、物質(zhì)成分、物性參數(shù)等的器具或設備,。真空檢漏儀、壓力表,、測長儀,、顯微鏡,、乘法器等均屬于儀器儀表,。近年來，得益于機械,、冶金,、石化行業(yè)等儀器儀表服務領(lǐng)域經(jīng)營狀況的好轉(zhuǎn),，我國儀器儀表制造業(yè)發(fā)展一路向好。隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展,，為磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的傳播提供了一個飛速的平臺,。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變，促進了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,，推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展,。目前我國磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務,，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務,，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】產(chǎn)品,，主要集中在中低檔市場，而市場則主要被國外品牌所占據(jù),。在某些領(lǐng)域,，國產(chǎn)產(chǎn)品甚至是空白，這就需要未來我國儀器儀表向市場進軍,，擴大產(chǎn)品占比,。從銷售廣義角度來說，儀器儀表也可具有自動操控,、報警、信號傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能,，例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動操控中的氣動調(diào)節(jié)儀表,，和電動調(diào)節(jié)儀表，以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表,。山西納米壓印可以試用嗎

岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑。公司業(yè)務涵蓋磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等,，價格合理,，品質(zhì)有保證。公司從事儀器儀表多年,，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務,。岱美儀器技術(shù)服務立足于全國市場，依托強大的研發(fā)實力,，融合前沿的技術(shù)理念,，飛快響應客戶的變化需求。